本发明属于热处理技术领域，涉及一种烘干方法，尤其涉及一种靶材的烘干方法。
背景技术：
现如今，lcd显示技术已经广泛应用于各个领域，国内也有很多lcd显示器件的生产厂商，但是生产所需的靶材仍然依赖于大量进口，且lcd靶材的烘干方法也被牢牢掌握在他国手中。lcd平面靶材在清洗过后需要烘干焊接缝、bp台阶、bp通孔及bp沉孔中的清洗液，国内普遍采用的高压空气及热风机吹干存在烘干不均匀，手持操作危险性高等问题。落后的靶材烘干方法及烘干周转率的局限性势必大幅度降低靶材的生产合格率。
由此可见，如何提供一种靶材的烘干方法，提升靶材的烘干均匀性与烘干周转率，降低靶材的异常率，且适用于不同材质的靶材烘干，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种靶材的烘干方法，所述烘干方法提升了靶材的烘干均匀性与烘干周转率，降低了靶材的异常率，且适用于不同材质的靶材烘干。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使靶材处于绕靶心的旋转状态；
(2)通入湿度≤30％的干燥气体对靶材进行烘干处理。
其中，步骤(2)所述干燥气体处于循环状态，且每经1次循环之前进行除湿处理。
本发明中，步骤(2)所述干燥气体的湿度≤30％，例如可以是5％、10％、15％、20％、25％或30％，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明将干燥气体的湿度控制在30％以下，有助于提升靶材的烘干充分性，在较低的温度和较短的时间内便可实现靶材的完全烘干，节约了能耗。
本发明在烘干处理过程中保持靶材处于旋转状态的同时采用循环干燥气体，保证了靶材周围环境的湿度和温度均一性，提升了靶材的烘干均匀性和烘干周转率，降低了靶材因各处受热不均一而导致的异常率，适用于不同材质的靶材烘干。
优选地，步骤(1)所述旋转状态的转速为5-20r/min，例如可以是5r/min、6r/min、8r/min、10r/min、12r/min、14r/min、16r/min、18r/min或20r/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，步骤(1)所述旋转状态的转速需保持在合理范围内。当转速低于5r/min时，靶材在烘干过程中受热不均一，无法彻底清除缝隙中的清洗液，甚至导致靶材局部过热而出现变形现象；当转速高于20r/min时，不仅容易导致靶材发生位移或磕碰，而且造成了能耗的不必要升高。
优选地，步骤(2)所述干燥气体包括空气、氮气、氦气或氩气中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括空气与氮气的组合，氮气与氦气的组合，氦气与氩气的组合，空气、氮气与氦气的组合，氮气、氦气与氩气的组合，或空气、氮气、氦气与氩气的组合。
优选地，步骤(2)所述烘干处理的温度为45-75℃，例如可以是45℃、50℃、55℃、60℃、65℃、70℃或75℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述烘干处理的时间为8-32min，例如可以是8min、10min、12min、14min、16min、18min、20min、22min、24min、26min、28min、30min或32min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述干燥气体处于循环状态时的流速为5-20cm/s，例如可以是5cm/s、6cm/s、8cm/s、10cm/s、12cm/s、14cm/s、16cm/s、18cm/s或20cm/s，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述除湿处理具体为循环之前的干燥气体流经活性炭柱层进行吸附。
优选地，所述活性炭柱层的体积为10-50cm3，例如可以是10cm3、15cm3、20cm3、25cm3、30cm3、35cm3、40cm3、45cm3或50cm3，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述靶材包括铝靶材、铜靶材、钼靶材或钼铌靶材中的任意一种。
本发明中，所述靶材的具体种类需要适配特定的烘干温度及时间，以进一步提升靶材的烘干质量，避免靶材在烘干过程中发生变形现象，例如：铝靶材在温度为55-65℃的条件下保持8-12min进行烘干；铜靶材在温度为65-75℃的条件下保持28-32min进行烘干；钼靶材在温度为45-55℃的条件下保持18-22min进行烘干；钼铌靶材在温度为45-55℃的条件下保持18-22min进行烘干。
作为本发明优选的技术方案，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使靶材处于绕靶心5-20r/min的旋转状态；
(2)通入湿度≤30％的干燥气体对靶材进行温度为45-75℃，时间为8-32min的烘干处理；所述干燥气体包括空气、氮气、氦气或氩气中的任意一种或至少两种的组合。
其中，所述靶材包括铝靶材、铜靶材、钼靶材或钼铌靶材中的任意一种。
步骤(2)所述干燥气体处于流速为5-20cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的干燥气体流经体积为10-50cm3的活性炭柱层进行吸附。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明在烘干处理过程中保持靶材处于旋转状态的同时采用循环干燥气体，保证了靶材周围环境的湿度和温度均一性，提升了靶材的烘干均匀性和烘干周转率，降低了靶材因各处受热不均一而导致的异常率，适用于不同材质的靶材烘干。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使铝靶材处于绕靶心10r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为15％的空气对铝靶材进行温度为60℃，时间为10min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述空气处于流速为10cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的空气流经体积为30cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得铝靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例2
本实施例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使铝靶材处于绕靶心20r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为30％的氮气对铝靶材进行温度为55℃，时间为12min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述氮气处于流速为20cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的氮气流经体积为50cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得铝靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例3
本实施例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使铝靶材处于绕靶心5r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为5％的氩气对铝靶材进行温度为65℃，时间为8min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述氩气处于流速为5cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的氩气流经体积为10cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得铝靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例4
本实施例提供一种铜靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使铜靶材处于绕靶心10r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为15％的空气对铜靶材进行温度为70℃，时间为30min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述空气处于流速为10cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的空气流经体积为30cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得铜靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例5
本实施例提供一种钼靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使钼靶材处于绕靶心10r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为15％的空气对钼靶材进行温度为50℃，时间为20min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述空气处于流速为10cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的空气流经体积为30cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得钼靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例6
本实施例提供一种钼铌靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使钼铌靶材处于绕靶心10r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为15％的空气对钼铌靶材进行温度为50℃，时间为20min的烘干处理。
其中，步骤(2)所述空气处于流速为10cm/s的循环状态，且每经1次循环之前的空气流经体积为30cm3的活性炭柱层进行吸附。
本实施例所得钼铌靶材烘干充分且均匀，未出现变形现象。
实施例7
本实施例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法中除了将步骤(1)所述旋转状态的转速改为3r/min，其余条件均与实施例1相同，故在此不做赘述。
相较于实施例1，本实施例由于降低了靶材的旋转速度，导致靶材在烘干过程中受热不均一，无法彻底清除缝隙中的清洗液，甚至导致靶材局部过热而出现变形现象。
实施例8
本实施例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法中除了将步骤(1)所述旋转状态的转速改为25r/min，其余条件均与实施例1相同，故在此不做赘述。
相较于实施例1，本实施例由于提高了靶材的旋转速度，导致靶材在烘干过程中发生位移甚至磕碰，同时能耗产生不必要的升高。
对比例1
本对比例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法中除了将步骤(1)所述铝靶材处于静止状态，其余条件均与实施例1相同，故在此不做赘述。
相较于实施例1，本对比例由于未使靶材处于旋转状态，导致靶材在设定温度及时间内无法充分烘干，缝隙中仍残留少量清洗液，甚至出现了靶材局部受热过高而导致的变形现象。
对比例2
本对比例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法中除了将步骤(2)所述空气的湿度升高至40％，其余条件均与实施例1相同，故在此不做赘述。
相较于实施例1，本对比例由于提高了空气湿度，导致靶材在设定温度及时间内无法充分烘干，缝隙中仍残留少量清洗液，从而降低了靶材的烘干均匀性和烘干周转率。
对比例3
本对比例提供一种铝靶材的烘干方法，所述烘干方法包括以下步骤：
(1)使铝靶材处于绕靶心10r/min的旋转状态；
(2)通入湿度为15％的空气对铝靶材进行温度为60℃，时间为10min的烘干处理。
相较于实施例1，本对比例并未采用循环空气，且未对空气进行吸附处理，导致靶材周围的湿度和温度均一性较差，从而降低了靶材的烘干均匀性和烘干周转率，甚至出现了靶材局部受热过高而导致的变形现象。
由此可见，本发明在烘干处理过程中保持靶材处于旋转状态的同时采用循环干燥气体，保证了靶材周围环境的湿度和温度均一性，提升了靶材的烘干均匀性和烘干周转率，降低了靶材因各处受热不均一而导致的异常率，适用于不同材质的靶材烘干。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。