1.一种大容量单晶硅片快速烘干系统,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部固定连接有烘干箱(2),所述烘干箱(2)底部开设有烘干槽(3),所述底座(1)顶部固定连接有位于烘干槽(3)内且贯穿烘干箱(2)并延伸至烘干箱(2)右侧的进料输送带(4),所述底座(1)顶部固定连接有位于烘干槽(3)内且贯穿烘干箱(2)并延伸至烘干箱(2)左侧的出料输送带(5),所述烘干箱(2)顶部左右两侧均固定连接有与烘干槽(3)相连通的循环通风管(6),两个所述循环通风管(6)之间固定连接有加热装置(7),所述烘干槽(3)左右两侧壁均固定连接有数量为两个的除湿机(8),所述烘干槽(3)后侧壁转动连接有位于进料输送带(4)与出料输送带(5)之间的翻转装置(9),所述烘干槽(3)前侧壁固定连接有横向滑台(10),所述横向滑台(10)的滑块固定连接有第一竖向滑台(11),所述第一竖向滑台(11)的滑块固定连接有第一真空吸盘组(12),所述底座(1)左侧固定连接有安装座(13),所述安装座(13)顶部开设有卡槽(14),所述安装座(13)顶部插接有与卡槽(14)卡接的储料筒(15),所述储料筒(15)左侧固定连接有第二竖向滑台(16),所述储料筒(15)顶部开设有储料槽(17),所述第二竖向滑台(16)的滑块固定连接有贯穿储料筒(15)并延伸至储料槽(17)内的活动板(18),所述烘干箱(2)左侧固定连接有固定板(19),所述固定板(19)顶部固定安装有转动电机(20),所述转动电机(20)的输出轴固定连接有贯穿固定板(19)并延伸至固定板(19)底部的第三竖向滑台(21),所述第三竖向滑台(21)的滑块固定连接有第二真空吸盘组(22),所述底座(1)前侧固定安装有电气控制柜(23)。
2.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述烘干箱(2)右侧开设有与进料输送带(4)相适配的进料口,所述烘干箱(2)左侧开设有与出料输送带(5)相适配的出料口,所述进料输送带(4)顶部与出料输送带(5)顶部平齐,所述进料口和出料口顶壁均固定连接有位于进料输送带(4)顶部的隔热帘。
3.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述循环通风管(6)外套接有保温套,所述加热装置(7)由壳体、电加热器、引风机和温度传感器组成,所述壳体内开设有加热腔,两个所述循环通风管(6)均与加热腔连通,所述加热腔内固定安装有电加热器,所述加热腔内固定安装有位于电加热器右侧的温度传感器,所述加热腔内固定安装有位于温度传感器右侧的引风机,所述引风机空气流动方向为从左至右流动。
4.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述进料输送带(4)和出料输送带(5)均位于除湿机(8)底部,所述翻转装置(9)由竖向双向滑台、托盘和翻转电机组成,所述烘干箱(2)后侧固定连接有翻转电机,所述烘干槽(3)后侧壁转动连接有竖向双向滑台,所述翻转电机的输出轴与竖向双向滑台的转轴固定连接,所述竖向双向滑台的滑块固定连接有托盘,所述竖向双向滑台关于出料输送带(5)顶部平面镜像对称。
5.根据权利要求4所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述竖向双向滑台的滑块移动至两端时两个托盘之间的距离的一半大于第一真空吸盘组(12)的高度,所述第一竖向滑台(11)的滑块移动至底部时第一真空吸盘组(12)底部与出料输送带(5)顶部平齐。
6.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述储料筒(15)插接至卡槽(14)内时储料筒(15)顶部与出料输送带(5)顶部平齐,所述转动电机(20)为步进电机,所述转动电机(20)输出轴每次转动一百八十度。
7.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述第三竖向滑台(21)的滑块移动至底部时第二真空吸盘组(22)底部与出料输送带(5)顶部平齐,所述安装座(13)位于出料输送带(5)后侧。
8.根据权利要求4所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述进料输送带(4)和出料输送带(5)的皮带外周壁均开设有第一单晶硅片限位槽,两个所述托盘相对面的一侧均开设有第二单晶硅片限位槽。
9.根据权利要求1所述的一种大容量单晶硅片快速烘干系统,其特征在于:所述储料筒(15)的数量等于第二真空吸盘组(22)的吸盘数量,所述烘干箱(2)前侧固定安装有与第一真空吸盘组(12)和第二真空吸盘组(22)相适配的真空泵,所述进料输送带(4)、出料输送带(5)、加热装置(7)、除湿机(8)、翻转装置(9)、横向滑台(10)、第一竖向滑台(11)、真空泵、第二竖向滑台(16)、转动电机(20)和第三竖向滑台(21)均与电气控制柜(23)电连接。