技术总结
本实用新型公开了一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器、循环水箱、循环泵、流量计、喷头，所述的循环泵与流量计之间的管路上安装有第一单向阀；所述的喷头与热交换器之间的管路上安装有常闭阀,所述的常闭阀的两端安装有回路支管；所述的第一单向阀、流量计之间的管路与冷却水进水管之间安装有应急进水管路；所述的常闭阀、喷头之间的管路与冷却水出水管之间安装有应急出水管路；所述的应急进水管路、应急出水管路上分别安装有常开阀；所述的常开阀之后的应急进水管路上还安装有第二单向阀。采用本实用新型后，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。
技术研发人员：赵江波;余庆;张晓新;张敏森;杨勇;王艳兵;方勇进
受保护的技术使用者：华越微电子有限公司
技术研发日：2018.04.04
技术公布日：2018.11.27