1.一种半导体熔炼炉,其特征在于:包括壳体(1)和安装于壳体(1)内的异形坩埚(11),所述壳体(1)底部设置有摆动组件(2),所述异形坩埚(11)具有加热腔(12),所述异形坩埚(11)开设有与所述加热腔(12)连通的进料口(111)和出料口(112),所述加热腔(12)内固定有固液分离板(13),所述加热腔(12)还设置有混料凸起(14)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述摆动组件(2)包括主动单元(21)和从动单元(22),所述主动单元(21)包括驱动件(211)、第一支架(212)和第一摆动杆(213),所述第一摆动杆(213)的一端与所述第一支架(212)转动连接,所述第一摆动杆(213)的另一端与所述壳体(1)转动连接,所述驱动件(211)的输出端能够驱动所述第一摆动杆(213)相对所述第一支架(212)转动。
3.根据权利要求2所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述从动单元(22)包括第二支架(221)和第二摆动杆(222),所述第二摆动杆(222)的一端与所述第二支架(221)转动连接,所述第二摆动杆(222)的另一端与所述壳体(1)转动连接;所述第一摆动杆(213)、壳体(1)和第二摆动杆(222)构成双摇杆机构。
4.根据权利要求3所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述壳体(1)还设置有与所述第一摆动杆(213)转动连接的第一联动杆(214)和与所述第二摆动杆(222)转动连接的第二联动杆(223);所述异形坩埚(11)内开设有第一移动腔(216),所述第一移动腔(216)内移动设置有第一移动板(215),所述第一移动板(215)固定有与所述第一联动杆(214)滑动连接的第一固定杆(217),所述第一联动杆(214)与所述第一摆动杆(213)之间设置有第一延迟单元(3),所述第一摆动杆(213)转动时能够驱动第一联动杆(214)转动,使第一联动杆(214)能够驱动所述第一移动板(215)在第一移动腔(216)内移动;所述异形坩埚(11)内开设有第二移动腔(225),所述第二移动腔(225)内移动设置有第二移动板(224),所述第二移动板(224)固定有与所述第二联动杆(223)滑动连接的第二固定杆(226),所述第二联动杆(223)与所述第二摆动杆(222)之间设置有第二延迟单元(4),所述第二摆动杆(222)转动时能够驱动第二联动杆(223)转动,使第二联动杆(223)能够驱动所述第二移动板(224)在第二移动腔(225)内移动;所述混料凸起(14)具有多个,多个所述混料凸起(14)分别固定设置于所述第一移动板(215)和所述第二移动板(224),所述第一移动板(215)和所述第二移动板(224)移动时,所述混料凸起(14)能够在加热腔(12)内移动。
5.根据权利要求4所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:第一延迟单元(3)包括第一延迟弹性件(31)和固定于所述第一联动杆(214)的第一延迟板(32),所述第一摆动杆(213)开设有第一延迟槽(33),所述第一延迟板(32)位于所述第一延迟槽(33)内,所述第一延迟弹性件(31)两端分别与所述第一延迟板(32)和所述第一延迟槽(33)的槽壁固定连接;第二延迟单元(4)包括第二延迟弹性件(41)和固定于所述第二联动杆(223)的第二延迟板(42),所述第二摆动杆(222)开设有第二延迟槽(43),所述第二延迟板(42)位于所述第二延迟槽(43)内,所述第二延迟弹性件(41)两端分别与所述第二延迟板(42)和所述第二延迟槽(43)的槽壁固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述第一摆动杆(213)和所述第二摆动杆(222)之间连接有稳定杆(5),所述稳定杆(5)的一端与所述第一摆动杆(213)插接,所述稳定杆(5)的另一端与所述第二摆动杆(222)转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述第一摆动杆(213)包括上杆(2131)和下杆(2132),所述上杆(2131)具有连接凸起(2134),所述下杆(2132)具有与所述连接凸起(2134)的适配的连接凹槽(2135),所述下杆(2132)还开设有与所述连接凹槽(2135)连通的第一摆动槽(2136),所述稳定杆(5)的一端具有第一限位销(51),所述第一限位销(51)穿过所述第一摆动槽(2136)并插接于所述连接凸起(2134)。
8.根据权利要求7所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述稳定杆(5)的另一端具有第二限位销(52),所述第二摆动杆(222)开设有第二摆动槽(2221),所述第二限位销(52)位于所述第二摆动槽(2221)内,所述稳定杆(5)设置有固定板(53)和可沿所述稳定杆(5)轴线方向滑动的滑动板(54),所述固定板(53)与所述滑动板(54)之间连接有稳定弹性件(55),所述第二支架(221)开设有限位槽(2211),所述稳定弹性件(55)能够迫使所述第二限位销(52)脱离于所述限位槽(2211)。
9.根据权利要求1所述的一种半导体熔炼炉,其特征在于:所述固液分离板(13)把所述加热腔(12)分隔成固态腔(121)和液态腔(122),所述固液分离板(13)与所述加热腔(12)底部之间形成有供液体流过的通槽(131),所述通槽(131)位于所述液态腔(122)一侧转动设置有防逆流板(132),所述液态腔(122)的腔壁还设置有用于限制所述防逆流板转动范围的导向块(133)。