一种超薄均热板及其制备方法与流程

文档序号:23425745发布日期:2020-12-25 11:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超薄均热板,其特征在于,包括第一平板(1)和第二平板(2),第一平板(1)和第二平板(2)封装且第一平板(1)和第二平板(2)之间形成有封闭腔体;所述封闭腔体内设有呈纵横垂直交错的阵列沟槽结构(10),所述阵列沟槽结构(10)包括蒸汽腔(3)、凸台(5)及吸液芯(4),所述吸液芯(4)、蒸汽腔(3)均设于凸台(5)之间且所述蒸汽腔(3)位于吸液芯(4)上方,所述凸台(5)上下两端分别抵接于第一平板(1)和第二平板(2)的内侧面。

2.根据权利要求1所述的超薄均热板,其特征在于,所述吸液芯(4)包括微凹坑(41)以及翅片(42),若干微凹坑(41)呈多行多列整齐排布,所述翅片(42)环绕于微凹坑(41)四周。

3.根据权利要求2所述的超薄均热板,其特征在于,所述翅片(42)的顶部凹陷形成有第一弧面结构,所述微凹坑(41)底面凹陷形成有第二弧面结构。

4.根据权利要求2所述的超薄均热板,其特征在于,所述翅片(42)包括第一翅片(421)和第二翅片(422),所述第一翅片(421)紧邻于微凹坑(41)四周,所述第二翅片(422)位于相邻凸台(5)之间。

5.根据权利要求4所述的超薄均热板,其特征在于,所述第二翅片(422)为沟槽结构,且所述第二翅片(422)的顶面高度与第一翅片(421)的顶面高度相等。

6.一种超薄均热板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

s10.制备电火花加工工具电极:电火花加工工具电极包括层叠贴合设置的低电阻率导电层(11)、高电阻率导电层(12),贴合后的厚度端面为加工面;所述低电阻率导电层(11)、高电阻率导电层(12)间隔设置,低电阻率导电层(11)、高电阻率导电层(12)发生不同程度的损耗,在加工面形成凹凸结构;

s20.加工一次微沟槽(7):在第一平板(1)的表面平行于一侧面的方向均匀连续地复刻步骤s10中所述凹凸结构形成一次微沟槽(7);

s30.加工二次微沟槽(8):在第一平板(1)的表面垂直于一次微沟槽(7)的方向均匀连续地复刻步骤s10中所述凹凸结构形成二次微沟槽(8),所述二次微沟槽(8)与一次微沟槽(7)纵横垂直交错形成阵列沟槽结构(10);

s40.封装得到超薄均热板:封装第一平板(1)和第二平板(2),第一平板(1)、第二平板(2)之间形成有封闭腔体,对所述封闭腔体抽真空、灌注工作介质和封口得到超薄均热板。

7.根据权利要求6所述的超薄均热板的制备方法,其特征在于,步骤s10中,所述低电阻率导电层(11)为镀锡铜箔,所述高电阻率导电层(12)为铜箔;多层所述低电阻率导电层(11)、高电阻率导电层(12)两侧通过夹具(13)夹紧固定。

8.根据权利要求6所述的超薄均热板的制备方法,其特征在于,相邻一次微沟槽(7)之间的距离与相邻二次微沟槽(8)之间的距离相等;一次微沟槽(7)、二次微沟槽(8)的长度与加工面的长度相等。

9.根据权利要求6所述的超薄均热板的制备方法,其特征在于,所述一次微沟槽(7)和所述二次微沟槽(8)交错处形成凸台(5),所述凸台(5)用于超薄均热板的支撑柱和回流柱;所述凸台为柱状凸台。

10.根据权利要求6至9任一项所述的超薄均热板的制备方法,其特征在于,步骤s40中,第一平板(1)和第二平板(2)采用焊接工艺封装。


技术总结
本发明涉及电子散热的技术领域,更具体地,涉及一种超薄均热板及其制备方法,包括第一平板和第二平板,第一平板和第二平板封装且第一平板和第二平板之间形成有封闭腔体;封闭腔体内设有阵列沟槽结构,阵列沟槽结构包括蒸汽腔、凸台及吸液芯,吸液芯、蒸汽腔均设于凸台之间且蒸汽腔位于吸液芯上方,凸台上下两端分别抵接于第一平板和第二平板的内侧面。本发明采用电火花成型技术加工阵列沟槽结构,加工过程中自然形成支撑柱和回流柱、吸液芯和蒸汽腔,无需额外加工得到,简化均热板的内部结构设计,合理分配均热板的内部空间,助于减小均热板的厚度;且本发明阵列沟槽结构底部形成翅片及微凹坑,可有效提升吸液芯的毛细压力和提高超薄均热板的传热性能。

技术研发人员:唐恒;伍晓宇;翁昌兴;汤勇
受保护的技术使用者:深圳大学
技术研发日:2020.10.10
技术公布日:2020.12.25
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