一种单腔晶圆甩干机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆甩干机技术领域，具体为一种单腔晶圆甩干机。


背景技术：

2.甩干机是利用离心力的原理设计的，晶圆在进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后通过晶圆甩干机对晶圆进行脱水，单腔晶圆甩干机是晶圆甩干机的一种，现有的单腔晶圆甩干机在工作过程中，大幅度的甩干作业下，机器会产生较大的震动，影响整体稳定，同时在甩干时会产生噪音，影响工作环境，因此，设计一种单腔晶圆甩干机是很有必要的。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种单腔晶圆甩干机，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种单腔晶圆甩干机，包括机柜主体，所述机柜主体的底部设有缓冲组件，所述缓冲组件的底部与底座的顶部连接，所述机柜主体内位于甩干腔室下方两端对称设有二级消音器主体，所述机柜主体内位于甩干腔室下方中间安装有吸音板，所述吸音板的顶部均匀设有吸音凸块，且吸音凸块上开设有若干个吸音孔，所述吸音板底部设有若干个吸音柱，通过缓冲组件对机器工作时产生的震动进行缓冲，保证整体稳定，吸音板进行吸音，开设有吸音孔的吸音凸块与吸音柱提高吸音效果，配合二级消音器主体，实现降噪，方便工作。
5.在进一步的实施例中，所述机柜主体的表面一侧中间通过合页铰接有柜门，所述柜门表面设有观察窗，所述柜门背面设有密封圈，通过柜门上的观察窗方便对机柜主体内进行观察，密封圈的设置提高了密封效果，防止甩干水流出。
6.在进一步的实施例中，所述缓冲组件包括安装有机柜主体底部的固定块，所述底座顶部位于固定块下方设有滑杆，所述滑杆上对称套设有推块，且固定块通过推杆与推块铰接固定，所述滑杆上位于推块一侧套设有压缩弹簧，固定块承受压力，通过推杆推动推块在滑杆上滑动，进而挤压压缩弹簧，对震动进行缓冲，保证整体稳定。
7.在进一步的实施例中，所述固定块的底部中间设有固定内筒，所述底座顶部位于固定内筒下方外卡合连接有固定套筒，所述固定内筒和固定套筒的内壁均设有同极性相对的磁铁，通过固定内筒向固定套筒内移动，两磁铁互斥，对压力进行分散，保证稳定。
8.在进一步的实施例中，所述吸音板上开设有若干个空腔，所述空腔内设有海绵球，所述吸音柱表面开设有若干个弧形槽，通过吸音板上设置海绵球，提高吸音板的吸音效果，吸音柱上开设的弧形槽方便对噪声进行衰减，方便降噪。
9.在进一步的实施例中，所述机柜主体的底部四角均开设有凹槽，所述凹槽内固定有缓冲弹簧，所述底座的顶部四角均固定有凸柱，且凸柱的顶端伸入到凹槽内与缓冲弹簧连接，通过凸柱向凹槽内移动，挤压缓冲弹簧，对震动进行缓冲，保证稳定。
10.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
11.1.通过推杆推动推块在滑杆上滑动，进而挤压压缩弹簧，对震动进行缓冲，固定内筒向固定套筒内移动，两磁铁互斥，对压力进行分散，保证稳定，凸柱向凹槽内移动，挤压缓冲弹簧，对震动进行缓冲，保证稳定；
12.2.通过吸音板进行吸音，开设有吸音孔的吸音凸块与吸音柱提高吸音效果，配合二级消音器主体，实现降噪，方便工作，通过吸音板上设置海绵球，提高吸音板的吸音效果，吸音柱上开设的弧形槽方便对噪声进行衰减，方便降噪。
附图说明
13.图1是本实用新型的整体结构示意图；
14.图2是本实用新型的缓冲组件结构示意图；
15.图3是本实用新型的吸音板安装结构示意图；
16.附图标记为：机柜主体1、柜门2、观察窗3、底座4、凹槽5、缓冲弹簧6、凸柱7、缓冲组件8、固定块9、滑杆10、推块11、压缩弹簧12、固定内筒13、固定套筒14、磁铁15、推杆16、二级消音器主体17、吸音板18、吸音凸块19、吸音孔20、海绵球21、吸音柱22。
具体实施方式
17.在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
18.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种单腔晶圆甩干机，包括机柜主体1、柜门2、观察窗3、底座4、凹槽5、缓冲弹簧6、凸柱7、缓冲组件8、固定块9、滑杆10、推块11、压缩弹簧12、固定内筒13、固定套筒14、磁铁15、推杆16、二级消音器主体17、吸音板18、吸音凸块19、吸音孔20、海绵球21和吸音柱22，缓冲组件8设置在机柜主体1的底部，底座4的顶部与缓冲组件8的底部连接，二级消音器主体17对称设置在机柜主体1内位于甩干腔室下方两端处，吸音板18安装在机柜主体1内位于甩干腔室下方中间处，吸音凸块19均匀设置在吸音板18的顶部，若干个吸音孔20开设在吸音凸块19上，若干个吸音柱22开设在吸音板18底部，通过缓冲组件8对机器工作时产生的震动进行缓冲，保证整体稳定，吸音板18进行吸音，开设有吸音孔20的吸音凸块19与吸音柱22提高吸音效果，配合二级消音器主体17，实现降噪，方便工作。
19.进一步的，机柜主体1的表面一侧中间通过合页铰接有柜门2，柜门2表面设有观察窗3，柜门2背面设有密封圈，通过柜门2上的观察窗3方便对机柜主体1内进行观察，密封圈的设置提高了密封效果，防止甩干水流出。
20.进一步的，缓冲组件8包括安装有机柜主体1底部的固定块9，底座4顶部位于固定块9下方设有滑杆10，滑杆10上对称套设有推块11，且固定块9通过推杆16与推块11铰接固定，滑杆10上位于推块11一侧套设有压缩弹簧12，固定块9承受压力，通过推杆16推动推块11在滑杆10上滑动，进而挤压压缩弹簧12，对震动进行缓冲，保证整体稳定。
21.进一步的，固定块9的底部中间设有固定内筒13，底座4顶部位于固定内筒13下方外卡合连接有固定套筒14，固定内筒13和固定套筒14的内壁均设有同极性相对的磁铁15，
通过固定内筒13向固定套筒14内移动，两磁铁15互斥，对压力进行分散，保证稳定。
22.进一步的，吸音板18上开设有若干个空腔，空腔内设有海绵球21，吸音柱22表面开设有若干个弧形槽，通过吸音板18上设置海绵球21，提高吸音板18的吸音效果，吸音柱22上开设的弧形槽方便对噪声进行衰减，方便降噪。
23.进一步的，机柜主体1的底部四角均开设有凹槽5，凹槽5内固定有缓冲弹簧6，底座4的顶部四角均固定有凸柱7，且凸柱7的顶端伸入到凹槽5内与缓冲弹簧6连接，通过凸柱7向凹槽5内移动，挤压缓冲弹簧6，对震动进行缓冲，保证稳定。
24.工作原理：固定块9承受压力，通过推杆16推动推块11在滑杆10上滑动，进而挤压压缩弹簧12，对震动进行缓冲，固定内筒13向固定套筒14内移动，两磁铁15互斥，对压力进行分散，保证稳定，凸柱7向凹槽5内移动，挤压缓冲弹簧6，对震动进行缓冲，保证稳定；吸音板18进行吸音，开设有吸音孔20的吸音凸块19与吸音柱22提高吸音效果，配合二级消音器主体17，实现降噪，方便工作，通过吸音板18上设置海绵球21，提高吸音板18的吸音效果，吸音柱22上开设的弧形槽方便对噪声进行衰减，方便降噪。
25.以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。