一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉的制作方法

1.本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉。


背景技术：

2.扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
3.目前，现有的扩散炉在使用完成后，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温气体会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者的安全造成威胁，安全性比较低，给使用者带来极大的不便，为此我们提出一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的右侧安装有炉门，所述扩散炉本体的右侧安装有与炉门相适配的密封组件，所述炉门的底部设置有泄气组件；
6.所述密封组件包括固定板，所述固定板安装在扩散炉本体的右侧且位于炉门的上方，所述固定板底部的左右两侧分别安装在第一连接块和第二连接块，所述第二连接块的右侧安装有电机，所述电机的输出轴上安装有丝杆，所述第一连接块右侧的凹槽内安装有轴承，所述丝杆远离电机的一端与轴承活动连接，所述丝杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述固定板的底部设置有限位槽，所述限位槽的内壁上滑动连接有限位块，所述限位块的底部与螺纹套固定连接，所述炉门的右侧设置有炉盖，所述炉盖的顶部通过支撑块与螺纹套固定连接，所述炉门的右侧贯穿炉盖且延伸至其内部，所述炉盖的内壁上设置有第一密封圈，所述炉门的外表面安装有固定圈，所述固定圈的右侧设置有第二密封圈；
7.所述泄气组件包括固定块，所述固定块安装在扩散炉本体的右侧且位于炉门的下方，所述固定块的底部安装有气缸，所述气缸的输出端贯穿固定块且延伸至其外部，位于固定块外部的气缸的输出端上安装有密封块，所述密封块的顶部安装有密封柱，所述炉门的底部设置有泄气孔，所述密封柱的顶部贯穿泄气孔且延伸至其内部。
8.优选的，所述固定板的顶部安装有支撑杆，所述支撑杆远离固定板的一端与扩散炉本体固定连接。
9.优选的，所述炉盖的内壁上安装有定位套，所述炉门的右侧设置有定位槽，所述定位套远离炉盖的一侧贯穿定位槽且延伸至其内部。
10.优选的，所述炉盖的左侧安装有定位杆，所述定位杆远离炉盖的一端依次贯穿第
二密封圈和固定圈且延伸至固定圈的外部。
11.优选的，所述第一密封圈的内表面与炉门紧密接触。
12.优选的，所述密封柱的表面与泄气孔的内壁紧密接触。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
14.1、本实用新型通过扩散炉本体、炉门、密封组件、固定板、第一连接块、第二连接块、电机、丝杆、轴承、螺纹套、限位槽、限位块、炉盖、第一密封圈、固定圈、第二密封圈、泄气组件、固定块、气缸、密封块、密封柱和泄气孔相互配合，在对炉门开启的过程中，泄气组件将炉门的高温气体排出，避免高温气体会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，在扩散炉使用的过程中，密封组件提高了炉门位置的密封性，防止炉门处发生泄漏，对使用者的安全造成威胁，提高了扩散炉的安全性，给使用者带来极大的便利。
15.2、本实用新型通过设置支撑杆起到了对固定板进行稳固支撑的作用，通过定位套和定位槽相互配合，使得炉盖与炉门连接的更加紧密，通过设置定位杆。使得炉盖与固定圈连接的更加紧密。
附图说明
16.图1为本实用新型主视图的结构剖面图；
17.图2为本实用新型图1中a的局部放大图；
18.图3为本实用新型图1中b的局部放大图；
19.图4为本实用新型炉门和炉盖的连接结构示意图。
20.图中：1扩散炉本体、2炉门、3密封组件、31固定板、32第一连接块、 33第二连接块、34电机、35丝杆、36轴承、37螺纹套、38限位槽、39限位块、310炉盖、311第一密封圈、312固定圈、313第二密封圈、314支撑块、 4泄气组件、41固定块、42气缸、43密封块、44密封柱、45泄气孔、5支撑杆、6定位套、7定位槽、8定位杆。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4，一种新型具有高安全性耐高温的扩散炉，包括扩散炉本体 1，扩散炉本体1的右侧安装有炉门2，扩散炉本体1的右侧安装有与炉门2 相适配的密封组件3，炉门2的底部设置有泄气组件4。
23.密封组件3包括固定板31，固定板31安装在扩散炉本体1的右侧且位于炉门2的上方，固定板31底部的左右两侧分别安装在第一连接块32和第二连接块33，第二连接块33的右侧安装有电机34，电机34的输出轴上安装有丝杆35，第一连接块32右侧的凹槽内安装有轴承36，丝杆35远离电机34 的一端与轴承36活动连接，丝杆35的表面螺纹连接有螺纹套37，固定板31 的底部设置有限位槽38，限位槽38的内壁上滑动连接有限位块39，限位块 39的底部与螺纹套37固定连接，炉门2的右侧设置有炉盖310，炉盖310的顶部通过支撑块314与螺纹套37固定连接，炉门2的右侧贯穿炉盖310且延伸至其内部，炉盖310的内壁上设置有
第一密封圈311，炉门2的外表面安装有固定圈312，固定圈312的右侧设置有第二密封圈313。
24.泄气组件4包括固定块41，固定块41安装在扩散炉本体1的右侧且位于炉门2的下方，固定块41的底部安装有气缸42，气缸42的输出端贯穿固定块41且延伸至其外部，位于固定块41外部的气缸42的输出端上安装有密封块43，密封块43的顶部安装有密封柱44，炉门2的底部设置有泄气孔45，密封柱44的顶部贯穿泄气孔45且延伸至其内部。
25.具体的，固定板31的顶部安装有支撑杆5，支撑杆5远离固定板31的一端与扩散炉本体1固定连接。
26.具体的，炉盖310的内壁上安装有定位套6，炉门2的右侧设置有定位槽 7，定位套6远离炉盖310的一侧贯穿定位槽7且延伸至其内部。
27.具体的，炉盖310的左侧安装有定位杆8，定位杆8远离炉盖310的一端依次贯穿第二密封圈313和固定圈312且延伸至固定圈312的外部。
28.具体的，第一密封圈311的内表面与炉门2紧密接触。
29.具体的，密封柱44的表面与泄气孔45的内壁紧密接触。
30.使用时，通过扩散炉本体1、炉门2、密封组件3、固定板31、第一连接块32、第二连接块33、电机34、丝杆35、轴承36、螺纹套37、限位槽38、限位块39、炉盖310、第一密封圈311、固定圈312、第二密封圈313、泄气组件4、固定块41、气缸42、密封块43、密封柱44和泄气孔45相互配合，在对炉门2开启的过程中，泄气组件4中的气缸42输出端带动密封块43和密封柱44向下移动，密封柱44脱离泄气孔45，泄气孔45将炉门2处的高温气体排出，避免高温气体会自炉门2冒出，对使用者的安全造成威胁，在扩散炉使用的过程中，密封组件3中的第一密封圈311和第二密封圈313，使得炉盖310与炉门2连接的更加紧密，提高了炉门2位置的密封性，防止炉门2 处发生泄漏，对使用者的安全造成威胁，提高了扩散炉的安全性，并且炉门2 的开启和封闭，通过电机34带动丝杆35正转或反转来实现，方便使用，给使用者带来极大的便利。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。