技术特征：
1.一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体（1）和设置在所述烘干槽槽体（1）内用于放置硅片的花篮（2），其特征在于：所述烘干槽槽体（1）的左右两侧的其中一侧设置有向所述烘干槽槽体（1）内吹风的第一进风槽（3）以及另一侧设置有所述烘干槽槽体（1）向外排风的排风槽（4）；位于所述花篮（2）下方的所述烘干槽槽体（1）内底端面上设置有向所述烘干槽槽体（1）内吹风的吹风管（5），所述吹风管（5）的一端从所述烘干槽槽体（1）内延伸至体外，并与设置在所述烘干槽槽体（1）外侧壁上的第二进风槽（6）连通；所述第一进风槽（3）和所述第二进风槽（6）分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接。2.根据权利要求1所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述烘干槽槽体（1）内的左右两侧分别设置有一块吹风挡板（7），所述烘干槽槽体（1）的左右内侧壁分别与对应的所述吹风挡板（7）形成所述第一进风槽（3）和所述排风槽（4）；所述吹风挡板（7）上均匀开设有通风孔（701）。3.根据权利要求2所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述通风孔（701）的横截面为长圆孔。4.根据权利要求1所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述吹风管（5）的轴向上开设有3排吹风孔（501）。5.根据权利要求1所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述过滤器包括有第一过滤器（8）和第二过滤器（9）；所述加热器包括第一加热器（10）和第二加热器（11）；所述风机包括第一风机（12）和第二风机（13）；所述第一风机（12）、所述第一加热器（10）、所述第一过滤器（8）和所述第一进风槽（3）通过对应的送风管路依次连接；所述第二风机（13）、所述第二加热器（11）、所述第二过滤器（9）和所述第二进风槽（6）通过对应的送风管路依次连接。6.根据权利要求5所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述排风槽（4）通过对应的送风管路分别与所述第一风机（12）和所述第二风机（13）连接。7.根据权利要求6所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述风机采用高压风机。
技术总结
本实用新型公开了一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体和花篮，烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设有第一进风槽以及另一侧设有排风槽；位于花篮下方的烘干槽槽体内底端面上设置有吹风管，吹风管的一端从烘干槽槽体内延伸至体外，并与设置在烘干槽槽体外侧壁上的第二进风槽连通；第一进风槽和第二进风槽分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接。本实用新型解决了花篮底杆残留水滴问题，缩短了烘干时间，提升了烘干效率；提升了出风量及覆盖面，烘干效果更好，克服了花篮及硅片增多，槽体宽度增大，无法有效烘干，造成工艺超时，影响产能的问题，降低了对装置的需求，减少了占用面积及节约了成本；提升了良品率。提升了良品率。提升了良品率。
技术研发人员：苏金财 张军
受保护的技术使用者：常州科隆威智能技术有限公司
技术研发日：2022.09.28
技术公布日：2023/2/9