干燥空间制造装置及干燥空间制造方法与流程

本发明涉及一种制造干燥空间的装置及方法。

背景技术：

1、近年来，从减少二氧化碳的排出，降低对地球环境方面的不良影响等的观点出发，正在普及电动车辆(electric vehicle,ev)和混合动力电动车辆(hybrid electricvehicle,hev)等的电动车辆。对于电动车辆，正在以具有固态电解质的电池(全固态电池等)的实用化为目的，进行研究和开发。

2、在固态电解质中具有怕潮湿的例如硫化物类的固态电解质等。在该情况下，固态电池的生产线等的中需要制造干燥空间(干燥环境)的干燥空间制造装置。

3、[先前技术文献]

4、(专利文献)

5、专利文献1：日本特开2005-61719号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、作为制造干燥空间的方法，主要具有以下两种方法(普通气体置换、真空气体置换)。

3、在第一种方法(普通气体置换)中，一味地向应为干燥空间的处理槽的内部空间提供干燥空气，同时将与该干燥空气的供给量相当的、内部空间原有的常湿空气等的原有气体，排出至处理槽外部。在该情况下，由于是原有气体与干燥气体混合的气体交换，因此，一部分干燥气体与原有气体一起被直接排出至处理槽的外部。因此需要大量的干燥气体的同时，气体交换所需时间也会变长。

4、在第二种方法(真空气体置换)中，利用泵等将内部空间的原有气体强制排出至处理槽的外部，然后向内部空间供给干燥气体。根据该方法，与第一种方法(普通气体置换)相比，可以抑制原有气体和干燥气体的混合。因此，能够抑制干燥气体的供给量和气体交换所需时间。然而，由于内部空间为阴压(负压)，因此对于处理槽的耐压要求将会变高。

5、本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，在抑制干燥空气供给量、气体交换所需时间以及对于处理槽的耐压要求中任一个的同时，制造干燥空间。

6、[解决问题的技术手段]

7、本发明人们发现：只要使设置在处理槽内的伸缩部件膨胀并将内部空间的原有气体排出至处理槽的外部，然后收缩伸缩部件的同时向内部空间供给干燥气体，就能够在抑制干燥空气供给量、气体交换所需时间以及对于处理槽的耐压要求中任一个的同时，制造干燥空间，从而完成了本发明。本发明是下述(1)～(9)的干燥空间制造装置和(10)的干燥空间制造方法。

8、(1)一种干燥空间制造装置，具备：

9、处理槽，具有内部空间；

10、伸缩部件，设置在前述处理槽内，并在保留前述内部空间的部分区域的情况下膨胀；

11、排出部，将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部；

12、干燥气体供给装置，向前述内部空间供给干燥气体；及，

13、控制装置，在执行完第一控制之后执行第二控制，其中，所述第一控制使前述伸缩部件膨胀的同时利用前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部，所述第二控制使前述伸缩部件收缩的同时利用前述干燥空气供给装置向前述内部空间供给干燥气体。

14、根据前述(1)的发明，借由第一控制将内部空间的气体(原有气体)排出至处理槽的外部之后，能够借由第二控制等向内部空间供给干燥空气。因此，与不排出原有气体直接向内部空间供给干燥气体的情况(普通气体置换)相比，能够抑制原有气体与干燥气体的混合，并能够抑制干燥气体与原有气体一起被排出至处理槽外部。因此，能够在抑制干燥气体的供给量和气体交换所需时间的同时，制造干燥空间。

15、然而，在第一控制中，将内部空间的气体排出处理槽的外部时，使伸缩部件膨胀，因此与无需使其膨胀将气体强制排出的情况(真空气体置换)相比，能够抑制内部空间的阴压(负压)。因此，也能够抑制对于处理槽的耐压要求。

16、以上，根据前述(1)的发明，能够在抑制干燥空气供给量、气体交换所需时间以及对于处理槽的耐压要求中任一个的同时，制造干燥空间。而且，由于在第一控制之后，第二控制使伸缩部件收缩，因此能够确保内部空间中的工作空间足够大而没有问题。

17、(2)根据前述(1)所述的干燥控制制造装置，其中，前述控制装置在前述第一控制和前述第二控制之间进行如下置换控制：在前述伸缩部件保持膨胀的状态下，借由前述干燥供给装置向前述内部空间供给干燥气体，同时借由前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部。

18、根据前述(2)的发明，与在第一控制后不进行置换控制而立即开始第二控制的情况相比，能够将更多的原有气体排出至处理槽的外部。然而，由于在置换控制时，伸缩部件膨胀而内部空间变小，因此能够有效地进行气体交换。

19、(3)根据前述(1)或(2)所述的干燥空间制造装置，其中，具有对前述内部空间的露点温度进行检测的检测部，

20、在根据前述内部空间的露点温度变化的参数变为阈值以下后，前述控制装置据此开始前述第二控制。

21、根据前述(3)的发明，由于根据露点温度开始第二控制，因此能够正好在适当的时机开始第二控制。

22、(4)根据前述(1)～(3)中任一项所述的干燥空间制造装置，其中，具有：作业设备，固定在前述处理槽的内底面；及，手套，安装在作为前述处理槽的内壁面之一的作业面上，配置为操作者能够从前述处理槽的外侧操作前述作业设备；

23、前述伸缩部件设置在前述作业面之外的前述内壁面上。

24、根据前述(4)的发明，能够避免手套与伸缩部件之间的干扰。

25、(5)根据前述(4)所述的干燥空间制造装置，其中，前述伸缩部件设置在前述作业面之外的所有前述内壁面和前述处理槽的顶面上。

26、根据前述(5)的发明，借由这些伸缩部件能够在第一控制中有效压缩内部空间。

27、(6)根据前述(1)～(5)中任一项所述的干燥空间制造装置，其中，具有进气装置，将前述处理槽的外部的气体强制吸入用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间，

28、在前述第一控制中，借由前述进气装置将气体强制吸入前述伸缩空间，从而使前述伸缩部件膨胀。

29、根据前述(6)的发明，能够借由进气装置使伸缩部件膨胀。

30、(7)根据前述(1)～(6)中任一项所述的干燥空间制造装置，其中，前述排出部具有将前述内部空间的气体强制排出至前述处理槽的外部的排出装置，

31、在前述第一控制中，在使前述处理槽的外部的气体能够流入用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的状态下，借由前述排出装置将前述内部空间的气体强制排出至前述处理槽的外部，从而借由前述内部空间的阴压使前述伸缩部件膨胀。

32、根据前述(7)的发明，能够借由排出装置使伸缩部件膨胀。

33、(8)根据前述(1)～(7)中任一项所述的干燥空间制造装置，其中，具有将用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的气体强制排出至前述处理槽的外部的排气装置，

34、在前述第二控制中，借由前述排气装置将前述伸缩空间的气体强制排出至前述处理槽的外部，从而使前述伸缩部件收缩。

35、根据前述(8)的发明，能够借由排气装置使伸缩部件收缩。

36、(9)根据前述(1)～(8)中任一项所述的干燥空间制造装置，其中，在前述第二控制中，在使用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的气体能够流出至前述处理槽的外部，并且使前述内部空间的气体不能从前述排出部排出至前述处理槽的外部的状态下，借由前述干燥气体供给装置向前述内部空间供给干燥气体，从而借由前述内部空间的阳压使前述伸缩部件收缩。

37、根据前述(9)的发明，能够借由干燥气体供给装置使伸缩部件收缩。

38、(10)一种干燥空间制造方法，是利用装置进行，所述装置具有：

39、处理槽，具有内部空间；

40、伸缩部件，设置在前述处理槽内，并在保留前述内部空间的部分区域的情况下膨胀；

41、排出部，将前述内部空间气体排出至前述处理槽的外部；及，

42、干燥气体供给装置，向前述内部空间供给干燥气体；

43、前述干燥空间制造方法具有如下步骤：

44、第一步骤，使前述伸缩部件膨胀，同时借由前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部；及，

45、第二步骤，使在前述第一步骤中膨胀的前述伸缩部件收缩，同时借由前述干燥气体供给装置向前述内部空间供给前述干燥气体。

46、根据前述(10)的方法，能够得到与前述(1)的装置相同的效果。

47、(发明的效果)

48、如上所述，根据本发明，在执行完第一控制或第一步骤之后执行第二控制或第二步骤，从而能够在抑制干燥空气供给量、气体交换所需时间以及对于处理槽的耐压要求中任一个的同时，制造干燥空间。