一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.现市面上的退火炉烟尘回收装置在使用时大多数都是存在以下问题：
4.1.退火炉在燃烧时会产生大量的烟尘，该烟尘如散发至外部的环境中，外部的操作人员将其吸入后，会对身体造成一定的损伤，甚至会出现中毒的现象，无法将所产生的烟尘进行回收，使用时非常的不便捷；
5.2.传统的回收方式存在一定的局限性，无法达到二次回收的目的，同时单次的回收存在一些安全隐患，应用时较为麻烦。


技术实现要素：

6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置，解决了现有退火炉在燃烧时会产生大量的烟尘，该烟尘如散发至外部的环境中，外部的操作人员将其吸入后，会对身体造成一定的损伤，甚至会出现中毒的现象，无法将所产生的烟尘进行回收，使用时非常的不便捷；传统的回收方式存在一定的局限性，无法达到二次回收的目的，同时单次的回收存在一些安全隐患，应用时较为麻烦的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置，包括退火炉主体、回收主体、第一支撑框架、第二支撑框架以及回收机构，所述回收机构的顶部设有电机，所述回收主体内壁的顶部设有驱动轴，所述驱动轴的底部设有第一旋转轴，所述第一旋转轴的底部设有旋转杆，所述旋转杆的外壁通过焊接的方式连接第三支撑框架，所述第三支撑框架的内部通过镶嵌的方式连接第二支撑框架，所述第二支撑框架的内部开设放置槽，所述放置槽的外部设有收纳网，所述收纳网的外部设有第一支撑框架，所述第一支撑框架的外壁设有固定块，所述第二支撑框架的外部开设固定槽，所述固定块通过镶嵌的方式连接固定槽的内部。
10.优选的，所述回收机构的内部通过粘接的方式连接过滤芯，所述过滤芯呈平局分布形式。
11.优选的，所述第三支撑框架的顶部和底部均设有第二旋转轴，所述第二旋转轴的外部设有限位杆，所述限位杆位于第三支撑框架的外侧。
12.优选的，所述退火炉主体外壁的右侧设有第一传递管，所述第一传递管的外壁设有第一鼓风机，所述第一传递管的右侧位于回收主体的左侧。
13.优选的，所述回收主体外壁的右侧设有第二传递管，所述第二传递管的外壁设有第二鼓风机，所述第二鼓风机位于回收机构的左侧。
14.优选的，所述退火炉主体的两侧通过焊接的方式连接支撑架，所述支撑架以及回收主体的底部设有支撑底座。
15.(三)有益效果
16.本实用新型提供了一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置。具备以下有益效果：
17.(1)、该不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置，通过在回收主体的内部设有的第二支撑框架，该第二支撑框架的内部开设了放置槽，该放置槽的内部可放置一些活性炭，利用活性炭对所吸入的烟尘进行吸附，以便对烟尘中掺杂的粉尘进行吸附，从而将烟尘进行回收，由型号为y160m
‑
6电机带动驱动轴，再由驱动轴带动第一旋转轴，由第一旋转轴带动旋转杆进行旋转，从而内部所放置的活性炭将通过旋转的方式进行吸附，随着使用时间不断的增加，可针对内部的活性炭进行更换，从而提高了吸附时的工作效率，再将活性炭放置在放置槽的内部时，可将收纳网安装在第二支撑框架的外壁上，将固定块插入固定槽的内部，以便将内部的活性炭进行固定，在旋转吸附时，不会出现掉落的现象，从而大大的提升了使用时的稳定性，操作简单，应用时较为便捷；
18.(2)、该不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置，通过设有的回收机构，可利用内部的过滤芯再次的对所吸入的烟尘进行回收，以便达到二次回收的目的，可利用内部分布多个过滤芯进行吸附，同时随着使用时间不断的增加，可针对第二支撑框架进行拆卸和安装，该第二支撑框架可插入第三支撑框架的内部，然后由第二旋转轴带动限位板进行转动，将限位板贴合在第三支撑框架的外侧，从而起到限位的作用，防止内部的第二支撑框架出现滑出的现象，使用时非常的便捷。
附图说明
19.图1为本实用新型内部整体的结构示意图；
20.图2为本实用新型第二支撑框架整体的结构示意图；
21.图3为本实用新型第三支撑框架整体的结构示意图；
22.图4为本实用新型回收机构内部的结构示意图。
23.图中，退火炉主体
‑
1、回收主体
‑
2、支撑底座
‑
3、支撑架
‑
4、回收机构
ꢀ‑
5、第一传递管
‑
6、第一鼓风机
‑
7、第二鼓风机
‑
8、固定槽
‑
9、电机
‑
10、驱动轴
‑
11、第一旋转轴
‑
12、旋转杆
‑
13、收纳网
‑
14、固定块
‑
15、第一支撑框架
‑
16、第二支撑框架
‑
17、放置槽
‑
18、限位杆
‑
19、第三支撑框架
‑
20、第二旋转轴
‑
21、过滤芯
‑
22、第二传递管
‑
23。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1
‑
4，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置，包括退火炉主体1、回收主体2、第一支撑框架16、第二支撑框架17以及回收机构5，所述回收机构5的顶部设有电机 10，所述回收主体2内壁的顶部设有驱动轴11，所述驱动轴11的底部设有第一旋转轴12，所述第一旋转轴12的底部设有旋转杆13，由型号为y160m
‑
6 电机10带动驱动轴11，再由驱动轴11带动第一旋转轴12，由第一旋转轴12 带动旋转杆13进行旋转，从而内部所放置的活性炭将通过旋转的方式进行吸附，所述旋转杆13的外壁通过焊接的方式连接第三支撑框架20，所述第三支撑框架20的内部通过镶嵌的方式连接第二支撑框架17，所述第二支撑框架 17的内部开设放置槽18，所述放置槽18的外部设有收纳网14，所述收纳网 14的外部设有第一支撑框架16，所述第一支撑框架16的外壁设有固定块15，所述第二支撑框架17的外部开设固定槽9，所述固定块15通过镶嵌的方式连接固定槽9的内部，将收纳网14安装在第二支撑框架17的外壁上，将固定块15插入固定槽9的内部，以便将内部的活性炭进行固定，在旋转吸附时，不会出现掉落的现象。
26.所述回收机构5的内部通过粘接的方式连接过滤芯22，所述过滤芯22呈平局分布形式，可利用内部的过滤芯22再次的对所吸入的烟尘进行回收，以便达到二次回收的目的，可利用内部分布多个过滤芯22进行吸附，分层形式的进行回收。
27.所述第三支撑框架20的顶部和底部均设有第二旋转轴21，所述第二旋转轴21的外部设有限位杆19，所述限位杆19位于第三支撑框架20的外侧，可针对第二支撑框架17进行拆卸和安装，该第二支撑框架17可插入第三支撑框架20的内部，然后由第二旋转轴21带动限位板进行转动，将限位板贴合在第三支撑框架20的外侧，从而起到限位的作用。
28.所述退火炉主体1外壁的右侧设有第一传递管6，所述第一传递管6的外壁设有第一鼓风机7，所述第一传递管6的右侧位于回收主体2的左侧，由第一鼓风机7对内部的空气进行吸入，由第一传递管6对空气进行传递，应用性较强。
29.所述回收主体2外壁的右侧设有第二传递管23，所述第二传递管23的外壁设有第二鼓风机8，所述第二鼓风机8位于回收机构5的左侧，由第二鼓风机8对内部的空气进行吸入，然后由第二传递管23将空气传递至回收机构5 的内部。
30.所述退火炉主体1的两侧通过焊接的方式连接支撑架4，所述支撑架4以及回收主体2的底部设有支撑底座3，随着使用时间不断的增加，由支撑架4 对退火炉主体1进行固定以及支撑，使得在运作时能够更加的稳定。
31.工作原理：在使用该不锈钢无缝管用退火炉烟尘二次燃烧回收装置时，首先由退火炉主体1进行燃烧，然后由第一鼓风机7将产生的空气以及灰尘进行吸入，由第一传递管6将其传递至回收主体2的内部，然后由型号为 y160m
‑
6电机10带动驱动轴11，然后由驱动轴11带动第一旋转轴12进行旋转，再由第一旋转轴12带动旋转杆13进行旋转，同时外壁的第三支撑框架 20同时进行旋转，然后由内部所放置的活性炭对其进行旋转方式的吸附，然后再由第二鼓风机8对其进行传递，由第二传递管23传递至回收机构5的内部，然后由过滤芯22进行二次回收，最后随着使用时间不断的增加，将限位板通过第二旋转轴21进行旋转，将第二支撑框架17从第三支撑框架20的内部进行拆卸，然后将固定块15与固定槽9进行分离，将内部的所放置的活性炭进行更换，以便下次继续的吸附，从而大大的提升了使用时的便捷程度，操作简单，应用时较为便捷。
32.本实用新型的退火炉主体1、回收主体2、支撑底座3、支撑架4、回收机构5、第一传递管6、第一鼓风机7、第二鼓风机8、固定槽9、电机10、驱动轴11、第一旋转轴12、旋转杆13、收纳网14、固定块15、第一支撑框架16、第二支撑框架17、放置槽18、限位杆19、第三支撑框架20、第二旋转轴21、过滤芯22、第二传递管23，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是退火炉在燃烧时会产生大量的烟尘，该烟尘如散发至外部的环境中，外部的操作人员将其吸入后，会对身体造成一定的损伤，甚至会出现中毒的现象，无法将所产生的烟尘进行回收，使用时非常的不便捷；传统的回收方式存在一定的局限性，无法达到二次回收的目的，同时单次的回收存在一些安全隐患，应用时较为麻烦，本实用新型通过上述部件的互相组合通过在回收主体2的内部设有的第二支撑框架17，该第二支撑框架17的内部开设了放置槽18，该放置槽18的内部可放置一些活性炭，利用活性炭对所吸入的烟尘进行吸附，以便对烟尘中掺杂的粉尘进行吸附，从而将烟尘进行回收，通过设有的回收机构5，可利用内部的过滤芯 22再次的对所吸入的烟尘进行回收，以便达到二次回收的目的。
33.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
34.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。