一种ALD设备用通过式加热炉的制作方法

一种ald设备用通过式加热炉
技术领域
1.本发明属于ald工艺技术领域，具体的说是一种ald设备用通过式加热炉。


背景技术：

2.原子层沉积技术(ald)是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相沉积薄膜的方法；ald生产工艺炉自动线，包括预热腔、反应腔和冷却腔。
3.现有ald工艺炉设备的预热炉炉体主要采用单炉门圆筒式结构设计，工件由前面的门进入，工艺结束后，工件再由前面的门退出，相对于大批量生产的工件而言，单门结构制约了物流时间，对于提高产能有一定的影响，为此，本发明提供一种ald设备用通过式加热炉。


技术实现要素：

4.为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种ald设备用通过式加热炉，包括预热炉；所述预热炉一侧开设有前炉口，另一侧开设有后炉门；所述预热炉一侧侧壁上固接有前提升机，另一侧上固接有后提升机；所述预热炉一侧侧壁上滑动连接有前炉门，另一侧侧壁滑动连接有后炉门；所述前提升机和前炉门相互连接，后提升机和后炉门相互连接；所述前炉门和后炉门内壁上均设有第一加热器；所述预热炉内设有输送机构；所述预热炉内壁底端设有腔内加热器；所述预热炉顶端设有轴流风机；现有ald工艺炉设备的预热炉炉体主要采用单炉门圆筒式结构设计，工件由前面的门进入，工艺结束后，工件再由前面的门退出，相对于大批量生产的工件而言，单门结构制约了物流时间，对于提高产能有一定的影响；为此本发明在工作时，通过前提升机将前炉门提升，然后将物料通过外部输送机构与腔体内输送装置配合，送入预热炉内，然后通过前提升机将前炉门关闭；预热工艺结束后，通过后提升机将后炉门提升，腔体内输送机构与外部输送装置配合，将物料输送出预热炉腔体；热腔前后炉门设计成提升门，门上带第一加热器，这样仍然保持炉内能够快速达到温度要求；加热结束后，前后门可同时打开，加热好的物料自动输送出炉体，待加热物料自动输送入炉体，准备加热，这样连续作业节省时间，提高效率。
6.优选的，所述前炉门和后炉门内壁上均设有第一加热器；工作时，热腔前炉门和后炉门设计成提升门，且门上带第一加热器，在物料通过输送机构将物料输送进预热炉内时，此时通过第一加热器能够快速的弥补前炉门和后炉门开合所流失的热量，进而快速提升炉内温度，提高预热炉的加热效率。
7.优选的，所述输送机构包括传动轴和环形传送带；一对所述传动轴一端转动连接在预热炉内壁，另一端上固接有链轮；所述环形传送带内壁上固接有链条；所述链轮和链条相互啮合；所述预热炉两侧侧壁均通过第一固定柱固接有固定板；所述传动轴贯穿固定板，且转动连接在固定板上；所述环形传送带两侧侧壁上均通过第二固定柱固接有一组固定块；所述固定块中部开设有第一通槽，且第一通槽内滑动连接有第一连接柱；所述第一连接
柱靠近固定板的端部固接有弧形块，另一端固接有挤压板；所述弧形块通过弹簧固接在固定块侧壁上；所述固定板通过推动组件推动弧形块向固定块方向移动；工作时，在对物料进行输送时，此时开动传动轴，因传动轴的链轮和链条相互啮合，传动轴带动环形传送带转动，进而带动放置在传送带上的物料移动，且因为是链轮和链条的相互啮合，两者之间不会发生相互偏移，能够保证环形传送带的输送稳定性；且在环形传送带通过第二固定柱带动固定块移动时，在固定块从弧形转动进入直线运动时，此时通过固定板上的推动组件推动弧形块向固定块方向移动，挤压弧形块上弹簧，弧形块移动时会通过第一连接柱推动挤压板向环形传送带上移动，进而能够挤压固定在放置在环形传送带的物料，因挤压板会随着环形传送带同步移动，故在挤压板挤压固定物料时，不会影响物料在环形传送带上的移动，同时通过挤压板固定物料，能够防止物料在环形传送带上出现移动方向偏移的情况，且通过位于物料两侧的挤压板的挤压固定，能够将物料移动固定在环形传送带中心处，起到导向作用。
8.优选的，所述推动组件包括第一平面、第一斜面和第二平面；一对所述固定板的相对面的中部设有第一平面；一对所述固定板相对面靠近两端处均设有第二平面；所述第一平面和第二平面相互之间通过第一斜面相互连接；所述第一平面和环形传送带的侧壁直线距离小于第二平面和环形传送带侧壁的直线距离；工作时，在弧形块弧形运动时，此时弧形块和第二平面相互接触，在弧形块进入直线运动时，弧形块通过第一斜面从第二平面进行第一平面上，因第一平面和环形传送带的侧壁直线距离小于第二平面和环形传送带侧壁的直线距离，在弧形块从第二平面进入第一平面上时，会推动弧形块向环形传送带方向进行移动，进而通过挤压板和物料进行固定，移动简单方便，且在将物料从前炉门运松到后炉门时，此时弧形块会从第一平面进入第二平面内，能够解除挤压板对物料的挤压，不会影响物料从后炉口输出。
9.优选的，所述挤压板靠近环形传送带的侧壁上开设有一组波纹槽；工作时，因物料在预热炉内进行预热，为了减少挤压板和物料的接触面，让物料充分预热，设置的挤压板的侧壁开设有波纹槽，利用波纹槽能够有效的减少挤压板和物料的接触面积，保证挤压板和物料的贴合面的充分预热。
10.优选的，所述波纹槽的凸块内开设有出气腔；所述出气腔靠近波纹槽的侧壁上开设有第一出气孔；所述固定块内开设有第一空腔；所述第一空腔内壁密封滑动连接滑板；所述滑板靠近挤压板的侧壁上固接有第三固定柱；所述第三固定柱贯穿第一空腔并固接有在挤压板上；所述第一空腔和出气腔通过软管相互连通；所述软管在第一空腔的连通点处位于第一空腔靠近挤压板的侧壁上；工作时，弧形块通过第一连接柱推动挤压板时，此时挤压板向环形传送带方向移动，然后会通过第三固定柱带动滑板在第一空腔内移动，因滑板在第一空腔内密封滑动连接，此时第一空腔内的气体会通过软管进入出气腔内，然后通过第一出气孔喷出，喷出的气体会对挤压板和物料的接触面进行吹气，能够进一步吹落上面的杂质，能够避免出现挤压板和物料的接触面上杂质影响物料的表面的完整度和挤压板的固定效果。
11.优选的，所述第一连接柱包括第二连接杆和t形杆；所述第二连接杆的一端固接在弧形块，另一端上开设有t形槽；所述t形槽槽底通过弹簧固接有t形杆；所述t形杆的端部固接在挤压板上；工作时，设置第一连接柱为第二连接杆和t形杆，让第一连接柱具有一定的
伸缩性，能够适用对不同宽度的物料进行固定，且t形杆在t形槽内滑动连接，且t形杆通过弹簧进行缓冲，能够避免挤压板对物料之间出现刚性碰撞，也对物料具有一定的缓冲作用。
12.优选的，所述波纹槽的凹槽内固接有一组一对对称的弧形弹片；一对所述弧形弹片相背弯曲；工作时，在将物料从前炉门通过输送机构进入炉口中心处时，此时输送机构会暂停，为了防止物料在环形传送带上出现相互相互错位移动的情况，在波纹槽的凹槽内设有一对对称分布的弧形弹片，在弧形弹片和物料内壁相互接触处，此时会挤压弧形弹片向波纹槽凹槽内壁方向移动，通过弧形弹片的弹力能够和物料内壁相互挤压贴合，进一步增大挤压板和物料的摩擦力，避免出现输送机构急停时，物料在环形传送带滑动的情况。
13.优选的，所述挤压板内相对于波纹槽凹槽处开设有第二空腔；所述第二空腔内滑动连接有滑动板；所述滑动板通过第一细绳和弧形弹片弯曲内壁相互连接；所述第二连接杆端部通过第二细绳和滑动板相互连通；所述第一通槽靠近挤压板的开口处设有倒圆角；工作时，在挤压板和物料内壁未接触时，此时第一细绳和第二细绳处于拉紧状态，拉动弧形弹片处于弯曲在波纹槽凹槽内，能够避免在弧形弹片伸出波纹槽外，在对炉内进行清理或者维修时出现折损的情况，在挤压板和物料相机贴合时，此时t形柱会在t形槽内移动，进而使得第一拉绳和第二拉绳处于松动状态，让弧形弹片在弹力作用下和挤压板相互贴合，且设置在第一通槽靠近挤压板的开口处设有倒圆角能够避免第二细绳的磨损。
14.优选的，所述弧形弹片的弯曲外侧壁上固接有一组压块；所述压块的材质为柔软的石墨盘根；所述压块的截面为弧形；所述压块内开设有中空腔；所述中空腔顶端开设有第二出气孔；工作时，在弧形弹片的弯曲外侧壁上固接有一组压块，因压块为柔软的石墨盘根，能够增大弧形弹片和物料内壁的摩擦力，且压块为石墨盘根，石墨盘根是耐高温材质，在预热炉内不会影响石墨盘根的性能；在压块和物料内壁相互接触挤压时，中空腔内的气体会通过第二出气孔喷出，喷出的气体会对压块和物料的接触面进行清理，保证压合面的整洁，对压块和物料侧壁均起到保护作用。
15.本发明的有益效果如下：
16.1.本发明所述的一种ald设备用通过式加热炉，通过热腔前后炉门设计成提升门，门上带第一加热器，这样仍然保持炉内能够快速达到温度要求；加热结束后，前后门可同时打开，加热好的物料自动输送出炉体，待加热物料自动输送入炉体，准备加热，这样连续作业节省时间，提高效率。
17.2.本发明所述的一种ald设备用通过式加热炉，通过固定板上的推动组件推动弧形块向固定块方向移动，挤压弧形块上弹簧，弧形块移动时会通过第一连接柱推动挤压板向环形传送带上移动，进而能够挤压固定在放置在环形传送带的物料，能够将物料移动固定在环形传送带中心处，起到固定导向作用。
附图说明
18.下面结合附图对本发明作进一步说明。
19.图1是本发明的主视图；
20.图2是图1中a向视图；
21.图3是图2中b处局部放大图；
22.图4是图3中c处局部放大图；
23.图5是图3中d处局部放大图；
24.图6是固定板的立体图；
25.图7是弧形弹片的剖视图
26.图8是压块的剖视图；
27.图中：1、预热炉；11、前炉口；12、后炉口；13、前炉门；14、后炉门；15、前提升机；16、后提升机；17、输送机构；18、腔内加热器；19、第一加热器；2、传动轴；21、链轮；22、环形传送带；23、链条；24、第一固定柱；25、固定板；26、第二固定柱；27、固定块；28、挤压板；29、第一连接柱；3、弧形块；31、第一通槽；32、第一平面；33、第一斜面；34、第二平面；35、波纹槽；36、第一空腔；37、滑板；38、第三固定柱；39、出气腔；391、第一出气孔391；4、第二连接杆；41、t形槽；42、t形杆；43、弧形弹片；44、第二空腔；45、滑动板；46、第一细绳；47、第二细绳；48、压块；5、中空腔；51、第二出气孔。
具体实施方式
28.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
29.实施例一
30.如图1所示，本发明实施例所述的一种ald设备用通过式加热炉，包括预热炉1；所述预热炉1一侧开设有前炉口11，另一侧开设有后炉门14；所述预热炉1一侧侧壁上固接有前提升机15，另一侧上固接有后提升机16；所述预热炉1一侧侧壁上滑动连接有前炉门13，另一侧侧壁滑动连接有后炉门14；所述前提升机15和前炉门13相互连接，后提升机16和后炉门14相互连接；所述预热炉1内设有输送机构17；所述预热炉1内壁底端设有腔内加热器18；所述预热炉1顶端设有轴流风机；现有ald工艺炉设备的预热炉1炉体主要采用单炉门圆筒式结构设计，工件由前面的门进入，工艺结束后，工件再由前面的门退出，相对于大批量生产的工件而言，单门结构制约了物流时间，对于提高产能有一定的影响；为此本发明在工作时，通过前提升机15将前炉门13提升，然后将物料通过外部输送机构17与腔体内输送装置配合，送入预热炉1内，然后通过前提升机15将前炉门13关闭；预热工艺结束后，通过后提升机16将后炉门14提升，腔体内输送机构17与外部输送装置配合，将物料输送出预热炉1腔体；这样仍然保持炉内能够快速达到温度要求；加热结束后，前后门可同时打开，加热好的物料自动输送出炉体，待加热物料自动输送入炉体，准备加热，这样连续作业节省时间，提高效率。
31.所述前炉门13和后炉门14内壁上均设有第一加热器19；工作时，热腔前炉门13和后炉门14设计成提升门，且门上带第一加热器19，在物料通过输送机构17将物料输送进预热炉1内时，此时通过第一加热器19能够快速的弥补前炉门13和后炉门14开合所流失的热量，进而快速提升炉内温度，提高预热炉1的加热效率。
32.实施例二
33.如图2至图6所示，所述输送机构17包括传动轴2和环形传送带22；一对所述传动轴2一端转动连接在预热炉1内壁，另一端上固接有链轮21；所述环形传送带22内壁上固接有链条23；所述链轮21和链条23相互啮合；所述预热炉1两侧侧壁均通过第一固定柱24固接有固定板25；所述传动轴2贯穿固定板25，且转动连接在固定板25上；所述环形传送带22两侧
侧壁上均通过第二固定柱26固接有一组固定块27；所述固定块27中部开设有第一通槽31，且第一通槽31内滑动连接有第一连接柱29；所述第一连接柱29靠近固定板25的端部固接有弧形块3，另一端固接有挤压板28；所述弧形块3通过弹簧固接在固定块27侧壁上；所述固定板25通过推动组件推动弧形块3向固定块27方向移动；工作时，在对物料进行输送时，此时开动传动轴2，因传动轴2的链轮21和链条23相互啮合，传动轴2带动环形传送带22转动，进而带动放置在传送带上的物料移动，且因为是链轮21和链条23的相互啮合，两者之间不会发生相互偏移，能够保证环形传送带22的输送稳定性；且在环形传送带22通过第二固定柱26带动固定块27移动时，在固定块27从弧形转动进入直线运动时，此时通过固定板25上的推动组件推动弧形块3向固定块27方向移动，挤压弧形块3上弹簧，弧形块3移动时会通过第一连接柱29推动挤压板28向环形传送带22上移动，进而能够挤压固定在放置在环形传送带22的物料，因挤压板28会随着环形传送带22同步移动，故在挤压板28挤压固定物料时，不会影响物料在环形传送带22上的移动，同时通过挤压板28固定物料，能够防止物料在环形传送带22上出现移动方向偏移的情况，且通过位于物料两侧的挤压板28的挤压固定，能够将物料移动固定在环形传送带22中心处，起到导向作用。
34.所述推动组件包括第一平面32、第一斜面33和第二平面34；一对所述固定板25的相对面的中部设有第一平面32；一对所述固定板25相对面靠近两端处均设有第二平面34；所述第一平面32和第二平面34相互之间通过第一斜面33相互连接；所述第一平面32和环形传送带22的侧壁直线距离小于第二平面34和环形传送带22侧壁的直线距离；工作时，在弧形块3弧形运动时，此时弧形块3和第二平面34相互接触，在弧形块3进入直线运动时，弧形块3通过第一斜面33从第二平面34进行第一平面32上，因第一平面32和环形传送带22的侧壁直线距离小于第二平面34和环形传送带22侧壁的直线距离，在弧形块3从第二平面34进入第一平面32上时，会推动弧形块3向环形传送带22方向进行移动，进而通过挤压板28和物料进行固定，移动简单方便，且在将物料从前炉门13运松到后炉门14时，此时弧形块3会从第一平面32进入第二平面34内，能够解除挤压板28对物料的挤压，不会影响物料从后炉口12输出。
35.所述挤压板28靠近环形传送带22的侧壁上开设有一组波纹槽35；工作时，因物料在预热炉1内进行预热，为了减少挤压板28和物料的接触面，让物料充分预热，设置的挤压板28的侧壁开设有波纹槽35，利用波纹槽35能够有效的减少挤压板28和物料的接触面积，保证挤压板28和物料的贴合面的充分预热。
36.所述波纹槽35的凸块内开设有出气腔39；所述出气腔39靠近波纹槽35的侧壁上开设有第一出气孔391；所述固定块27内开设有第一空腔36；所述第一空腔36内壁密封滑动连接滑板37；所述滑板37靠近挤压板28的侧壁上固接有第三固定柱38；所述第三固定柱38贯穿第一空腔36并固接有在挤压板28上；所述第一空腔36和出气腔39通过软管相互连通；所述软管在第一空腔36的连通点处位于第一空腔36靠近挤压板28的侧壁上；工作时，弧形块3通过第一连接柱29推动挤压板28时，此时挤压板28向环形传送带22方向移动，然后会通过第三固定柱38带动滑板37在第一空腔36内移动，因滑板37在第一空腔36内密封滑动连接，此时第一空腔36内的气体会通过软管进入出气腔39内，然后通过第一出气孔391喷出，喷出的气体会对挤压板28和物料的接触面进行吹气，能够进一步吹落上面的杂质，能够避免出现挤压板28和物料的接触面上杂质影响物料的表面的完整度和挤压板28的固定效果。
37.所述第一连接柱29包括第二连接杆4和t形杆42；所述第二连接杆4的一端固接在弧形块3，另一端上开设有t形槽41；所述t形槽41槽底通过弹簧固接有t形杆42；所述t形杆42的端部固接在挤压板28上；工作时，设置第一连接柱29为第二连接杆4和t形杆42，让第一连接柱29具有一定的伸缩性，能够适用对不同宽度的物料进行固定，且t形杆42在t形槽41内滑动连接，且t形杆42通过弹簧进行缓冲，能够避免挤压板28对物料之间出现刚性碰撞，也对物料具有一定的缓冲作用。
38.所述波纹槽35的凹槽内固接有一组一对对称的弧形弹片43；一对所述弧形弹片43相背弯曲；工作时，在将物料从前炉门13通过输送机构17进入炉口中心处时，此时输送机构17会暂停，为了防止物料在环形传送带22上出现相互相互错位移动的情况，在波纹槽35的凹槽内设有一对对称分布的弧形弹片43，在弧形弹片43和物料内壁相互接触处，此时会挤压弧形弹片43向波纹槽35凹槽内壁方向移动，通过弧形弹片43的弹力能够和物料内壁相互挤压贴合，进一步增大挤压板28和物料的摩擦力，避免出现输送机构17急停时，物料在环形传送带22滑动的情况。
39.所述挤压板28内相对于波纹槽35凹槽处开设有第二空腔44；所述第二空腔44内滑动连接有滑动板45；所述滑动板45通过第一细绳46和弧形弹片43弯曲内壁相互连接；所述第二连接杆4端部通过第二细绳47和滑动板45相互连通；所述第一通槽31靠近挤压板28的开口处设有倒圆角；工作时，在挤压板28和物料内壁未接触时，此时第一细绳46和第二细绳47处于拉紧状态，拉动弧形弹片43处于弯曲在波纹槽35凹槽内，能够避免在弧形弹片43伸出波纹槽35外，在对炉内进行清理或者维修时出现折损的情况，在挤压板28和物料相机贴合时，此时t形柱会在t形槽41内移动，进而使得第一拉绳和第二拉绳处于松动状态，让弧形弹片43在弹力作用下和挤压板28相互贴合，且设置在第一通槽31靠近挤压板28的开口处设有倒圆角能够避免第二细绳47的磨损。
40.所述弧形弹片43的弯曲外侧壁上固接有一组压块48；所述压块48的材质为柔软的石墨盘根；所述压块48的截面为弧形；所述压块48内开设有中空腔5；所述中空腔5顶端开设有第二出气孔51；工作时，在弧形弹片43的弯曲外侧壁上固接有一组压块48，因压块48为柔软的石墨盘根，能够增大弧形弹片43和物料内壁的摩擦力，且压块48为石墨盘根，石墨盘根是耐高温材质，在预热炉1内不会影响石墨盘根的性能；在压块48和物料内壁相互接触挤压时，中空腔5内的气体会通过第二出气孔51喷出，喷出的气体会对压块48和物料的接触面进行清理，保证压合面的整洁，对压块48和物料侧壁均起到保护作用。
41.工作原理：通过前提升机15将前炉门13提升，然后将物料通过外部输送机构17与腔体内输送装置配合，送入预热炉1内，然后通过前提升机15将前炉门13关闭；预热工艺结束后，通过后提升机16将后炉门14提升，腔体内输送机构17与外部输送装置配合，将物料输送出预热炉1腔体；热腔前后炉门14设计成提升门，门上带第一加热器19，这样仍然保持炉内能够快速达到温度要求；加热结束后，前后门可同时打开，加热好的物料自动输送出炉体，待加热物料自动输送入炉体，准备加热，这样连续作业节省时间，提高效率；在对物料进行输送时，此时开动传动轴2，因传动轴2的链轮21和链条23相互啮合，传动轴2带动环形传送带22转动，进而带动放置在传送带上的物料移动，且因为是链轮21和链条23的相互啮合，两者之间不会发生相互偏移，能够保证环形传送带22的输送稳定性；在弧形块3弧形运动时，此时弧形块3和第二平面34相互接触，在弧形块3进入直线运动时，弧形块3通过第一斜
面33从第二平面34进行第一平面32上，因第一平面32和环形传送带22的侧壁直线距离小于第二平面34和环形传送带22侧壁的直线距离，在弧形块3从第二平面34进入第一平面32上时，弧形块3移动时会通过第一连接柱29推动挤压板28向环形传送带22上移动，进而能够挤压固定在放置在环形传送带22的物料，因挤压板28会随着环形传送带22同步移动，故在挤压板28挤压固定物料时，不会影响物料在环形传送带22上的移动，同时通过挤压板28固定物料，能够防止物料在环形传送带22上出现移动方向偏移的情况，且通过位于物料两侧的挤压板28的挤压固定，能够将物料移动固定在环形传送带22中心处，起到导向作用；弧形块3通过第一连接柱29推动挤压板28时，此时挤压板28向环形传送带22方向移动，然后会通过第三固定柱38带动滑板37在第一空腔36内移动，因滑板37在第一空腔36内密封滑动连接，此时第一空腔36内的气体会通过软管进入出气腔39内，然后通过第一出气孔391喷出，喷出的气体会对挤压板28和物料的接触面进行吹气，能够进一步吹落上面的杂质，能够避免出现挤压板28和物料的接触面上杂质影响物料的表面的完整度和挤压板28的固定效果；设置第一连接柱29为第二连接杆4和t形杆42，让第一连接柱29具有一定的伸缩性，能够适用对不同宽度的物料进行固定，且t形杆42在t形槽41内滑动连接，且t形杆42通过弹簧进行缓冲，能够避免挤压板28对物料之间出现刚性碰撞，也对物料具有一定的缓冲作用；在挤压板28和物料内壁未接触时，此时第一细绳46和第二细绳47处于拉紧状态，拉动弧形弹片43处于弯曲在波纹槽35凹槽内，能够避免在弧形弹片43伸出波纹槽35外，在对炉内进行清理或者维修时出现折损的情况，在挤压板28和物料相机贴合时，此时t形柱会在t形槽41内移动，进而使得第一拉绳和第二拉绳处于松动状态，让弧形弹片43在弹力作用下和挤压板28相互贴合，通过弧形弹片43的弹力能够和物料内壁相互挤压贴合，进一步增大挤压板28和物料的摩擦力，避免出现输送机构17急停时，物料在环形传送带22滑动的情况。
42.上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
43.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
44.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。