一种用于特气柜钢瓶的加热装置的制作方法

本技术涉及一种特气柜的，尤其是涉及一种用于特气柜钢瓶的加热装置。

背景技术：

1、特气柜是特种气体供应系统里主要设备，特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基硅性支撑原材料，从而在特气供应过程中，采用特气柜进行气体的供应量和供应温度的调节，特气柜将加热后的气体供应到机台端，以实现对特气的需求。

2、相关技术中公开了一种特气加热装置，包括外壳体和特气钢瓶，外壳体内安装有加热管，外壳体的顶面分别安装有与加热管连通的进气口和排气口，特气钢瓶外部套接有加热电夹克，特气钢瓶通过管道与进气口连通。特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后进入到加热管内，然后从排气口出去供应到机台端。

3、但是上述结构中对于特气钢瓶加热时无法适应特气钢瓶中的气体余量的逐渐变化。

技术实现思路

1、为了能够对不同剩余气体量的钢瓶更好地进行加热，使钢瓶中流出的特气温度比较稳定，本技术提供一种用于特气柜钢瓶的加热装置。

2、本技术提供一种用于特气柜钢瓶的加热装置，采用如下的技术方案：

3、一种用于特气柜钢瓶的加热装置，包括柜体和设置在柜体内的钢瓶，所述柜体的底部设置有底座，底座上安装有升降组件，所述钢瓶竖直放置在底座上，所述升降组件上安装设置有加热组件并且加热组件通过所述升降组件上下移动，所述加热组件套设在钢瓶上用于对钢瓶进行加热。

4、通过采用上述技术方案，使用时，钢瓶内用于存放特气，当钢瓶需要加热时，加热组件套设在钢瓶的外部用于对钢瓶加热，由于钢瓶内的特气在使用过程中余量逐渐降低，而加热组件通常需要将钢瓶与剩余的特气量的液面靠近的位置加热，以便特气能够进行蒸发，升降组件带着加热组件沿着钢瓶的高度可移动，从而当钢瓶内的特气随着剩余量的减少加热组件也移动到钢瓶内的特气液面的位置，以便钢瓶内的特气在使用过程中对特气的加热状态比较接近，以使钢瓶中流出的特气温度比较稳定，特气的流出量也比较稳定。

5、优选的，所述加热组件包括加热环和连接座，所述加热环安装在连接座上，所述加热环用于套在钢瓶上，所述升降组件包括立柱、驱动螺杆和驱动电机，所述立柱竖直固定在底座上，所述驱动螺杆平行于立柱设置，所述驱动电机固定在底座上并且驱动电机的输出轴与驱动螺杆同轴固定连接，所述连接座滑动连接在立柱上，所述驱动螺杆用于带动连接座沿着立柱的长度方向移动。

6、通过采用上述技术方案，连接座滑动连接在立柱上，驱动电机固定在底座上，当驱动电机工作时，驱动电机带动驱动螺杆转动，驱动螺杆带动连接座沿着立柱的长度方向移动，从而能够使安装在连接座上的加热环沿着钢瓶的高度移动并使加热环对钢瓶与特气剩余量的液面对应位置加热。

7、优选的，所述加热组件设置有多个，并且连接座上安装有卡接组件，所述卡接组件包括电磁铁、抵接块和插接杆，所述电磁铁的两端用于连接抵接块和插接杆，并且电磁铁同时带动抵接块和插接杆向同一方向移动，抵接块远离于电磁铁的一端朝向于立柱的侧壁，插接杆远离于电磁铁的一端朝向于驱动螺杆的侧壁用于插入驱动螺杆的螺纹内，所述插接杆上设置有弹簧，弹簧的作用力对插接杆的驱动方向与电磁铁对插接杆的驱动方向相反。

8、通过采用上述技术方案，抵接块和插接杆均安装在电磁铁上并通过电磁铁的带动向同一方向移动，抵接块与立柱对应，插接杆与驱动螺杆对应，当抵接块和插接杆在电磁铁的作用下向驱动螺杆的方向移动时，抵接块与立柱分开，方便加热组件的移动，而弹簧的作用力使插接杆从驱动螺杆上脱离后，抵接块能够与立柱抵接，以免加热组件受重力向下移动，并且能够方便其余的加热组件单独移动。

9、优选的，所述加热环上开设有进水口和出水口，所述进水口连接有进水管，出水口连接有出水管，所述加热环包括外弧套和内弧套，所述外弧套固定在连接座上，所述进水口和出水口开设有外弧套上，所述内弧套与外弧套的弧度相同并且内弧套插入到外弧套内与外弧套转动滑移连接。

10、通过采用上述技术方案，进水口连接进水管，出水口连接出水管，使进水口能够进入热水，由出水口排出，当热水经过加热环后能够对钢瓶进行加热，而加热环设置成外弧套和内弧套组成的环形结构，以使内弧套滑入到外弧套内后，方便钢瓶安装到加热环内。

11、优选的，所述内弧套的一端开设有连通口，所述内弧套的两端分别插入到外弧套的两端时，连通口与进水口连通，所述内弧套开设连通口的一端封闭设置。

12、通过采用上述技术方案，当热水由进水口进入后，先由连通口进入到内弧套内，再沿着内弧套向远离连通口的方向流动后到达外弧套内，从而能够使加热环内的热水能够绕着加热环流动。

13、优选的，所述连接座上设置有驱动组件，所述驱动组件包括压杆、压簧、压轮和动力件，所述压杆的一端滑动连接在连接座上，另一端转动安装所述压轮，所述压轮用于滚动抵接在内弧套的外周壁上，所述动力件用于驱动压轮转动，所述压簧套设在压杆上，并且压簧的作用力用于驱动压杆向内弧套的方向移动。

14、通过采用上述技术方案，压杆上套设在压簧，压杆在压簧的作用力下，使压杆上安装的压轮滚动抵接在内弧套的外周壁上，当动力件驱动压轮转动时，压轮能够将内弧套相对于外弧套转动滑移，从而方便内弧套进入或伸出外弧套。

15、优选的，所述内弧套与外弧套所呈环形的内壁上开设有长条槽，所述长条槽的位置盖设有弹性膜，所述弹性膜用于向钢瓶的外壁膨胀。

16、通过采用上述技术方案，当钢瓶放置到加热环内时，向加热环内充入热水，热水在压力的作用下将弹性膜膨胀，从而能够使弹性膜抵接在钢瓶的外壁上，消除加热环与钢瓶之间的空隙，便于加热环将热量由弹性膜传递到钢瓶上。

17、优选的，所述弹性膜的位置设置有压条，压条设置成l形横截面，所述压条所呈l形的一侧固定在外弧套或内弧套上，另一侧用于配合外弧套或内弧套夹着弹性膜。

18、通过采用上述技术方案，压条设置成l形的横截面，压条的一侧固定在外弧套和内弧套上，并通过压条夹着弹性膜，从而能够使压条对弹性膜的连接进行加强。

19、优选的，所述底座的上表面开设有半球槽，所述钢瓶的底部用于放置在半球槽内，所述钢瓶的上端设置有夹持组件。

20、通过采用上述技术方案，底座的上表面开设半球槽，当钢瓶的底部放置到半球槽内时，钢瓶能够在半球槽的作用下自动与加热环对正，以便钢瓶的安装。

21、优选的，所述夹持组件包括两个夹爪，所述夹爪的一端转动安装在立柱的上端，两个夹爪相对夹在钢瓶的侧壁上，并且两个夹爪之间设置有用于固定两个夹爪的快拆螺杆。

22、通过采用上述技术方案，夹爪的一端转动安装在立柱上端，两个夹爪打开时能够方便钢瓶放置到两个夹爪之间，再通过快拆螺杆将两个夹爪固定，从而使夹爪对钢瓶的上端固定，方便钢瓶安装。

23、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

24、1.通过升降组件带着加热组件沿着钢瓶的高度移动，从而当钢瓶内的特气随着剩余量的减少加热组件也移动到钢瓶内的特气液面的位置，以便钢瓶内的特气在使用过程中对特气的加热状态比较稳定，进而使钢瓶中流出的特气温度比较稳定；

25、2.通过加热环设置成外弧套和内弧套组成的环形结构，以使内弧套滑入到外弧套内后，方便钢瓶安装到加热环内；

26、3.通过向加热环内充入热水，热水在压力的作用下将弹性膜膨胀，从而能够使弹性膜抵接在钢瓶的外壁上，消除加热环与钢瓶之间的空隙，便于加热环将热量由弹性膜传递到钢瓶上。