一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置的制作方法

1.本实用新型涉及陶瓷靶材生产技术领域，尤其涉及一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置。


背景技术：

2.陶瓷靶是制备薄膜时使用的源材料，广泛应用于溅射镀膜、脉冲激光沉积等技术中，陶瓷靶材的制备一般要经过粉末制备、粉末成形、烧结与切割加工等几个工艺步骤。经检索：授权公布号为cn211503687u的一种陶瓷靶材加工用烧结装置，该设计在拆卸安装检修使用操作时十分简单方便，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置在陶瓷靶材烧结完之后可快速冷却从而使得加工效率高，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置可防止高温烫伤，从而安全性能高。
3.然而上述中的陶瓷靶材烧还存在有不足之处，不能对温度进行监控，易温度过高而导致靶材变形，且不能对靶材坯体进行加压，使其不能按照模型固定样式进行烧结，因此我们提出了一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决上述中的陶瓷靶材烧结装置不能对温度进行监控，易温度过高而导致靶材变形，且不能对靶材坯体进行加压，使其不能按照模型固定样式进行烧结的缺点，而提出的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，包括箱体，所述箱体的顶部设置有加压机构，所述箱体的一侧固定设置有密封塞，所述密封塞的一侧固定安装有放置板，所述放置板的顶部固定安装有三个放置槽，所述箱体的前后侧内壁上均固定安装有蛇形加热管，所述箱体的一侧固定连通有真空泵，所述箱体的另一侧设置有温度传感器，所述箱体的底部固定安装有冷却筒，所述冷却筒的底部固定安装有过滤网，所述过滤网的顶部固定安装有风扇，所述箱体的顶部设置有两个上电磁阀，所述箱体的底部设置有下电磁阀。
7.优选的，所述加压机构包括固定安装在箱体顶部的保护罩和两个活动设置在箱体内的齿条，所述保护罩的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定安装有蜗杆，所述保护罩的后侧内壁上转动安装有两个主动齿轮和从动齿轮，两个主动齿轮分别与对应的从动齿轮相啮合，两个从动齿轮分别与对应的齿条相啮合，两个主动齿轮的前侧均固定安装有蜗轮，所述蜗杆和两个蜗轮相啮合，两个齿条的底端固定安装有同一个移动板，所述移动板的底部固定安装有三个加压板。
8.优选的，所述箱体的顶部开设有两个通孔，两个齿条分别滑动套接在对应的通孔内。
9.优选的，所述箱体的顶部开设有两个滑孔，两个滑孔内均滑动套接有导向杆，两个导向杆均固定安装在移动板的顶部。
10.优选的，所述移动板的底部固定安装有三个连接杆，三个连接杆分别固定安装在对应的加压板的顶部。
11.优选的，所述箱体的另一侧内壁上固定安装有限位框，所述放置板滑动套接在限位框内。
12.优选的，所述箱体的一侧开设有开口，所述密封塞滑动密封套接在开口内，所述密封塞上螺纹设置有两个螺杆，所述密封塞通过两个螺杆固定安装在开口内。
13.优选的，所述箱体的另一侧固定安装有控制器，所述风扇、下电磁阀、上电磁阀、真空泵、温度传感器、蛇形加热管和电机均与控制器为电性连接。
14.本实用新型中，所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，通过控制器、温度传感器和蛇形加热管的配合，可对箱体内的温度进行控制，避免温度过高而导致靶材被烧变形，通过真空泵，使得靶材坯体在真空下进行烧结，通过冷却筒、风扇、下电磁阀和上电磁阀的配合，可快速对靶材坯体进行冷却；
15.本实用新型中，所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，通过电机、蜗杆、蜗轮、主动齿轮、从动齿轮、齿条、安装板和加压板的配合，可对靶材坯体进行加压，使其不变形并按照模型固定样式进行烧结；
16.本实用新型结构设计合理，通过控制器、温度传感器和蛇形加热管的配合，可对箱体内的温度进行控制，避免温度过高而导致靶材被烧变形，通过风扇、下电磁阀和上电磁阀的配合，可快速对靶材坯体进行冷却，通过电机、蜗杆、蜗轮、主动齿轮、从动齿轮、齿条、安装板和加压板的配合，可对靶材坯体进行加压，使其不变形并按照模型固定样式进行烧结。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置的结构示意图；
18.图2为本实用新型提出的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置的剖视图；
19.图3为本实用新型提出的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置的加压机构的结构示意图。
20.图中：1、箱体；2、加压机构；3、冷却筒；4、过滤网；5、上电磁阀；6、温度传感器；7、控制器；8、真空泵；9、限位框；10、放置板；11、密封塞；12、螺杆；13、蛇形加热管；14、放置槽；15、下电磁阀；16、风扇；17、电机；18、蜗杆；19、保护罩；20、蜗轮；21、主动齿轮；22、从动齿轮；23、齿条；24、导向杆；25、移动板；26、加压板。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.实施例1：
23.参照图1-2，一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，包括箱体1，箱体1的顶部设置有加压机构2，箱体1的一侧设置有密封塞11，箱体1的一侧开设有开口，密封塞11滑动密封套接在开口内，密封塞11上螺纹设置有两个螺杆12，密封塞11通过两个螺杆12固定
安装在开口内，密封塞11的一侧固定安装有放置板10，放置板10的顶部固定安装有三个放置槽14，箱体1的另一侧内壁上固定安装有限位框9，放置板10滑动套接在限位框9内，箱体1的前后侧内壁上均固定安装有蛇形加热管13，箱体1的一侧固定连通有真空泵8，箱体1的另一侧设置有温度传感器6，箱体1的底部固定安装有冷却筒3，冷却筒3的底部固定安装有过滤网4，过滤网4的顶部固定安装有风扇16，箱体1的顶部设置有两个上电磁阀5，箱体1的底部设置有下电磁阀15，箱体1的另一侧固定安装有控制器7，把靶材坯体放在放置槽14内，然后把放置板10插在限位框9内，通过螺杆12，可对密封塞11进行固定，然后通过加压机构2对三个靶材坯体进行加压，使其不变形并且能按照模型固定样式进行烧结，然后通过真空泵8，把箱体1内的气体抽出，进而使得箱体1内气压降低，保证靶材坯体在真空的环境下进行烧结，通过两个蛇形加热管13，可快速对靶材坯体进行加热烧结，通过温度传感器6，可对箱体1内的温度进行监控，当温度传感器6监测到温度过高时，控制器7控制蛇形加热管13停止工作，当温度过低时，控制器7控制蛇形加热管13开始工作，从而保证了箱体1内的温度恒定，避免温度过高而导致靶材坯体被烧变形，当烧结好后，使得加压机构2复位，通过控制器7，开启上电磁阀5、下电磁阀15和风扇16，通过风扇16，可对箱体1内进行吹风冷却，当冷却好后，拧松螺杆12，即可拉出放置板10和靶材坯体。
24.实施例2：
25.参照图2-3，在实施例1的基础上，加压机构2包括固定安装在箱体1顶部的保护罩19和两个活动设置在箱体1内的齿条23，保护罩19的顶部固定安装有电机17，电机17的输出轴上固定安装有蜗杆18，保护罩19的后侧内壁上转动安装有两个主动齿轮21和从动齿轮22，两个主动齿轮21分别与对应的从动齿轮22相啮合，两个从动齿轮22分别与对应的齿条23相啮合，两个主动齿轮21的前侧均固定安装有蜗轮20，蜗杆18和两个蜗轮20相啮合，两个齿条23的底端固定安装有同一个移动板25，移动板25的底部固定安装有三个加压板26，启动电机17，电机17带动了蜗杆18的转动，蜗杆18带动了两个蜗轮20和主动齿轮21的反向转动，两个主动齿轮21带动了两个从动齿轮22的反向转动，两个从动齿轮22带动了两个齿条23的下移，两个齿条23带动了移动板25和加压板26的下移，从而可对靶材坯体进行加压，当烧结好后，在反向启动电机17，使得加压板26上升复位。
26.本实用新型中，箱体1的顶部开设有两个通孔，两个齿条23分别滑动套接在对应的通孔内，通过通孔，可对齿条23进行导向。
27.本实用新型中，箱体1的顶部开设有两个滑孔，两个滑孔内均滑动套接有导向杆24，两个导向杆24均固定安装在移动板25的顶部，通过导向杆24，可对移动板25进行导向，使其移动的更加稳定。
28.本实用新型中，移动板25的底部固定安装有三个连接杆，三个连接杆分别固定安装在对应的加压板26的顶部，通过连接杆，方便把三个加压板26固定安装在移动板25的底部上。
29.本实用新型中，在使用时，把靶材坯体放在放置槽14内，然后把放置板10插在限位框9内，而此时密封塞11正好对开口进行密封，通过螺杆12，可对密封塞11进行固定，然后通过加压机构2中的加压板26对三个靶材坯体进行加压，使其不变形并且能按照模型固定样式进行烧结，然后通过真空泵8，把箱体1内的气体抽出，使其形成相对的真空，进而使得箱体1内气压降低，保证靶材坯体在真空的环境下进行烧结，通过前后的蛇形加热管13，可快
速对靶材坯体进行加热烧结，通过温度传感器6，可对箱体1内的温度进行监控，当温度传感器6监测到温度过高时，会发生信号给控制器7，控制器7控制蛇形加热管13停止工作，反之温度过低时，控制器7控制蛇形加热管13开始工作，从而保证了箱体1内的温度恒定，避免温度过高而导致靶材坯体被烧变形，当烧结好后，使得加压机构2中的加压板26上升复位，通过控制器7，开启上电磁阀5、下电磁阀15和风扇16，通过风扇16，可对箱体1内进行吹风冷却，当冷却好后，拧松螺杆12，即可拉出放置板10和靶材坯体。