一种晶体生长炉的观察窗装置的制作方法

文档序号:29234227发布日期:2022-03-12 14:06阅读:121来源:国知局
一种晶体生长炉的观察窗装置的制作方法

1.本说明书涉及晶体制备技术领域,特别涉及一种晶体生长炉的观察窗装置。


背景技术:

2.在晶体生长过程中,通常在温场壁上开设观察孔并在温场内壁或外壁通过粘胶粘接或紧固件固定的方式设置观察窗,以观察晶体生长炉内部情况。通过上述方式设置观察窗,在对晶体生长炉抽真空时,可能会导致观察窗出现错位或脱落等情况发生,此外在高温环境下胶粘可能会熔化挥发,在晶体生长炉内引入杂质。因此,有必要提供一种晶体生长炉的观察窗装置,以保证晶体生长炉内生长环境稳定,且拆装便捷、稳定牢固。


技术实现要素:

3.本说明书实施例之一提供一种晶体生长炉的观察窗装置。所述观察窗装置包括观察窗和保温块,其中,所述保温块开设观察通道和卡槽,所述观察通道和卡槽交叉设置;所述观察窗设置于所述卡槽中。
4.在一些实施例中,所述观察通道的直径小于预设阈值。
5.在一些实施例中,所述观察通道与晶体生长炉中熔融液面的距离处于预设范围内。
6.在一些实施例中,所述观察通道的形状为上窄下宽形。
7.在一些实施例中,所述观察通道的与竖直方向的夹角为0
°‑
90
°

8.在一些实施例中,所述卡槽的横截面形状包括圆形、椭圆形、矩形、工字形或t形。
9.在一些实施例中,所述观察窗卡设于所述卡槽内,卡设的空隙处填充保温材料。
10.在一些实施例中,所述保温块的底部开设凹槽,用于与所述晶体生长炉的温场卡接。
11.在一些实施例中,所述保温块的侧壁设置卡位,用于与所述晶体生长炉的温场卡接。
12.在一些实施例中,所述观察窗包括凸透镜。
附图说明
13.本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明,这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的,在这些实施例中,相同的编号表示相同的结构,其中:
14.图1a是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
15.图1b是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
16.图2a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性
结构示意图;
17.图2b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
18.图3a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
19.图3b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
20.图4a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
21.图4b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
22.图5a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
23.图5b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
24.图6a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
25.图6b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
26.图7a是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置的示例性竖直剖视图;
27.图7b是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置的示例性俯视图;
28.图8a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置的示例性竖直剖视图;
29.图8b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置的示例性俯视图;
30.图9a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置的示例性竖直剖视图;
31.图9b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置的示例性俯视图。
32.图中,10为带有观察窗装置的温场,100为观察窗装置,200为温场,110为观察窗,120为保温块,130为观察通道,140为卡槽,150为保温材料,160为凹槽,170为卡位。
具体实施方式
33.为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明,图中相同标号代表相同结构或操作。
34.应当理解,本文使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而,如果其他词语可实现相同的目的,则可通过其他表达来替换所述词语。
35.如本说明书和权利要求书中所示,除非上下文明确提示例外情形,“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数,也可包括复数。一般说来,术语“包括”与“包含”仅提
示包括已明确标识的步骤和元素,而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列,方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。
36.本说明书实施例提供了一种晶体生长炉的观察窗装置,通过在保温块上开设交叉设置的观察通道和卡槽,卡槽设置于保温块中部,以及将观察窗设置于卡槽中,使得观察窗被较好地限位在卡槽中,不易错位或松动;此外,无需使用胶粘则可实现观察窗的固定,相应地,不会向晶体生长炉中引入粘胶熔化挥发的杂质,拆装便捷、稳定牢固。进一步地,通过对观察通道形状、尺寸、位置等的设置,可以减少对晶体生长炉的温场的温度梯度的影响,维持晶体生长炉内温度梯度的稳定。
37.图1a是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;图1b是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;
38.图2a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;
39.图2b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;图3a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;图3b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;图4a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;图4b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;图5a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;图5b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图;图6a是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性结构示意图;图6b是根据本说明书又一些实施例所示的观察窗装置设置于温场外侧的示例性俯视图。以下将结合图1a-图6b对本说明书实施例所涉及的观察窗装置的设置方式进行详细说明。值得注意的是,以下实施例仅仅用以解释本说明书,并不构成对本说明书的限定。
40.在一些实施例中,观察窗装置100可以用于观察晶体生长炉内的晶体生长情况。
41.在一些实施例中,如图1a-5b所示,观察窗装置100可以设置于温场200外侧,以观察晶体生长炉内晶体生长情况。
42.在一些实施例中,观察窗装置100可以包括至少两个,至少两个观察窗装置100可以对称设置于晶体生长炉的温场200外。在一些实施例中,如图6a和图6b所示,观察窗装置100可以为两个,两个观察窗装置100可以对称设置于晶体生长炉的温场200外。通过在温场200外侧对称设置至少两个观察窗装置100,既能够保证晶体生长炉内温场200的温度梯度的对称和平衡,又能够从不同的角度观察到晶体生长情况。
43.关于观察窗装置100与温场200的连接方式可以参见下文,在此不作赘述。
44.图7a是根据本说明书一些实施例所示的保温块的示例性竖直剖视图;图7b是根据本说明书一些实施例所示的保温块的示例性俯视图;图8a是根据本说明书又一些实施例所示的保温块的示例性竖直剖视图;图8b是根据本说明书又一些实施例所示的保温块的示例性俯视图;图9a是根据本说明书又一些实施例所示的保温块的示例性竖直剖视图;图9b是根据本说明书又一些实施例所示的保温块的示例性俯视图。以下将结合图1a-图9b对本说明书实施例所涉及的观察窗装置进行详细说明。值得注意的是,以下实施例仅仅用以解释
本说明书,并不构成对本说明书的限定。
45.在一些实施例中,如图7a-图9b所示,观察窗装置100可以包括观察窗110和保温块120。在一些实施例中,保温块120可以开设观察通道130和卡槽140,观察通道130与卡槽140交叉设置。在一些实施例中,观察窗110可以设置于卡槽140中。
46.在一些实施例中,如图1a和图1b所示,可以使用耐高温金属线或耐高温金属绳(图中未示出)将保温块120与晶体生长炉的温场200捆绑连接。在一些实施例中,耐高温金属线或耐高温金属绳的材质可以包括镀银铜、纯银、镀镍铜、纯镍等。
47.通过捆绑连接的方式将保温块120与晶体生长炉的温场200固定连接,连接方式简单,可以适用于不同的适用场景、适用性强,使得观察窗装置100可以与不同的温场灵活连接。
48.在一些实施例中,如图2a-图2b所示,保温块120的底部可以开设凹槽160,晶体生长炉的温场200的对应位置可以设置凸起。相应地,可以通过凹槽160和对应的凸起实现保温块120与温场200的连接。
49.在一些实施例中,凹槽160的横截面形状可以为圆形、椭圆形、多边形等。在一些实施例中,凸起的横截面与凹槽160的横截面相匹配,使得凹槽160可以放置于凸起中形成卡接连接。在一些实施例中,“相匹配”可以指凹槽160的横截面与凸起的横截面形状相同或相似且差值在预设阈值范围(如,1mm-5mm)内。例如,凹槽160的横截面形状为矩形,凸起的横截面形状也为矩形,且凹槽160的横截面边长小于凸起的横截面边长。
50.通过凹槽160和凸起卡接连接,使得保温块120与晶体生长炉的温场200卡接,连接较为稳固。
51.在一些实施例中,如图3a和图3b及图5a和5b所示,保温块120的侧壁可以设置卡位170,晶体生长炉的温场200的对应位置可以设置凹位。相应地,可以通过卡位170和对应的凹位实现保温块120与温场200的连接。
52.在一些实施例中,卡位170的横截面形状可以为t形、z形、矩形等。在一些实施例中,凹位的横截面与卡位170的横截面相匹配,使得卡位170可以放置于凹位中形成卡接连接。在一些实施例中,“相匹配”可以指卡位170的横截面与凹位的横截面形状相同或相似且差值在预设阈值范围(如,1mm-5mm)内。
53.例如,如图3b所示,卡位170的横截面形状为t形,凹位的横截面形状也为t形,且卡位170的横截面边长小于凹位的横截面边长。又例如,如图5b所示,卡位170的横截面形状为矩形,凹位的横截面形状也为矩形,且卡位170的横截面边长小于凹位的横截面边长。
54.通过卡位170与凹位卡接连接,使得保温块120与晶体生长炉的温场200卡接,连接较为稳固。
55.在一些实施例中,如图4a和图4b、5a和图5b及图6a和图6b所示,保温块120可以同时设置凹槽160和卡位170,用于与晶体生长炉的温场200卡接。通过凹槽160和凸起卡接连接以及卡位170与凹位卡接连接,使得保温块120与晶体生长炉的温场200卡接后更为稳固。
56.在一些实施例中,如图7a和7b及图8a和8b所示,观察通道130的两端可以开设于保温块120的侧壁上。在一些实施例中,如图9a和图9b所示,观察通道130的两端可以分别开设于保温块120的顶部和侧壁上。在一些实施例中,垂直于观察方向的观察通道130的截面形状可以包括圆形、椭圆形、矩形、多边形等。
57.在一些实施例中,垂直于观察方向的观察通道130的截面形状为圆形时,观察通道130的直径可以小于预设阈值。在一些实施例中,预设阈值可以在8cm~50cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在10cm~45cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在12cm~43cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在15cm~40cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在18cm~37cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在20cm~35cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在22cm~33cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在25cm~30cm的范围内。在一些实施例中,预设阈值可以在28cm~30cm的范围内。
58.通过设置观察通道130的直径小于预设阈值,可以减小观察通道130的散热效果,减小对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,从而提高晶体的一致性和品质。
59.在一些实施例中,观察通道130的形状可以为上窄下宽形(图中未示出)。在一些实施例中,观察通道130远离温场200处的观察口的尺寸可以小于靠近温场200处的观察口的尺寸。在一些实施例中,观察通道130的形状可以为三棱锥、四棱锥、五棱锥、圆台等。在一些实施例中,观察通道130远离温场200处的观察口的形状与靠近温场200处的观察口的形状可以相同,也可以不同。例如,远离温场200处的观察口的形状为圆形,靠近温场200处的观察口的形状为正方形。又例如,远离温场200处的观察口的形状为圆形,靠近温场200处的观察口的形状为圆形。
60.通过设置观察通道的形状为上窄下宽形,可以减少观察通道130的散热效果,减小对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,从而提高晶体的一致性和品质。
61.在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面(晶体生长炉中晶体生长所需原料熔融状态的液面)的距离可以处于预设范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的距离可以包括竖直距离和水平距离。在一些实施例中,竖直距离可以是观察通道130靠近温场200的观察口与熔融液面在竖直方向的最短距离,水平距离可以是观察通道130靠近温场200的观察口与熔融液面的边缘在水平方向的最短距离。
62.在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在10mm~200mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在20mm~180mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在30mm~150mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在50mm~130mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在70mm~100mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离可以在80mm~90mm的范围内。在保证可以看到熔融液面的情况下,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离越大。竖直距离越大,观察通道130对温场200的温度梯度影响越小,从而使得晶体的一致性和品质越好。
63.在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在10mm~600mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在20mm~550mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在30mm~500mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在40mm~450mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在50mm~400mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在100mm~350mm的范围内。在一些实施例中,观察
通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在150mm~300mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离可以在200mm~250mm的范围内。在一些实施例中,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离与温场200的尺寸相关,例如,水平距离必须小于温场200的宽度。在保证可以看到熔融液面的情况下,观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离越大。水平距离越大,观察通道130对温场200的温度梯度影响越小,从而晶体的一致性和品质越好。
64.在一些实施例中,观察通道130与保温块120的侧壁(即,竖直方向)具有一定夹角。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以根据观察窗装置100与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离以及水平距离确定,使得操作人员能够从观察通道130观察到熔融液面的情况。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在0
°
~90
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在5
°
~85
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在10
°
~80
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在15
°
~75
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在20
°
~70
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在25
°
~65
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在30
°
~60
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在35
°
~55
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在40
°
~50
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在43
°
~48
°
的范围内。在一些实施例中,观察通道130与竖直方向的夹角可以在44
°
~45
°
的范围内。
65.通过设置观察通道130与竖直方向的夹角在0
°
~90
°
的范围内,保证可以通过观察通道130看到熔融液面的情况下,使得观察通道130与晶体生长炉中熔融液面的水平距离和竖直距离尽可能大,从而使得观察通道130对温场200的温度梯度影响越小,晶体的一致性和品质越好。
66.在一些实施例中,卡槽140可以是用于放置观察窗110的槽体。
67.在一些实施例中,卡槽140的横截面形状可以包括圆形、椭圆形、矩形、工字形、t形等。
68.在一些实施例中,卡槽140在不同竖直高度的横截面形状可以均相同。在一些实施例中,卡槽140在不同竖直高度的的横截面尺寸可以均相同。例如,如图1a和图1b、图7a和图7b及图9a和图9b所示,卡槽140在竖直方向的横截面的形状均为矩形且尺寸均相同。又例如,如图2a-图6b所示,卡槽140在竖直方向的横截面的形状均为工字形且尺寸相同。
69.在一些实施例中,卡槽140在不同竖直高度的横截面的尺寸可以不相同。例如,如图8a和图8b所示,卡槽140在竖直方向的横截面的形状均为矩形,但尺寸不同,形成竖直方向的t字形。
70.在一些实施例中,卡槽140在不同竖直高度的横截面的形状可以不相同。在一些实施例中,卡槽140在不同竖直高度的横截面的尺寸可以不相同。例如,卡槽140在竖直方向的横截面的形状可以包括矩形和圆形,且边长大于直径,形成竖直方向为圆柱体的t字卡槽。
71.通过上述方式设置卡槽140的横截面形状,可以使观察窗110被更好地限位在卡槽140中,避免对晶体生长炉抽真空时观察窗110出现错位或脱落等情况。
72.在一些实施例中,观察窗110的形状可以与卡槽140的形状相匹配(即形状相同或
相似且差值在预设阈值范围(如,1mm-3mm)内),使得观察窗110卡设于卡槽140中时可以被更好地限位。
73.在一些实施例中,如图1a和图1b、图7a和图7b及图9a和图9b所示,观察窗110的横截面形状为矩形,卡槽140的横截面形状也为矩形,且观察窗110的截面边长小于卡槽140的截面边长。在一些实施例中,如图2a-图6b所示,观察窗110的横截面形状为工字形,卡槽140的横截面形状也为工字形,且观察窗110的横截面尺寸(如,各边长)小于卡槽140的横截面尺寸。在一些实施例中,如图8a和图8b所示,观察窗110的竖直截面形状为t字形,卡槽140的竖直截面形状也为t字形,且观察窗110的竖直截面尺寸(如,各边长)小于卡槽140的竖直截面尺寸。
74.通过设置观察窗110的形状可以与卡槽140的形状相匹配,使得观察窗110卡设于卡槽140中时可以被更好地限位,避免对晶体生长炉抽真空时观察窗110出现错位或脱落等情况,观察窗110的稳固性较好。
75.在一些实施例中,卡槽140可以竖直设置或水平设置。在一些实施例中,如图1a-图7b所示,卡槽140可以竖直设置。通过将卡槽140竖直设置,可以减少晶体生长炉中的对流气体附着在观察窗110上,从而减少观察窗110的更换频率、增加观察窗110的使用寿命。
76.在一些实施例中,如图9a-图9b所示,卡槽140可以水平设置。通过将卡槽140水平设置,可以方便安装和更换观察窗110。
77.在一些实施例中,观察窗110的材料可以为耐高温的透明材料,以便于观察晶体生长炉内的生长情况。在一些实施例中,观察窗110的材料可以为玻璃、透明陶瓷、晶片(例如,白宝石晶片、钛宝石晶片、yag晶片等)等。通过选取耐高温的透明材料作为观察窗110,可以在观察晶体生长的同时,保证观察窗110使用效果,减少观察窗110的更换频率、增加观察窗110的使用寿命。
78.在一些实施例中,为了减少观察窗110与卡槽140空隙处的散热,减少对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,可以在观察窗110卡设于卡槽140内的卡设空隙处填充保温材料150。
79.在一些实施例中,如图7a-7b所示,可以在观察窗110的侧壁和底部填充保温材料150。
80.在一些实施例中,如图8a和图8b所示,为了进一步提高保温效果,减少对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,还可以在观察窗110的上方铺设保温材料150。
81.在一些实施例中,保温材料150的材质可以包括金属、氧化铝、氧化锆、氧化硅、刚化铝、碳化物、氮化物、硅化物等耐高温材料中的一种或多种。
82.通过在观察窗装置100的侧壁、底部或观察窗110上方设置保温材料150,可以减少对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,从而提高晶体一致性和品质。
83.在一些实施例中,观察窗110可以包括凸透镜。在一些实施例中,可以设置凸透镜与晶体生长炉中熔融液面的竖直距离和水平距离以及凸透镜与远离温场200处的观察口的距离,使得操作人员可以观察到放大的晶体生长情况。通过上述设置,在保证能观察到放大的晶体生长情况下,可以使得观察通道130的尺寸尽可能小,从而减少散热,减少对晶体生长炉的温场200的温度梯度的影响,从而提高晶体一致性和品质。
84.本说明书实施例可能带来的有益效果包括但不限于:(1)通过将观察窗卡设于卡
槽中且与观察通道交叉设置以及设置多种卡槽的截面形状,可以使观察窗被较好地限位在卡槽中,不易错位或松动;此外,无需使用胶粘则可实现观察窗的固定,相应地,不会向晶体生长炉中引入粘胶熔化挥发的杂质,拆装便捷、稳定牢固。(2)通过对观察通道形状、尺寸、位置等的设置,例如,直径小于预设阈值、上窄下宽形的形状、与竖直方向的夹角等,可以减少对晶体生长炉的温场的温度梯度的影响,维持晶体生长炉内温度梯度的稳定。(3)将保温块与晶体生长炉的温场通过捆绑连接或卡接的方式连接,连接方式简单,适应性强,安装拆卸方便,使得观察窗装置可以与不同温场灵活连接;(4)通过在观察窗与卡槽的空隙中和/或观察窗的上方设置保温材料,可以减少散热,减少开设卡槽对晶体生长炉的温场的温度梯度影响,从而提高晶体一致性和品质。需要说明的是,不同实施例可能产生的有益效果不同,在不同的实施例里,可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合,也可以是其他任何可能获得的有益效果。
85.上文已对基本概念做了描述,显然,对于本领域技术人员来说,上述详细披露仅仅作为示例,而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明,本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议,所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。
86.同时,本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此,应强调并注意的是,本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外,本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。
87.此外,除非权利要求中明确说明,本说明书所述处理元素和序列的顺序、数字字母的使用、或其他名称的使用,并非用于限定本说明书流程和方法的顺序。尽管上述披露中通过各种示例讨论了一些目前认为有用的发明实施例,但应当理解的是,该类细节仅起到说明的目的,附加的权利要求并不仅限于披露的实施例,相反,权利要求旨在覆盖所有符合本说明书实施例实质和范围的修正和等价组合。例如,虽然以上所描述的系统组件可以通过硬件设备实现,但是也可以只通过软件的解决方案得以实现,如在现有的服务器或移动设备上安装所描述的系统。
88.同理,应当注意的是,为了简化本说明书披露的表述,从而帮助对一个或多个发明实施例的理解,前文对本说明书实施例的描述中,有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是,这种披露方法并不意味着本说明书对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上,实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。
89.一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字,应当理解的是,此类用于实施例描述的数字,在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明,“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有
±
20%的变化。相应地,在一些实施例中,说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值,该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中,数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本说明书一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值,在具体实施例中,此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。
90.针对本说明书引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料,如文章、
书籍、说明书、出版物、文档等,特此将其全部内容并入本说明书作为参考。与本说明书内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外,对本说明书权利要求最广范围有限制的文件(当前或之后附加于本说明书中的)也除外。需要说明的是,如果本说明书附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本说明书所述内容有不一致或冲突的地方,以本说明书的描述、定义和/或术语的使用为准。
91.最后,应当理解的是,本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此,作为示例而非限制,本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地,本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。
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