一种在线式甩干干燥装置的制作方法

本发明涉及一种在线式甩干干燥装置，属于清洗工艺技术领域。

背景技术：

清洗工艺是太阳能电池、半导体生产制程中的主要工艺之一，而湿法清洗工艺又是太阳能光伏清洗、半导体清洗使用率最高的清洗工艺。

湿法清洗工艺的最后一道工序是干燥，硅片或晶圆干燥品质的好坏，直接影响着硅片或晶圆成品率的高低。

国内光伏行业在大规模发展的初期普遍采用离线甩干技术来干燥太阳能硅片。离线甩干工艺给光伏生产企业增加了一道工序，也增加了人手，带来了成本的上升。在2011年后期，光伏企业在产线升级过程中，湿法清洗工艺就基本淘汰了离线甩干技术工艺。

相对于光伏行业，半导体行业企业晶圆产量少，清洗工艺中，一部分仍旧采用离线甩干干燥工艺，另一部分往往采用易挥发的ipa或酒精来干燥晶圆，虽然产量小，ipa或酒精的挥发控制还是事关企业的安全生产。

目前，光伏企业普遍采用离心风机或高压涡旋风机驱动加热后的空气来吹干或烘干硅片，这种干燥工艺虽然解决了上文提及的离线甩干的两大缺点，但是也带来新的硅片工艺缺陷。主要表现为：1.水痕片；2.硅片表面重新颗粒沾污。这两大缺陷随着现在高效太阳能电池工艺的快速发展，表现得越来越明显，需要对此进行工艺变革或创新。半导体湿制程清洗工艺中的干燥普遍采用离线甩干或ipa/酒精挥发脱水方式来干燥晶圆，离线甩干增加人手成本、也会二次污染；ipa/酒精挥发脱水干燥方式，一方面污染环境，也会产生有机物排放，同时还会带来易燃易爆的安全隐患。

技术实现要素：

本发明提供一种在线式甩干干燥装置用来克服现有技术中干燥工艺使硅片表面重新颗粒沾污和水痕片的缺陷。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

本发明公开了一种在线式甩干干燥装置，包括槽体，所述槽体内腔设有旋转花篮，承载盒置于所述旋转花篮内，所述旋转花篮的一端与旋转驱动部件连接，气电滑环与所述旋转驱动部件连接，所述承载盒的一侧设有挡边机构，另一侧设有翻板压紧机构，所述槽体内腔靠近所述翻板压紧机构处还设有平板风道；

所述旋转驱动部件包括安装座，所述安装座上安装有电机减速机组，所述电机减速机组与旋转主轴通过转动件连接，所述旋转主轴的一端安装于支轴承座组合上，另一端设有气电滑环；

所述翻板压紧机构包括翻转侧板，两块所述翻转侧板之间自下而上分别设有旋转碳棒轴，压紧条板和支撑杆，所述旋转碳棒轴与塑料气缸连接；

挡边机构包括气缸安装前板，所述气缸安装前板的两侧安装有安装条板，镶嵌板镶嵌在所述安装条板上，所述镶嵌板上设有橡胶条，所述气缸安装前板与所述镶嵌板通过导向杆孔棒连接，螺纹连接套的一端与所述镶嵌板固定连接，其另一端穿过气缸安装前板。

进一步的，所述旋转花篮与翻板压紧机构之间设有塑料气缸，所述塑料气缸控制翻板压紧机构的翻板动作。

进一步的，所述挡片机构上也设有塑料气缸，所述塑料气缸控制所述挡片机构的推进与缩进。

进一步的，所述翻板压紧机构通过塑料气缸具有压紧承载盒的作用。

进一步的，所述螺纹连接套的另一端通过气缸安装前板上的工艺孔穿过气缸安装前板与塑料气缸连接。

进一步的，所述导向杆孔棒具有使镶嵌板前进或后退时不发生旋转的作用。

进一步的，所述气电滑环，旋转驱动部件，旋转花篮和承载盒均为同一轴心线。

进一步的，所述旋转驱动部件作为旋转动作的驱动源，驱动塑料气缸、旋转花篮、翻板压紧机构、承载盒和挡边机构作旋转运动。

进一步的，所述平板风道上设有喷孔或喷嘴，用来作为风刷，吹干被吹物表面。

本发明所达到的有益效果是：减少硅片或晶圆的污染,减少硅片或晶圆的水纹印，减少或避免水痕片,降低设备能耗、节省能源,无易挥发的有机物排放，绿色环保。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明旋转驱动部件的结构示意图；

图3是本发明翻板压紧机构的结构示意图；

图4是本发明挡片机构的结构示意图。

图中：1、气电滑环；2、旋转驱动部件；21、安装座；22、电机减速机组；23、转动件；24、旋转主轴；25、支轴承座组合；3、塑料气缸；4、旋转花篮；5、翻板压紧机构；51、旋转碳棒轴；52、翻转侧板；53、压紧条板；54、支撑杆；6、平板风道；7、承载盒；8、挡片机构；81、镶嵌板；82、安装条板；83、螺纹连接套；84、气缸安装前板；85、导向杆孔棒；86、橡胶条；9、槽体。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1

如图1-4所示，一种在线式甩干干燥装置，包括槽体9，所述槽体9内腔设有旋转花篮4，承载盒7置于所述旋转花篮4内，所述旋转花篮4的一端与旋转驱动部件2连接，气电滑环1与所述旋转驱动部件2连接，所述承载盒7的一侧设有挡边机构8，另一侧设有翻板压紧机构5，所述槽体9内腔靠近所述翻板压紧机构5处还设有平板风道6；

所述旋转驱动部件2包括安装座21，所述安装座21上安装有电机减速机组22，所述电机减速机组22与旋转主轴24通过转动件23连接，所述旋转主轴24的一端安装于支轴承座组合25上，另一端设有气电滑环1；

所述翻板压紧机构5包括翻转侧板52，两块所述翻转侧板52之间，自下而上分别设有旋转碳棒轴51，压紧条板53和支撑杆54，所述旋转碳棒轴51与塑料气缸3连接；

挡边机构8包括气缸安装前板84，所述气缸安装前板84的两侧安装有安装条板82，镶嵌板81镶嵌在所述安装条板82上，所述镶嵌板81上设有橡胶条86，所述气缸安装前板84与所述镶嵌板81通过导向杆孔棒85连接，螺纹连接套83的一端与所述镶嵌板81固定连接，其另一端穿过气缸安装前板84。

所述旋转花篮4与翻板压紧机构5之间设有塑料气缸3，所述塑料气缸3控制翻板压紧机构5的翻板动作。

所述挡片机构8上也设有塑料气缸3，所述塑料气缸3控制所述挡片机构8的推进与缩进。

所述翻板压紧机构5通过塑料气缸3具有压紧承载盒7的作用。

所述螺纹连接套83的另一端通过气缸安装前板84上的工艺孔穿过气缸安装前板84与塑料气缸3连接。

所述平板风道6上设有喷孔或喷嘴，用来作为风刷，吹干被吹物表面。

导向杆孔棒85具有使镶嵌板81前进或后退时不发生旋转的作用。

所述旋转驱动部件2作为旋转动作的驱动源，驱动塑料气缸3、旋转花篮4、翻板压紧机构5、承载盒7和挡边机构8作旋转运动。

所述气电滑环1，旋转驱动部件2，旋转花篮4和承载盒7均为同一轴心线。

硅片或晶圆甩干干燥技术是利用硅片或晶圆装载在承载盒7内，让承载盒7在设定的速度下旋转，附着在硅片或晶圆表面、承载盒7底部珠粒状的大液滴在附着力小于液滴离心力时，就会脱离附着的表面，同时通过平板风道或管路6(上面开有喷孔或装有喷嘴)，用有压力的气体选择加热或不加热，吹向动态旋转的硅片或晶圆、承载盒7的表面，均匀地将这些表面残存的液体汽化吹干，实现硅片以及承载盒的干燥。

旋转花篮4在电机减速机组22的驱动下可以旋转，在翻板压紧机构5张开的情况下可以盛放机械手输送过来的承载盒7，翻板压紧机构5用于压紧承载盒7，以防止承载盒7在旋转花篮转动的过程中脱落，挡边机构8用于限位硅片或晶圆在承载盒7的插片开口处的位移，气电滑环1或气动旋转接头用于连接转动的气管与静态的气管、连接转动的电线与静态的电线。

在线式甩干干燥技术将离心甩干干燥技术直接使用在清洗机台中，安装在清洗机台制程工艺后端漂洗清洗或慢提脱水处理后的工艺槽内进行。

操作流程：机械手将漂洗或慢提漂洗过的承载盒7提入槽体9里的旋转花篮4内，翻板压紧机构5在塑料气缸3推动下压紧承载盒7，挡边机构8也在在塑料气缸3推动下伸出挡住硅片或晶圆，甩干干燥槽体9上方槽盖合上，旋转驱动部件2在电机减速装置的驱动下，带动压紧着承载盒7的旋转花篮4转动，平板风道6喷出气体选择加热或不加热，吹干硅片或晶圆，也吹干承载盒7，整个动作的连续执行由plc或电脑控制运行。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。