技术特征：
1.一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体(1)，所述感应加热炉本体(1)上安装有进气管(2)且所述进气管(2)的内腔螺栓安装有风机(4)，其特征在于：所述进气管(2)的左右端呈对称设有两组支管(3)且两组支管(3)的进气端竖直朝下，所两组所述支管(3)的内腔均安装有过滤组件(6)、空气流量传感器(8)和电动阀门(9)，两组所述支管(3)的外壁均安装有定位组件(7)且两组所述定位组件(7)分别与相对应的过滤组件(6)插接。2.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述过滤组件(6)包括半圆板(61)，所述半圆板(61)的内腔安装有过滤网(63)，所述半圆板(61)的外壁上安装有插接板(62)且所述插接板(62)上开设有通孔(64)。3.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述定位组件(7)包括圆筒(71)，所述圆筒(71)安装在支管(3)的外壁上，所述圆筒(71)被插杆(74)贯穿，所述插杆(74)位于圆筒(71)的内部位上安装有挡环(73)，所述圆筒(71)的内腔设置有复位弹簧(72)且所述复位弹簧(72)套接在插杆(74)上，所述复位弹簧(72)的上下端分别与圆筒(71)和挡环(73)相抵触。4.根据权利要求3所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述插杆(74)的上端安装有拉环(75)且所述拉环(75)的外表面包裹一层弹性缓冲垫。5.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述感应加热炉本体(1)的外壁上安装有控制器(10)且所述控制器(10)上设有显示屏，所述控制器(10)分别与两组电动阀门(9)和两组空气流量传感器(8)电性连接。6.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述进气管(2)的上端和两组支管(3)的下端均螺纹密封安装有密封盖(5)。
技术总结
本实用新型公开了一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体，所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机，所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下，所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门，两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。本实用新型所述的一种感应加热外延炉，在进气管上设置有两组支管，且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门，工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业，两组支管内的过滤网交替工作，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性。时也保证了工作的连续性。时也保证了工作的连续性。
技术研发人员：蒋宇飞 蒋焰云 朱建国 程宣林
受保护的技术使用者：无锡赛默可科技有限公司
技术研发日：2021.08.23
技术公布日：2022/1/21