洁净室的制作方法

1.本实用新型涉及空气洁净技术，涉及一种洁净室。


背景技术：

2.精密机械工业、半导体工业等产品的生产对生产区域的环境洁净度要求很高，一般需要使用洁净室。洁净室，也称为清净室或无尘室。它通过控制空气悬浮微粒浓度，达到所需微粒洁净度级别。
3.空气洁净措施是实现洁净度等级的根本保证。送风必须是洁净度很高的空气。因此对送风进行处理是必要措施。同时出于减小负荷的考虑，一般对回风加以利用。由于回风带有微粒，所以需要对回风进行过滤。而且滤网需要定期更换，否则脏污的滤网不仅影响送风洁净度，还增加风阻，增大风机能耗。
4.洁净室内气流的分布的均衡性对洁净度有重要影响。为了保证气流的均衡性，不仅要考虑进风口和回风口的布置，还要考虑设备的布置，以防产生局部涡流，影响洁净度。


技术实现要素：

5.本实用新型要解决的技术问题是提供一种洁净室，可以消除回风中的微粒，提高回风的利用率。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的洁净室，其包括洁净室本体2、循环风机4；
7.所述洁净室本体2从上到下依次分为顶部腔体、洁净室内腔、底部腔体；
8.所述洁净室本体2顶部腔体内布置有进风管网6；
9.所述洁净室本体2底部腔体内布置有回风管网9；
10.所述循环风机4设置在洁净室本体2外，用于将回风管网9中的空气经空气管道送入进风管网6；
11.所述回风管网9包括回风管网主管和回风管网支管，回风管网主管内径大于回风管网支管内径；
12.每一回风管网主管同至少一个回风管网支管连通；
13.所述回风管网支管设置有开口朝下的喇叭形回风入口95；
14.在各回风入口95下方，所述洁净室本体2底板形成有多个相应的集尘槽96。
15.较佳的，所述集尘槽96为同轴布置的至少两个环形子集尘槽。
16.较佳的，当回风入口95四周均没有气流阻挡物时，集尘槽96由至少两个同轴布置的完整圆环形子集尘槽组成；
17.当回风入口95一边有气流阻挡物时，集尘槽96由至少两个同轴布置在同一侧的半圆环形子集尘槽组成；
18.当回风入口95两边有气流阻挡物，且气流阻挡物形成阳角时，集尘槽96由至少两个同轴布置的2700圆心角圆弧形集尘槽组成；
19.当回风入口95两边有气流阻挡物，且气流阻挡物形成阴角时，集尘槽96由至少两个同轴布置的900圆心角圆弧形集尘槽组成。
20.较佳的，所述洁净室还包括所述新风处理器3；
21.所述新风处理器3，用于将回风管网9中的空气及补充的空气经空气管道一起送到循环风机4；
22.所述循环风机4，用于将所述新风处理器3送来的空气经空气管道送入进风管网6。
23.较佳的，所述新风处理器3设置补风管31和补风过滤器32；
24.所述补风管31从所述洁净室本体2外部吸入空气经补风过滤器32过滤后作为补充的空气送到所述新风处理器3。
25.较佳的，所述洁净室本体2顶部腔体内从上到下依次布置有进风管网6、均流托盘7和吊顶8；
26.所述进风管网6送出的空气通过均流托盘7和吊顶8后进入洁净室内腔，再进入回风管网9。
27.较佳的，所述进风管网6包括至少一个进风管网主管61和多个进风管网支管62，进风管网主管61内径大于进风管网支管62内径；
28.每一进风管网主管61同多个进风管网支管62连通；
29.各进风管网支管62均形成有进风出口63。
30.较佳的，所述均流托盘7均匀形成有托盘通孔71，用于均衡气流。
31.较佳的，所述吊顶8均匀形成有吊顶通孔，用于均衡气流。
32.较佳的，所述吊顶8安装固定有照明设备。
33.本实用新型的洁净室，回风管网支管开口朝下的喇叭形回风入口95下方设置集尘槽96，空气流经喇叭形回风入口95下方区域时，在集尘槽96内形成涡流，空气中的微粒会停留在集尘槽96内，从而可以消除回风中的微粒，对回风进行初步净化，抑制扬尘的产生，提高回风的利用率；集尘槽96自身不增加风阻，而且还能减小空气管路中滤网的风阻，降低循环风机4的能耗。
附图说明
34.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1为本实用新型的洁净室一实施例结构示意图；
36.图2为本实用新型的洁净室一实施例进风管网俯视示意图；
37.图3为本实用新型的洁净室一实施例均流托盘俯视示意图；
38.图4为本实用新型的洁净室一实施例回风入口风道剖面示意图；
39.图5为本实用新型的洁净室一实施例四种类型集尘槽俯视示意图。
40.图中附图标记说明：
41.2洁净室本体；4循环风机；6进风管网；61进风管网主管；62进风管网支管；63进风出口；9回风管网；95回风入口；96集尘槽；97气流阻挡物；3新风处理器；31补风管；32补风过
滤器；7均流托盘；71托盘通孔；8吊顶。
具体实施方式
42.下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
43.实施例一
44.如图1，洁净室包括洁净室本体2、循环风机4；
45.所述洁净室本体2从上到下依次分为顶部腔体、洁净室内腔、底部腔体；
46.所述洁净室本体2顶部腔体内布置有进风管网6；
47.所述洁净室本体2底部腔体内布置有回风管网9；
48.所述循环风机4设置在洁净室本体2外，用于将回风管网9中的空气经空气管道送入进风管网6；
49.如图4所示，所述回风管网9包括回风管网主管和回风管网支管，回风管网主管内径大于回风管网支管内径；
50.每一回风管网主管同至少一个回风管网支管连通；
51.所述回风管网支管设置有开口朝下的喇叭形回风入口95；
52.在各回风入口95下方，所述洁净室本体2底板形成有多个相应的集尘槽96。
53.实施例一的洁净室，回风管网支管开口朝下的喇叭形回风入口95下方设置集尘槽96，空气流经喇叭形回风入口95下方区域时，在集尘槽96内形成涡流，空气中的微粒会停留在集尘槽96内，从而可以消除回风中的微粒，对回风进行初步净化，抑制扬尘的产生，提高回风的利用率；集尘槽96自身不增加风阻，而且还能减小空气管路中滤网的风阻，降低循环风机4的能耗。
54.实施例二
55.基于实施例一的洁净室，如图5所示，所述集尘槽96为同轴布置的至少两个环形子集尘槽。
56.回风入口95根据洁净室形状和设备布置等具体情况，布置在容易产生涡流的区域。
57.集尘槽96的根据回风入口95位置的不同，有不同的形状。
58.较佳的，当回风入口95四周均没有气流阻挡物时，集尘槽96由至少两个同轴布置的完整圆环形子集尘槽组成，如图5中a所示.
59.当回风入口95一边有气流阻挡物97时，集尘槽96由至少两个同轴布置在同一侧的半圆环形子集尘槽组成；如图5中b所示。
60.当回风入口95两边有气流阻挡物97，且气流阻挡物形成阳角时，集尘槽96由至少两个同轴布置的2700圆心角圆弧形集尘槽组成；如图5中c所示。
61.当回风入口95两边有气流阻挡物97，且气流阻挡物形成阴角时，集尘槽96由至少两个同轴布置的900圆心角圆弧形集尘槽组成；如图5中d所示。
62.实施例三
63.基于实施例一的洁净室，如图1所示，所述洁净室还包括所述新风处理器3；
64.所述新风处理器3，用于将回风管网9中的空气及补充的空气经空气管道一起送到循环风机4；
65.所述循环风机4，用于将所述新风处理器3送来的空气经空气管道送入进风管网6。
66.较佳的，所述新风处理器3设置补风管31和补风过滤器32；
67.所述补风管31从所述洁净室本体2外部吸入空气经补风过滤器32过滤后作为补充的空气送到所述新风处理器3。
68.实施例三的洁净室，循环风机4入口前设置新风处理器3，对空气进行处理并对循环风量进行补充，回风管网9中的空气经过新风处理器3后，由循环风机4送入进风管网6，实现在洁净室本体内部和外部的循环，可以延长新风处理器3中的补风过滤器32中的滤网等耗材的使用寿命，
69.实施例四
70.基于实施例一的洁净室，如图1所示，所述洁净室本体2顶部腔体内从上到下依次布置有进风管网6、均流托盘7和吊顶8；
71.所述进风管网6送出的空气通过均流托盘7和吊顶8后进入洁净室内腔，再进入回风管网9。
72.较佳的，如图3所示，所述进风管网6包括至少一个进风管网主管61和多个进风管网支管62，进风管网主管61内径大于进风管网支管62内径；
73.每一进风管网主管61同多个进风管网支管62连通；
74.各进风管网支管62均形成有进风出口63。
75.较佳的，如图3所示，所述均流托盘7均匀形成有托盘通孔71，用于均衡气流。
76.较佳的，所述吊顶8均匀形成有吊顶通孔，用于均衡气流。
77.较佳的，所述吊顶8安装固定有照明设备等附属设施。
78.实施例四的洁净室，进风出口63设置在进风管网支管62上，将进风管网6中空气被送出，实现均匀送风，通过均流托盘7和吊顶8后进入洁净室内腔，最后进入回风管网9。将进风方式设置为管网结构，并平均布置多个进风出口63，并在进风出口63附近设置均流托盘7均衡气流，可以提供均衡气流。
79.以上仅为本技术的优选实施例，并不用于限定本技术。对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。