间接供气的制程系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种适用于半导体制程的硬体设备，特别是涉及一种间接供气的制程系统。


背景技术：

2.参阅图1，一种现有的制程设备，适用于架设在一无尘室10中，并包括一个设备腔体11，以及多个装设在所述设备腔体11顶端的风机过滤机组12(fan filter unit，ffu)。
3.所述设备腔体11适用于在其中实施一个半导体制程。所述风机过滤机组12则能够吸入所述无尘室10中的气体，加以过滤后送入所述设备腔体11中。
4.随着半导体制程技术的精进，对于送入所述设备腔体11中的气体品质的要求越来越高，现有的风机过滤机组12已逐渐有无法满足气体品质要求的趋势，有待改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于：提供一种能够改善先前技术的至少一个缺点的间接供气的制程系统。
6.本实用新型间接供气的制程系统，适用于搭配设置空间，并包含设置在所述设置空间中的制程设备，所述制程设备包括围绕界定出制程空间的设备腔体，以及装设在所述设备腔体上的进气单元，所述进气单元包括直接连通所述设置空间的吸气口组，所述间接供气的制程系统还包含供气设备，所述供气设备包括与所述设备腔体相间隔的风机单元、架设在所述设备腔体上的支撑单元、设置在所述支撑单元上而与所述吸气口组相间隔的供气单元，以及能将气体由所述风机单元输送至所述供气单元的输送单元，所述供气单元能将来自所述风机单元的气体，经由所述设置空间吹向所述吸气口组而被所述吸气口组吸入所述制程空间中，且所述供气单元的吹气量，大于所述吸气口组的吸气量。
7.本实用新型所述的间接供气的制程系统，所述进气单元包括多个装设在所述制程设备顶端的吸气组，每一所述吸气组包括至少一个吸气口，所述吸气口构成所述吸气口组，所述供气单元包括多个设置在所述支撑单元上的供气组，每一所述供气组间隔地位于所述吸气口的其中一个或其中数个上方，并包括直接连通所述设置空间的吹气口，每一所述供气组能将来自所述风机单元的气体，经由所述设置空间吹向所述吸气口的其中一个或其中数个，而被对应的其中一个或其中数个的所述吸气口吸入所述制程空间中，且每一所述供气组吹向对应的其中一个或其中数个的所述吸气口的吹气量，大于对应的其中一个或其中数个的所述吸气口的吸气量。
8.本实用新型所述的间接供气的制程系统，每一吸气组为风机过滤机组。
9.本实用新型所述的间接供气的制程系统，以体积流量计，每一所述供气组吹向对应的其中一个或其中数个的所述吸气口的吹气量，为对应的其中一个或其中数个的所述吸气口的吸气量的101％～140％。
10.本实用新型所述的间接供气的制程系统，每一所述供气组与对应的其中一个或其
中数个的所述吸气口的间隔距离为50～300mm。
11.本实用新型所述的间接供气的制程系统，所述风机单元能过滤气体中的酸碱物质、挥发性有机物、尘粒，并调整气体的温度与湿度。
12.本实用新型的功效在于：所述供气设备的风机单元能额外再提供过滤酸碱物质、挥发性有机物、微尘颗粒的功能，并能控制气体的温湿度，以满足新制程对于空气的高品质要求，而所述供气单元与所述吸气口组彼此间隔的间接供气设计的好处则在于，当所述供气设备停机时，所述进气单元仍可直接吸入所述设置空间中的空气。
附图说明
13.本实用新型其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
14.图1是一个不完整的立体图，说明一个现有的制程设备；
15.图2是一个不完整的立体图，说明本实用新型间接供气的制程系统的一个实施例；
16.图3是一个不完整且部分分解的立体分解图，说明所述实施例的一支撑单元与一供气单元相对于一设备腔体的相对关系；
17.图4是一个不完整且部分分解的立体分解图，说明所述供气单元的一供气组与所述支撑单元的一支撑架的相对关系；及
18.图5是一个不完整的且部分剖切的剖视图，说明所述供气单元的一吹气口与一进气单元的一吸气口的相对关系。
具体实施方式
19.参阅图2至4，本实用新型间接供气的制程系统的一个实施例，适用于实施一个半导体相关制程，并适用搭配一设置空间21(见图2)与一供气空间22(见图2)使用。
20.所述设置空间21在本实施例中具体来说为一无尘室/无尘厂房的内部空间。所述供气空间22，在本实施例中为一独立于所述设置空间21而不与所述设置空间21连通的空间，具体来说是一在地面下并位于所述设置空间21下方的地下空间。
21.本实施例包含一个设置在所述设置空间21中的制程设备3，以及一个主要设置在所述供气空间22中并延伸至所述制程设备3顶端的供气设备4。
22.所述制程设备3包括一个外形概呈长方体的设备腔体31，以及一个装设在所述设备腔体31上的进气单元32。
23.所述设备腔体31围绕界定出一位于所述设备腔体31中的制程空间311(见图5)。于所述制程空间311中，适用于实施前述的半导体相关制程。
24.所述进气单元32包括多个装设在所述设备腔体31顶端的吸气组33。每一吸气组33为一嵌设在所述设备腔体31顶端的风机过滤机组(fan filter unit，ffu)，并包括至少一个直接连通所述设置空间21的吸气口331。具体来说，其中四个所述吸气组33呈方形，并分别具有一个吸气口331。其中一个所述吸气组33呈长方形，并具有两两一组的四个吸气口331。所述吸气口331相配合构成一吸气口组330。由于兼具抽气与过滤效果的风机过滤机组的结构为公知常识，故在此省略每一吸气组33的详细说明。
25.所述供气设备4包括一个设置在所述供气空间22中并间隔地位于所述设备腔体31下方的风机单元41、一个架设在所述设备腔体31上的支撑单元42、一个设置在所述支撑单
元42上的供气单元43，以及一个能将气体由所述风机单元41输送至所述供气单元43的输送单元44。
26.所述风机单元41能自所述供气空间22中抽入气体，并具有能过滤所述气体中的酸碱物质、挥发性有机物(volatile organic compounds,vocs)及尘粒(particles)的功能，且能调整所述气体的温度与湿度，并能在过滤所述气体及调整所述气体的温湿度后，形成吹入所述输送单元44并往所述供气单元43流动的风。由于所述风机单元41如何具备前述过滤功能及调整温湿度的功能为公知常识，故在此省略有关所述风机单元41具体结构的详细说明。
27.所述支撑单元42包括多个架设在所述设备腔体31顶端的支撑架421。所述支撑架421用于相配合将所述供气单元43间隔地撑立在所述设备腔体31的顶端。
28.参阅图3至5，所述供气单元43包括多个设置在所述支撑架421上的供气组431。每一供气组431间隔地位于各自对应的一个吸气组33的其中一个或其中多个的所述吸气口331上方，并包括一个架设在各自对应的一个支撑架421上的风箱壳432，以及设置在所述风箱壳432中的一第一滤材434与一第二滤材435。
29.每一风箱壳432包括一个概呈方形且位于底部的吹气口436。每一供气组431的吹气口436直接连通所述设置空间21，且间隔地位于所述吸气口331的其中一个或其中数个的正上方，并与对应的所述吸气口331定义出一个间隔距离d1(见图5)。在本实施例中，所述间隔距离d1为180mm，在本实用新型的其他实施态样中，所述间隔距离d1也能为x mm，x为50～300间的整数。
30.所述输送单元44包括一个架设在所述设备腔体31顶端的分流器441(见图3)、一根气体连通于所述分流器441与所述风机单元41间的输送管442，以及数根气体连通所述分流器441并分别气体连通所述风箱壳432的分流管443。由于所述分流器441、所述输送管442与所述分流管443的设置与连接方式为公知常识，故在此省略说明。其中，为了避免遮挡住结构，所述分流管443于各图中仅截断示意，而未示意整体的延伸方式。
31.参阅图2至4，本实施例运作时，所述风机单元41会从所述供气空间22中抽入气体，如前所述地滤除酸碱物质、挥发性有机物、尘粒，并调整温湿度以符合所述设备腔体31的制程空间311中待实施的半导体制程的需求，再形成吹入所述输送单元44的输送管442中的风。风由所述输送管442流动至所述分流器441后，将沿着所述分流管443吹向所述供气组431的风箱壳432，并从所述风箱壳432的吹气口436，经所述设置空间21吹向所述进气单元32的吸气口331，再由所述吸气组33将进入所述吸气口331的气体，吸入所述设备腔体31的制程空间311中。
32.本实施例的第一个特点即在于，所述风机单元41能提供预先经过过滤及调整温湿度的气体，如此一来，搭配所述吸气组33本身的过滤功能，本实施例相较于现有技术，能提供品质更好、更适用于新一代精密制程的气体至所述设备腔体31中，从而能满足新一代精密的半导体制程对于气体品质的要求。
33.在本实施例中，每一吹气口436与对应的一个或多个所述吸气口331间隔180mm，且每一吹气口436与每一吸气口331均直接连通所述设置空间21而未通过管子连接，因此本实施例是采非接触式的间接供气/间隔供风设计。前述设计的好处在于：当本实施例的所述制程空间311中实施的是一般制程，或者是所实施的制程对气体的品质要求没那么高时，只要
关闭所述风机单元41，使所述吸气组33直接自所述设置空间21吸入气体，也就是直接自无尘室吸入气体，同样能供一般制程使用。因此本实施例的另外一个特点在于，具有能适用于不同制程的特点，且适用于对空气品质要求较低的制程时，由于所述供气设备4无需运作，因此耗能也能随之降低。
34.另外，间接供气/间隔供风的好处在于，只要将本实施例中的所述供气设备4，直接搭设/搭配现有的制程设备3使用，便能将现有的制程设备3改造成为本实施例，因此本实施例还具有能由旧有设备直接升级、施作成本较低的特点。
35.在本实施例中，较佳地，以体积流量计，每一供气组431的吹气口436吹向各自对应的一个或两个所述吸气口331的吹气量，为对应的一个所述吸气口331的吸气量或对应的多个所述吸气口331的吸气量(数个加总)的120％。如此一来，所述供气单元43整体的吹气量能大于所述吸气口组330整体吸气量，且所述吸气口331与所述吹气口436的位置又上下对应，因此能确保每一吸气口331吸入的气体均来自于各自对应的一个供气组431所吹出的气体，而不容易吸入原本位于所述设置空间21中的气体。
36.在本实用新型的其他实施态样中，以体积流量计，每一供气组431的吹气量也能为对应的一个所述吸气口331或对应的多个所述吸气口331的吸气量(数个加总)的101％～140％。当每一供气组431的吹气量低于对应的一个所述吸气口331或对应的多个所述吸气口331的吸气量(数个加总)的101％时，将无法确保每一吸气口331吸入的气体均来自于各自对应的一个供气组431所提供的气体，而当每一供气组431的吹气量高于对应的一个所述吸气口331或对应的多个所述吸气口331的吸气量(数个加总)的140％时，又会有浪费的问题，因此较佳地应如前所述地限制在101％至140％间。
37.其中，当每一吹气口436与对应的一个或多个所述吸气口331的所述间隔距离d1小于50mm时，每一供气组431与对应的吸气组33的距离将会过近，如此一来当所述供气设备4停止运作时，每一供气组431将会阻碍对应的吸气组33自所述设置空间21(例无尘室空间)中吸入气体。当所述间隔距离d1大于300mm时，则较难确保每一吸气口331吸入的气体均来自于各自对应的一个供气组431所提供的气体。因此，所述间隔距离d1较佳地应限定在如前所述的50～300mm。
38.另外，在本实用新型的其他实施态样中，如所述供气设备4的风机单元41同样设置在无尘室/无尘厂房中，则所述供气空间22与所述设置空间21也能为同一空间。在本实施例中所述设置空间21与所述供气空间22分离的好处在于，能节省所述设置空间21的容量，以在既定的所述设置空间21的容积下实施更多制程。
39.综上所述，本实用新型间接供气的制程系统的功效在于：所述供气设备4的风机单元41能额外再提供过滤酸碱物质、挥发性有机物、微尘颗粒的功能，并能控制气体的温湿度，以满足新制程的高品质空气要求，而所述供气单元43与所述吸气口组330彼此间隔的间接供气设计的好处则在于，当所述供气设备4停机时，所述进气单元32仍能直接吸入所述设置空间21中的空气。
40.以上所述者，仅为本实用新型的具体实施方式而已，不能以此限定本实用新型的权利要求范围，且依本实用新型权利要求书及说明书的记载内容所作的等效变化态样，也应被本实用新型权利要求范围所涵盖。