一种用于还原炉钟罩的烘干设备的制作方法

1.本实用新型属于多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种用于还原炉钟罩的烘干设备。


背景技术：

2.在现有多晶硅生产装置中，还原工序使用的还原炉为钟罩型还原炉，此还原炉每次产出产品后，还原炉钟罩需要清洗、烘干后再次投入使用。为保证多晶硅产品质量，需使干燥后钟罩内壁不能有任何杂物残留，钟罩内壁空气洁净度达到h13级，通常清洗完的钟罩内壁是比较干净的，但是当烘干使用的空气有异物时会造成清洗干净的内壁二次受到污染，现有设备供应商使用的烘干通风流道采用的是碳钢或者镀锌钢加工制作而成，长时间暴露在空气环境中，易被腐蚀产生铁锈，从而污染烘干空气。另外，烘干时选择的温度会影响烘干时间，影响工作效率，从而也影响产品产量。
3.随着下游市场对多晶硅产品质量要求的不断提高，多晶硅生产企业需从各个生产阶段来控制中间产物质量，已达到市场对最终多晶硅产品质量的需求。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在提供一种适用于还原炉钟罩的烘干设备，以解决现有技术多晶硅生产的还原工序中还原炉钟罩易被污染，特别是烘干工段，钟罩干燥工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。
5.为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案如下：
6.一种用于还原炉钟罩的烘干设备，包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室，送风室内设有过滤器i、过滤器ii和风机，调温机构包括换热器和送风管，环境风从送风室的进风口进人后依次经过过滤器i、过滤器ii后，再经风机送入至换热器升温后用于烘干钟罩。
7.优选的，所述新风过滤机构中风机的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管。
8.优选的，所述过滤器i为滑道式初效过滤器。
9.优选的，所述过滤器ii为过滤精度为0.3
µ
m的高效过滤器。
10.优选的，所述过滤器i、过滤器ii呈
“┌”
布置，过滤器i与过滤器ii形成的子腔室中设有若干导流板。
11.优选的，所述换热器为蛇形换热管式换热器，换热器下部设有冷凝液排出管。
12.优选的，所述送风管道上设有温度传感器，温度传感器与换热器连接的热源进料管线上的阀门控制连接。
13.优选的，所述风机、过滤器i、过滤器ii的安装底座上均设有减震器。
14.本实用新型的有益效果：
15.一、本实用新型中，采用本方案的烘干设备可为还原炉的钟罩提供高洁净度、温度
稳定的干燥风，保证钟罩的烘干效果的同时，尽可能的减少杂质的引入，保证多晶硅产品的产品质量，同时结构布置巧妙、合理，占用面积较小。
16.二、本实用新型中，所述过滤器i选用滑道式初效过滤器，所述过滤器ii选用过滤精度为0.3um的高效过滤器，采用两级过滤即可达到较好的过滤效果且满足风量要求，操作难度较小，成本较低。
17.三、本实用新型中，过滤器i、过滤器ii呈
“┌”
布置，过滤器i与过滤器ii形成的子腔室中设有若干导流板，一方面可以将风顺利从过滤器i导向至过滤器ii，降低风阻，且减小设备占用面积，另一方面有利于均匀布风，达到预期的过滤效果，同时避免设备局部处理压力过高，影响设备使用寿命。
18.四、本实用新型中，换热器为蛇形换热管式换热器，增大换热面积；换热器在使用过程中会产生冷凝液，换热器下部设有冷凝液排出管，及时排出冷凝液至回收装置中，避免影响设备的正常运行。
19.五、本实用新型中，送风管道上设有温度传感器，用于监测换热后的热风的温度是否达到目标温度，以便及时调整换热器的热源供给，保证生产线的稳定运行，温度传感器与换热器连接的热源进料管线上的阀门控制连接，替代了人工观测送风管道上的温度变化，采用温度传感器与相应阀门控制调节，及时调整阀门开度，保证烘干温度稳定在预期范围内，降低人工劳动强度。
20.六、本实用新型中，风机、过滤器i、过滤器ii的安装底座上均设有减震器，降低设备的振动值，有利于延长设备的使用寿命。
附图说明
21.图1为本实用新型的结构示意图。
22.图2是新风过滤机构另一种实施方式的结构示意图。
23.图3是图2的俯视图。
24.图4是导流板的一种实施方式的结构示意图。
25.图5是调温机构的另一种实施方式的结构示意图。
26.图6是图5的俯视图。
27.图7是图5是左视图。
28.其中，1、送风室；2、过滤器i；3、过滤器ii；4、风机；5、换热器；6、送风管；7、风管；8、子腔室；9、导流板；10、温度传感器；11、热源进料管线；12、阀门i；13、回收装置；14、观察孔；1.1、进风口i；1.2、出风口i；5.1、换热管；5.2、冷凝液排出管；5.3、进风口ii；5.4、出风口ii；5.5、介质排出口。
具体实施方式
29.下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
30.实施例1
31.一种用于还原炉钟罩的烘干设备，属于多晶硅生产中还原工段技术领域，包括新风过滤机构和调温机构，参考图1，所述新风过滤机构包括送风室1，送风室1内设有过滤器
i2、过滤器ii3和风机4，调温机构包括换热器5和送风管6，环境风从送风室1的进风口进人后依次经过过滤器i2、过滤器ii3后，再经风机4送入至换热器5升温后用于烘干钟罩。
32.本实施例为最基本的实施方式，参考图1，环境风主要靠风机4引入至送风室1中，再通过换热器5进行加热后用于对钟罩烘干，风的引入过程中依次经过滤器i2、过滤器ii3两级过滤器进行过滤，拦截环境风中可能污染还原炉钟罩的粒子，保证引入风的洁净度。为提高整个环境的洁净度，风机4优选采用不锈钢材质的风机4。
33.实施例2
34.本实施例是在实施例1上的进一步优化，区别在于，所述新风过滤机构中风机4的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管7，参考图1，风管7的长度可根据实际生产环境适当加长。
35.实施例3
36.本实施例与实施例1-2相比，区别在于，所述过滤器i2为g4级滑道式初效过滤器。
37.实施例4
38.本实施例与实施例1-3相比，区别在于，所述过滤器ii3为过滤精度为0.3
µ
m的h13级高效过滤器。
39.实施例5
40.本实施例与实施例1-4相比，区别在于，参考图1或2，所述过滤器i2、过滤器ii3呈
“┌”
布置，过滤器i2与过滤器ii3形成的子腔室8中设有若干块导流板9。
41.优选的，所述导流板9可采用如图4所示的导流板9，导流板9上设有孔，便于均匀布风、以及拦截新风中的粉尘杂质。
42.实施例6
43.本实施例与实施例1-5相比，区别在于，所述换热器5为蛇形换热管5.1式换热器5，换热器5的结构参考图5-7，换热器5下部设有冷凝液排出管5.2。
44.实施例7
45.本实施例与实施例1-6相比，区别在于，所述送风管6道上设有温度传感器10，参考图6-7，温度传感器10与换热器5连接的热源进料管线11上的阀门控制连接。
46.实施例8
47.本实施例与实施例1-7相比，区别在于，所述风机4、过滤器i2、过滤器ii3的安装底座上均设有减震器。
48.实施例9
49.本实施例以本公司一台使用本发明的还原炉钟罩的烘干设备为例，进一步说明本技术方案。
50.参考图1，一种用于还原炉钟罩的烘干设备，包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室1，送风室1内设有过滤器i2、过滤器ii3和风机4，调温机构包括换热器5和送风管6，所述新风过滤机构中风机4的出风口i1.2端和调温机构的进风口ii5.3之间连接有风管7，环境风从送风室1的进风口进人后依次经过过滤器i2、过滤器ii3后，再经风机4送入至换热器5升温后用于烘干钟罩。
51.其中，本实施例中的风机4、送风室1的外壳均采用不锈材质或非金属耐温材料制成。本实施例中所述新风过滤机构的出风口i1.2端与风管7、风管7与调温机构的进风口
ii5.3之间均通过连接法兰连接，连接法兰配合密封垫片、紧固螺栓、密封胶等辅材相连接，以保证其密封效果。
52.本实施例中，所述过滤器i2为g4级滑道式初效过滤器，所述过滤器ii3为过滤精度为0.3um的h13级高效过滤器。参考图2-4，所述过滤器i2、过滤器ii3呈
“┌”
型布置，过滤器i2与过滤器ii3形成的子腔室8中设有导流板9，导流板9上分布有孔。
53.本实施例中，所述换热器5为蛇形换热管5.1式换热器5，参考图5-7，换热器5上设有观察孔14，换热器5包括换热管5.1，换热管5.1一端连接热源进料管线11，所述送风管6道上设有温度传感器10，温度传感器10与换热器5连接的热源进料管线11上的阀门控制连接，换热管5.1另一端为介质排出口5.5，换热器5的下部还设有用于排出冷凝液的冷凝液排出管5.2，冷凝液排出管5.2连接回收装置13，新风通过进风口ii5.3进入至该调温机构中进行热交换后，从出风口ii5.4排出并用于烘干钟罩。
54.本实施例中，该烘干设备中的风机4等结构在运行过程中，会产生震动，这样会影响连接部位的密封效果，还影响设备的使用寿命，因此在所述风机4、过滤器i2、过滤器ii3的安装底座上均设有减震器，可有效的改善这一问题。
55.本烘干设备使用时，环境风经g4级滑道式初效过滤器进行过滤，过滤效率约90%，再经
“┌”
型子腔室8导流、分布后经h13级高效过滤器进行第二次过滤，0.3
µ
m尘粒过滤效率为99.97%-99.99%，此时得到纯净的风，再将过滤后的风经风机4送经风管7后送至调温机构进行换热，以达到烘干温度后对钟罩进行烘干。
56.调温机构运行过程中，新风过滤机构送风前，控制器控制调温机构中的换热器5的热源进料管线11上的阀门全开，预热换热管束、翅片。
57.当风机4启动后，新风按预设的风量进入调温机构中，新风作为冷源与换热器5中的蛇形换热管5.1中的热源媒介进行换热，当温度传感器10检测新风温度达到预设值时（此工段设置为80℃），将信号反馈给控制器，控制器控制热源进料管线11上的阀门调节阀门开度或关闭阀门，保证风温保持80℃左右，以供使用。
58.热源与新风换热后，会产生冷凝液，冷凝液通过冷凝液排出管5.2排出至回收装置13中进行暂时存放。
59.实际安装过程中，温度传感器10的安装位置将影响检测效果，距离换热管5.1太近会触发传感器提前反馈温度达到预设值的错误信号，因此需适当调节温度传感器10与换热管5.1的距离。