一种扩散炉用的石英舟降温装置的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，具体为一种扩散炉用的石英舟降温装置。


背景技术：

2.在硅片处理过程中，扩散设备具备十分重要；通过扩散工序用于形成电池片的pn结，用于发电产生电流；在异质结工艺太阳能电池片生产工艺中，采用扩散工艺对生产电池片的原材料硅片进行去除杂质的处理，提升电池片的转换效率。
3.传统的扩散工艺完成之后，自动化的桨会把石英舟取出来，舟和硅片的温度会从800度慢慢降到300度左右，然后机械臂将舟取放到缓存区域，缓存区域有多个风扇吹扫，降至室温后下片进入下道工序，这种降温方法的降温时间长，一轮降温时间需30分钟左右，而且石英舟上各个部位的散热不均匀，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片，严重影响生产加工效率。


技术实现要素：

4.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种扩散炉用的石英舟降温装置，能够使石英舟受热更加均匀和保持良好的降温环境，减少了造成不良片的产生，而且大量节省了降温时间，提高了生产加工效率。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案。
6.本实用新型提供一种扩散炉用的石英舟降温装置，包括箱体，所述箱体内设置有使石英舟受热均匀的旋转结构；所述箱体下壁设置有制冷腔，所述制冷腔内设置有使箱体内温度下降的制冷结构，所述制冷结构包括若干个能够朝向石英舟位置排风的排风扇。
7.优选地，所述制冷结构还包括设置于制冷腔内的半导体制冷片，若干个所述排风扇在同一水平面上且等间距设置于箱体内壁上，若干个所述排风扇分别通过排风管与所述制冷腔相连通。
8.优选地，所述半导体制冷片的热端紧贴制冷腔的下壁，所述半导体制冷片的热端设置有多个散热片，所述散热片设置于制冷腔外部，多个所述散热片贯穿制冷腔下壁与半导体制冷片的热端相连接。
9.优选地，所述旋转结构包括设置于箱体内部的用于盛放石英舟的托盘，所述箱体下壁居中设置有电机箱，所述电机箱内安装有电动机，所述电动机能够带动所述托盘沿其轴向方向匀速转动。
10.优选地，所述托盘下壁设置有一轴承，所述，所述电动机的输出轴上端、托盘下壁均固定于轴承的内圈上，所述轴承的外圈固定于箱体下壁。
11.优选地，所述箱体上端铰接有上盖，所述上盖均匀地开设有多个散热孔。
12.本实用新型一种扩散炉用的石英舟降温装置的有益效果具体如下：
13.1、本实用新型通过半导体制冷片制冷降温，再由多个排风扇将低温空气排向石英
舟，以加速降温，节省降温时间，提高生产加工效率；
14.2、本实用新型通过旋转结构使得石英舟匀速转动，能够同时对大量的硅片进行散热冷却，而且各个部位的散热效果较为均匀，硅片冷却后的品质较为均匀。
15.3、本实用新型中箱体上端铰接有上盖，以保持良好的降温环境，减少造成不良片的产生。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型实施例的剖视图1；
18.图2为本实用新型实施例的剖视图2；
19.图3为本实用新型实施例的俯视图。
20.附图标记说明：
21.1、箱体，2、制冷腔，3、半导体制冷片，4、排风扇，5、散热片，6、石英舟，7、排风管，8、托盘，9、电机箱，10、电动机，11、轴承，12、上盖，13、散热孔，14、把手，15、电源线。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.实施例：
24.如图1至图3所示，本实用新型提供了一种扩散炉用的石英舟降温装置，包括呈圆柱形设置的箱体1，箱体1下壁设置有制冷腔2，箱体1内设置有旋转结构，制冷腔2内设置有制冷结构。
25.其中，制冷结构能够使箱体1内温度下降；
26.具体的：
27.制冷结构包括半导体制冷片3和若干个排风扇4，半导体制冷片3设置于制冷腔2内，半导体制冷片3的热端紧贴制冷腔2的下壁，半导体制冷片3的热端设置有多个散热片5，散热片5设置于制冷腔2外部，多个散热片5贯穿制冷腔2下壁与半导体制冷片3的热端相连接，因此半导体制冷片3在工作时，散热片5直接将热量排至外界空气中，不影响制冷腔2内的温度；若干个排风扇4在同一水平面上且等间距设置于箱体1内壁上，即若干个排风扇4周向布置于箱体1内壁上，排风扇4排风方向朝向箱体1内部中心位置，即朝向石英舟6位置排风；若干个排风扇4分别通过排风管7与制冷腔2相连通，这样制冷腔2内的低温空气就能够通过若干个排风扇4排至箱体1内的石英舟6。
28.其中，旋转结构能够使石英舟6受热均匀；
29.具体的：
30.旋转结构包括设置于箱体1内部的用于盛放石英舟6的托盘8，箱体1下壁居中设置有电机箱9，电机箱9内安装有电动机10，电动机10能够带动托盘8沿其轴向方向匀速转动。
31.具体连接方式为，托盘8下壁设置有一轴承11，电动机10的输出轴上端、托盘8下壁均固定于轴承11的内圈上，轴承11的外圈固定于箱体1下壁。
32.其中，托盘8设置于箱体1内部中心位置，排风扇4排风方向朝向箱体1内部中心位置，即排风扇4排风方向朝向托盘8上的石英舟6。
33.为了防止外界灰尘进入至箱体1内，箱体1上端铰接有上盖12；以保持良好的降温环境，减少造成不良片的产生，提高生产加工效率。
34.为了方便箱体1内部热量排出，上盖12均匀地开设有多个散热孔13。
35.上盖12上设置有把手14，以方便用户打开和关闭上盖12。
36.另外，本实用新型还设置有电源线15和三个开关按钮，三个开关按钮分别控制半导体制冷片3、排风扇4和电动机10的工作，三个开关按钮分别与半导体制冷片3、排风扇4、电动机10电连接，三个开关按钮均与电源线15电连接。
37.具体使用时，用户将电源线15接通电源，手握把手14将上盖12打开，通过安全的隔热工具将高温的石英舟6放置于托盘8上，此时，用户点按三个开关按钮，电动机10、排风扇4和半导体制冷片3分别通电工作；电动机10转动带动轴承11内圈转动，轴承11内圈转动带动托盘8转动，托盘8转动带动石英舟6匀速转动；半导体制冷片3冷端使制冷腔2内的温度下降，排风扇4将制冷腔2内的低温气体排向托盘8上的石英舟6，由于石英舟6在转动，因此石英舟6各个部位均匀地降温。
38.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。