一种扩散炉用自动推拉装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造装置技术领域，尤其涉及一种扩散炉用自动推拉装置。
【背景技术】
[0002]扩散炉是用于半导体扩散(掺杂)工艺的一种专用设备，其原理是在高温环境下，通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形成PN结。扩散的过程是在炉膛内进行的，在进行扩散之前，需要将被扩散的硅片通过推拉舟放入炉膛内；
[0003]目前在半导体及光伏产业中扩散、PECVD自动送料系统中，现有的自动推拉装置通常使用丝杠传动，底盘不动，只是加持部分局部上下运动，无法满足工作的要求；
[0004]专利号为CN 202339931 U的专利:该专利包括横向机构、升降机构、托架机构，其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板，电机与同步带轮连接，同步带套在同步带轮上，同步带与固定板固定连接，固定板与滑块固定连接，滑块与滑轨配合，滑轨固定在底板上；升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块，电机通过联轴器与螺旋升降机连接，螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接，滑轨与滑块配合，滑块与横向机构中的底板固定连接；托架机构与横向机构中的固定板固定连接；
[0005]该专利的有益效果是采用步进电机带动同步带和同步带轮来实现的，降低了维修频率，解决了更换麻烦的不足；其上下运动采用整体升降式运动，减少了推拉舟的占用空间，提高了设备的稳定性，但是这样结构复杂，而且夹持的部位无法具体调整，这样在调节位置时，需要对装置整体调节，浪费时间，降低工作效率。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是提供一种扩散炉用自动推拉装置，解决现有技术中自动推拉装置横向、竖向运动不稳定，和推拉舟无法局部调整的技术问题；
[0007]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
[0008]—种扩散炉用自动推拉装置，包括支架，所述支架上方设置有电机一，所述电机一下方设置有丝杆一，所述丝杆一上安装有丝杆螺母一，所述丝杆螺母一的背面固定有支撑板，所述支撑板两端分别安装有滑块一和滑块二，所述滑块一和滑块二分别套装在滑行杆一上，所述滑行杆一竖直安装在支架上，所述滑块一上安装有电机二，所述滑块一与滑块二之间设置有滑行杆二，所述滑行杆二上套装有滑块三，所述电机二上水平安装有丝杆二，所述丝杆二上安装有丝杆螺母二，所述丝杆螺母二设置在滑块三内部，所述滑块三外侧设置有夹持装置；
[0009]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进:
[0010]进一步，所述支架上均匀设置有多组滑行杆三，所述滑行杆三上设置有滑块四且位于丝杆一两侧，所述滑块四与支撑板连接，采用本步的有益效果是通过滑行杆三来限制装置竖直方向的运动，可以保证装置在竖直方向运动的稳定性，保证推拉时的稳定性；
[0011]进一步，所述夹持装置包括固定杆、固定块、支撑杆和夹持部，所述固定杆水平焊接在滑块三上，所述固定块一端安装在固定杆上，另一端安装支撑杆，所述支撑杆下方设置有夹持部，采用本步的有益效果是通过对夹持装置进行设计，可以对夹持的装置进行局部微调，而不需要对装置进行整体调节，提高工作效率；
[0012]进一步，所述固定块与固定杆之间设置有调节螺栓一，所述固定块与支撑杆之间设置有调节螺栓二，采用本步的有益效果是方便调节固定块的位置，从而方便调节夹持部的位置；
[0013]进一步，所述电机二为步进电机；
[0014]进一步，所述滑行杆二的末端设置有限位块，采用本步的有益效果是通过限位块来控制夹持装置横向的运动距离；
[0015]进一步，所述支架下方设置有控制箱，采用本步的有益效果是通过控制箱控制电机一和电机二；
[0016]进一步，所述控制箱下方设置有万向刹车轮，采用本步的有益效果是控制支架的行走;
[0017]本实用新型通过电机一、丝杆一和丝杆螺母来进行竖直方向上的运动，将支撑板固定在丝杆螺母上，以此带动支撑板上下运动；
[0018]本实用新型在支撑板的两端分别设置有滑块一和滑块二，其中滑块一用来安装电机二，这个电机二采用的是步进电机，这样可以保证水平方向的运动能够缓慢运动；
[0019]滑块二内部安装有丝杆螺母二，电机二水平方向安装有丝杆二，通过电机二、丝杆二和丝杆螺母二的转动，带动滑块三水平移动；
[0020]滑块二和滑块一下方设置有滑行杆一，这样可以利用滑行杆一保证滑块二能够水平滑动；
[0021]本实用新型在支架上设置有滑行杆二，滑行杆二上设置滑块三，其中滑块三用来固定夹持装置，这样就可以保证滑块三能够水平运动，其中滑块三内部设置有丝杆螺母二，通过电机二带动滑块三水平运动，这样就能实现夹持装置的水平运动；
[0022]本实用新型对夹持装置结构进行设置，其中固定块与固定杆连接，通过调节螺栓一可以调节固定块的位置；
[0023]将夹持部通过支撑杆安装在固定块上，通过调节螺母可以调节支撑杆的上下位置；
[0024]本实用新型将电机二设计成步进电机，这样可以保证电机二缓慢运动，从而保证夹持装置能够缓慢移动；
[0025]本实用新型在滑行杆二的末端设置有限位块，通过限位块来控制夹持装置横向的运动距离；
[0026]本实用新型在控制箱底部安装有万向刹车轮，通过万向刹车轮来移动支架；
[0027]本实用新型的有益效果:
[0028]1.本实用新型对支架的水平移动和竖直移动进行设计，通过滑行杆一可以保证装置水平移动的稳定性，通过滑行杆二和滑行杆三可以保证装置竖直移动的稳定性；
[0029]2.本实用新型对夹持装置进行设计，可以通过调节螺栓一和调节螺栓二进行局部调节，方便将硅片通过推拉舟放入炉膛内；
[0030]3.本实用新型中的电机二采用步进电机，通过步进电机更加便于控制夹持装置的移动；
[0031]4.本实用新型在滑行杆二的末端设置有限位块，通过限位块现在滑块二的水平移动距离，进而控制夹持装置的水平移动距离；
[0032]5.本实用新型通过安装在控制箱底部的万向刹车轮，通过万向刹车轮来移动支架；
[0033]6.本实用新型结构简单，操作方便，且水平、竖直方向的移动非常稳定，确保加工的稳定性。
【附图说明】
[0034]图1为本实用新型具体实施例所述的一种扩散炉用自动推拉装置的主视图；
[0035]图2为本实用新型具体实施例所述的一种扩散炉用自动推拉装置的局部放大图；
[0036]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0037]1、支架；
[0038]2、电机一；
[0039]3、丝杆一；
[0040]4、丝杆螺母一；
[0041]5、支撑板；
[0042]6、滑块一；
[0043]7、滑块二 ；
[0044]8、滑行杆一；
[0045]9、电机二；
[0046]10、滑块三；
[0047]11、丝杆二；
[0048]12、丝杆螺母二 ；
[0049]13、夹持装置；
[0050]14、滑行杆二 ；
[005