冷凝器、空调机、曝光装置以及物品的制造方法与流程

1.本发明涉及冷凝器，特别是涉及用于空调机的冷凝器。


背景技术：

2.以往，为了调整流体的流量而使用如下调整阀，该调整阀中使阀体相对于在阀孔形成的阀座而着座和脱离由此对供流体通过的阀孔进行开闭。
3.在那样的调整阀中，已知存在如下问题，重复动作即重复着座和脱离，由此该阀体会导致该阀座的磨损加剧，从而导致对该阀孔进行开闭的控制性降低。
4.专利文献1公开了如下调整阀，根据累积动作次数来变更为了开放阀孔而使阀体移动的位置，由此抑制对阀孔进行开闭的控制性降低。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2016-205484号公报


技术实现要素：

8.发明所要解决的问题
9.另一方面，在冷凝器的制水阀中，在通常动作下不会将阀孔完全封闭，即进行控制来对开度大致固定的阀孔的该开度进行微调。
10.因此，作为那样的制水阀，经常会使用如下调整阀，在该调整阀中设置相互啮合的电机齿轮以及连接于阀体的阀体齿轮，通过使该电机齿轮进行旋转而该阀体齿轮进行旋转，以对阀孔的开度进行调整。
11.即在那样的调整阀中，重复如下动作，在电机齿轮与阀体齿轮之间的啮合区域的周围，双方仅旋转微小的角度，使得阀孔的开度以预定大小为中心来进行微调。
12.因此，在那样的调整阀中，随着动作的次数增加，在啮合区域中该电机齿轮以及该阀体齿轮各自的齿发生磨损。
13.而且，在啮合区域中当双方的齿发生磨损时，与电机齿轮的旋转相应的阀体齿轮的旋转量的偏差增大，对阀孔的开度的调整精度降低。
14.因此本发明的目的在于，提供即使调整阀的动作次数增加也能够抑制对阀孔的开度进行调整的精度降低的冷凝器。
15.用于解决问题的方案
16.本发明涉及的冷凝器，其特征在于，具备：冷凝部，其使第一流体与第二流体之间进行热交换以使第一流体的温度降低；调整阀，其调整向冷凝部流动的第二流体的流量；温度调整部，其调整向冷凝部流动的第二流体的温度；测量部，其测量从冷凝部流出的第一流体的预定物理量；以及控制部，在由测量部测量的第一流体的预定物理量脱离了预定范围时，控制部使调整阀进行动作来对调整阀的开度进行调整，并且对动作的次数进行计数，在调整阀的动作的次数等于或大于第一次数时，控制部使温度调整部对第二流体的温度进行
调整。
17.发明的效果
18.根据本发明，能够提供即使调整阀的动作次数增加也能够抑制对阀孔的开度进行调整的精度降低的冷凝器。
附图说明
19.图1是具备第一实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统的示意结构图以及用于说明该冷凝器的动作的框图。
20.图2是示出在第一实施方式涉及的冷凝器设置的调整阀的动作机构的示意图。
21.图3是示出第一实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。
22.图4是具备第二实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统的示意结构图以及用于说明该冷凝器的动作的框图。
23.图5是示出第三实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。
24.图6是具备本实施方式涉及的冷凝器的曝光装置的结构图。
25.附图标记说明
26.14：调整阀；16：压力传感器(测量部)；17：冷凝部；18：加热器(温度调整部)；19：制冷剂(第一流体)；21：液体(第二流体)；23：调整阀控制部(控制部)；24：加温控制部(控制部)。
具体实施方式
27.以下，基于附图来详细说明本实施方式涉及的冷凝器。另外，为了能够容易地理解本实施方式，以下所示的附图是用与实际不同的比例来描绘的。
28.[第一实施方式]
[0029]
图1的(a)示出具备第一实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统100的示意结构图。
[0030]
如图1的(a)所示，在冷冻系统100中，在蒸发器11中制冷剂19(第一流体)与空气13(第三流体)相互进行热交换。另外，空气13也可以是液体。
[0031]
具体来讲，空气13与制冷剂19之间进行热交换，由此由膨胀阀10调整制冷剂19的流量，以使由温度传感器12测量的空气13的温度降低至预定温度。
[0032]
然后被调整了流量的制冷剂19在变化为低温低压的液体状态之后通过蒸发器11，由此与空气13之间进行热交换。
[0033]
然后，与空气13之间进行了热交换的制冷剂19在压缩器15中变化为高温高压的气体状态。
[0034]
另外，从供给部60例如供给作为冷却水的液体21(第二流体)，变化为高温高压的气体状态的制冷剂19在冷凝部17中与液体21之间进行热交换，由此在变化为低温高压的液体状态之后，再行进至膨胀阀10。
[0035]
另一方面，在冷凝部17中与制冷剂19之间进行热交换由此成为高温的液体52在从冷凝部17被排出之后，被供给部60回收。之后，重复上述的循环。
[0036]
这里，调整阀控制部23基于来自对制冷剂19的压力进行监视的压力传感器16的测量值来控制调整阀14的开度由此调整液体21的流量，以使在冷凝部17中与液体21之间进行
了热交换的制冷剂19的压力成为目标大小。
[0037]
本实施方式涉及的冷凝器由调整阀14、压力传感器16(测量部)、冷凝部17、加热器18(温度调整部)、温度传感器20、调整阀控制部23(控制部)以及加温控制部24(控制部)构成。
[0038]
图2的(a)是示出在本实施方式涉及的冷凝器设置的调整阀14的动作机构的示意图。
[0039]
如图2的(a)所示，在调整阀14中，电机齿轮27(第二齿轮)与连接于未图示的阀体的阀体齿轮28(第一齿轮)在啮合区域14a中形成相互啮合的构造。
[0040]
而且，根据从调整阀控制部23输出的开度信号，电机齿轮27旋转至预定位置从而阀体齿轮28旋转至预定位置，由此阀体移动，调整阀14的开度被变更。
[0041]
在冷冻系统100中，在重复上述的循环时，在调整阀14流动的液体21的流量、温度不发生大的变动。
[0042]
因而，以电机齿轮27与阀体齿轮28在啮合区域14a中一边啮合一边仅分别进行微小旋转的方式，调整阀14以大致相同的开度持续动作，即不使啮合区域14a变化来进行动作。
[0043]
因此当调整阀14持续动作时，保持啮合区域14a不会大幅变化的状态，电机齿轮27与阀体齿轮28分别以微小的旋转角范围进行旋转，由此导致双方的齿磨损加剧。
[0044]
图2的(b)示出啮合区域14a中的齿在磨损加剧时的电机齿轮27以及阀体齿轮28。
[0045]
而且，当在电机齿轮27以及阀体齿轮28中分别形成磨损部29a以及磨损部29b时，在啮合区域14a中，电机齿轮27与阀体齿轮28无法相互啮合，导致调整阀14无法动作。
[0046]
在本实施方式涉及的冷凝器中，调整阀14的开度与冷凝部17中的液体21的流量的大小对应。
[0047]
另外，冷凝部17中的液体21对制冷剂19进行冷却的能力依存于液体21的流量和温度。
[0048]
换言之，制冷剂19的压力值由液体21的流量和温度来决定，即，当液体21的温度变更时，以与之相应地变更液体21的流量的方式对调整阀14的开度进行调整，由此维持制冷剂19的压力值。
[0049]
因而在本实施方式涉及的冷凝器中，为了抑制调整阀14无法进行上述的动作，如以下所示，在预定定时由加热器18来加温在调整阀14流动的液体21，并且变更调整阀14的开度。
[0050]
由此，电机齿轮27以及阀体齿轮28分别进行旋转，由此电机齿轮27以及阀体齿轮28能够分别由与形成有磨损部29a以及29b的齿不同的齿来形成新的啮合区域14a。
[0051]
图2的(c)示出那样的电机齿轮27以及阀体齿轮28在分别进行了旋转时的电机齿轮27以及阀体齿轮28。
[0052]
图1的(b)示出用于说明本实施方式涉及的冷凝器的动作的框图。
[0053]
如图1的(b)所示，调整阀控制部23具有存储单元22，存储单元22存储向调整阀14输出的调整阀开度34、以所输出的调整阀开度34进行了动作的调整阀14的阀动作次数31。
[0054]
而且调整阀控制部23将在存储单元22中存储的信息、即调整阀开度34以及阀动作次数31发送至加温控制部24。
[0055]
在从调整阀控制部23接收到的阀动作次数31等于或大于预定动作次数时，加温控制部24由所设置的判断部32来接通对所设置的操作部33的控制输出。
[0056]
而且伴随着对操作部33的控制输出被接通，为了使调整阀14的开度从当前的调整阀开度34增大至预定开度，操作部33使加热器18的输出增大。
[0057]
而且，这里的预定开度例如是相对于当前的调整阀开度34仅增大了+5％的开度。
[0058]
由此，当输出增大了的加热器18对液体21进行加温时，由压力传感器16测量的制冷剂19的压力值减少，因而调整阀控制部23使调整阀14进一步开放以使调整阀开度34增大。
[0059]
而且，当调整阀开度34到达该预定开度时，操作部33使加热器18的输出增大结束，由此维持加热器18的输出。
[0060]
另外，判断部32基于来自对液体21的温度进行检测的温度传感器20的测量值，监视被加热器18加温了的液体21的温度。
[0061]
而且，在液体21的温度上升至界限温度的情况下，调整阀开度34处于到达界限开度的状态，即无法进一步增大调整阀开度34，因此不进行加热器18的输出增大，而是维持加热器18的输出。
[0062]
图3是示出本实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。而且，图3所示的流程图中的各步骤的动作是由调整阀控制部23或者加温控制部24进行的。
[0063]
首先，当本实施方式涉及的冷凝器的动作开始时，对被调整为预定开度的调整阀14的动作次数进行计数(步骤s1)。
[0064]
这里，在由压力传感器16测量的制冷剂19的压力超过预定阈值时，换言之，在脱离了上限值与下限值之间的预定范围时，调整阀14进行一次动作以调整液体21的流量。
[0065]
然后，判定调整阀14的动作次数是否等于或大于预定次数(第一次数)、例如等于或大于8000万次(步骤s2)。
[0066]
这里，例如在调整阀14的寿命为5年时，根据所设想的调整阀14在其寿命一半即2.5年时的动作次数来设定预定次数。
[0067]
在判定为调整阀14的动作次数小于8000万次的情况下(步骤s2：否)，返回至步骤s1，并继续对调整阀14的动作次数进行计数。
[0068]
另一方面，在判定为调整阀14的动作次数等于或大于8000万次的情况下(步骤s2：是)，接着判定液体21的温度是否等于或低于预定温度，例如26℃(步骤s3)。
[0069]
这里的预定温度是与之对应的调整阀14的调整阀开度34的界限值，即无法使调整阀14进一步开放的温度。
[0070]
在判定为液体21的温度大于26℃的情况下(步骤s3：否)的情况下，通知更换调整阀14，并且停止本实施方式涉及的冷凝器的动作进而停止冷冻系统100的动作(步骤s9)，结束处理。
[0071]
另一方面，在判定为液体21的温度等于或低于26℃的情况下(步骤s3：是)，对液体21进行加温(步骤s4)。
[0072]
然后，伴随着对液体21的加温而使调整阀14的开度增大(步骤s5)，判定调整阀14的开度是否增大到预定开度，例如当前的开度+5％(步骤s6)。
[0073]
在判定为调整阀14的开度小于当前的开度+5％的情况下(步骤s6：否)，返回至步
骤s3，再次判定液体21的温度是否等于或低于26℃。
[0074]
另一方面，在判定为调整阀14的开度为当前的开度+5％或更大的情况下(步骤s6：是)，再次开始对调整阀14的动作次数进行计数(步骤s7)。
[0075]
然后，判定调整阀14的动作次数是否等于或大于预定次数(第二次数)，例如等于或大于1亿6000万次(步骤s8)。
[0076]
这里，例如在调整阀14的寿命为5年时，根据所设想的调整阀14在这5年的动作次数来设定预定次数。
[0077]
在判定为调整阀14的动作次数小于1亿6000万次的情况下(步骤s8：否)，返回至步骤s7，并继续对调整阀14的动作次数进行计数。
[0078]
另一方面，在判定为调整阀14的动作次数等于或大于1亿6000万次的情况下(步骤s8：是)，通知更换调整阀14，并且停止本实施方式涉及的冷凝器的动作进而停止冷冻系统100的动作(步骤s9)，结束处理。
[0079]
如上述那样，在本实施方式涉及的冷凝器中，在调整阀14的动作次数等于或大于预定次数并且液体21的温度等于或低于预定温度时，进行控制来使用加热器18使液体21加温。
[0080]
由此，调整阀14的开度被变更，因此电机齿轮27以及阀体齿轮28能够分别由与形成有磨损部29a以及29b的齿不同的齿来形成新的啮合区域14a。
[0081]
而且，在上述中作为一例，仅变更一次调整阀14的开度，即仅在计数到一半寿命的动作次数时变更调整阀14的开度，之后当动作次数到达寿命时更换调整阀14，但不限于此。
[0082]
即，也可以是，将对调整阀14的开度进行变更的动作次数设定为其它值，也可以是，多次且阶段性地变更调整阀14的开度。
[0083]
另外在上述中，为了使调整阀14的开度变化，设置用于加温液体21、即用于使液体21的温度上升的加热器18，但是不限于此，也可以是，设置用于使液体21的温度下降的冷却器。
[0084]
另外在上述中，虽然使用冷冻系统100中的冷凝器说明了本实施方式，但是不限于此，也能够将本实施方式应用于使空气13的温度上升的加热系统。
[0085]
另外在上述中，设置对制冷剂19的压力进行监视的压力传感器16，基于来自压力传感器16的测量值来控制调整阀14的开度，以使在冷凝部17中与液体21之间进行了热交换的制冷剂19的压力成为目标大小，但是不限于此。
[0086]
例如，也可以是，设置对制冷剂19的温度或者流量进行监视的传感器，基于来自该传感器的测量值来控制调整阀14的开度，以使在冷凝部17中与液体21之间进行了热交换的制冷剂19的温度或者流量成为目标大小。
[0087]
换言之，也可以是，在本实施方式涉及的冷凝器中，设置对制冷剂19的该物理量进行测量的测量部，基于来自该测量部的测量值来控制调整阀14的开度，以使进行了热交换的制冷剂19的预定物理量成为目标大小。
[0088]
另外在上述中，虽然说明了使用由电机齿轮27以及阀体齿轮28构成的调整阀14的结构，但是不限于此。
[0089]
例如，也能够将本实施方式应用于使用其它齿的啮合构造的调整阀、使用伴随着动作而发生磨损的其它机械的结合构造的调整阀。
[0090]
[第二实施方式]
[0091]
图4的(a)示出具备第二实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统200的示意结构图。
[0092]
而且，除了在用于从冷凝部17排出液体52的排出路中设置三通阀51来代替加热器18之外，本实施方式涉及的冷凝器与第一实施方式涉及的冷凝器为相同的结构，对相同的构件附加相同的附图标记并省略说明。
[0093]
在本实施方式涉及的冷凝器中，如图4的(a)所示，三通阀51(加温部)设置成连接于用于从冷凝部17排出液体52的排出路、用于向供给部60回收液体52的回收路、与用于从供给部60供给液体21的供给路连接的合流路。
[0094]
即在本实施方式涉及的冷凝器中，能够由三通阀51将从冷凝部17排出的高温的液体52(第二流体)分配至用于向供给部60回收液体52的回收路、用于从供给部60供给液体21的供给路。
[0095]
由此，使从冷凝部17排出的高温的液体52中的至少一部分与来自供给部60的在供给路流动的液体21混合，由此能够对向冷凝部17行进的液体21进行加温。
[0096]
图4的(b)示出用于说明本实施方式涉及的冷凝器的动作的框图。
[0097]
而且在本实施方式涉及的冷凝器中，作为三通阀51的开度的初期状态，对于与用于从供给部60供给液体21的供给路连接的合流路而完全关闭，另一方面对于用于向供给部60回收液体52的回收路而完全打开。
[0098]
如图4的(b)所示，调整阀控制部23具有存储单元22，存储单元22存储向调整阀14输出的调整阀开度34、以输出的调整阀开度34来进行了动作的调整阀14的阀动作次数31。
[0099]
而且调整阀控制部23将在存储单元22中存储的信息、即调整阀开度34以及阀动作次数31发送至加温控制部24。
[0100]
加温控制部24在从调整阀控制部23接收到的阀动作次数31等于或大于预定动作次数时，由所设置的判断部53来接通对所设置的操作部54的控制输出。
[0101]
然后伴随着对操作部54的控制输出被接通，为了使调整阀14的开度从当前的调整阀开度34增大到预定开度，操作部54使三通阀51的开度朝向用于向液体21的供给路合流的合流路变更。
[0102]
而且，这里的预定开度例如是相对于当前的调整阀开度34而仅增大了+5％的开度。
[0103]
由此，经由该合流路而向用于从供给部60供给液体21的供给路合流了的液体52对液体21进行加温，由此由压力传感器16测量的制冷剂19的压力值减少。
[0104]
因此，调整阀控制部23使调整阀14进一步开放，以使调整阀开度34增大。
[0105]
而且，当调整阀开度34到达该预定开度时，操作部54使三通阀51的开度变更结束，由此维持三通阀51的开度。
[0106]
而且，判断部53基于来自对液体21的温度进行检测的温度传感器20的测量值，对因三通阀51的开度变更而被加温的液体21的温度进行监视。
[0107]
而且，在液体21的温度上升到界限温度的情况下，调整阀开度34处于到达了界限开度的状态，即无法进一步增大调整阀开度34，因此三通阀51的开度不进行变更，而是维持三通阀51的开度。
[0108]
如上述那样，在本实施方式涉及的冷凝器中，在调整阀14的动作次数等于或大于
预定次数并且液体21的温度等于或低于预定温度时，进行控制而使用三通阀51来使液体21加温。
[0109]
由此调整阀14的开度变更，因而电机齿轮27以及阀体齿轮28能够分别由与形成有磨损部29a以及29b的齿不同的齿来形成新的啮合区域14a。
[0110]
[第三实施方式]
[0111]
图5是示出第三实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。
[0112]
而且，本实施方式涉及的冷凝器为与第一或者第二实施方式涉及的冷凝器相同的结构，因此对相同的构件附加相同的附图标记并省略说明。
[0113]
首先，当本实施方式涉及的冷凝器的动作开始时，对被调整为预定开度的调整阀14的动作次数进行计数(步骤s11)。
[0114]
这里，在由压力传感器16测量出的制冷剂19的压力超过预定阈值时，换言之，在脱离了上限值与下限值之间的预定范围时，调整阀14进行一次动作以调整液体21的流量。
[0115]
然后，判定调整阀14的动作次数是否等于或大于预定次数，例如8000万次(步骤s12)。
[0116]
这里，例如在调整阀14的寿命为5年时，根据所设想的调整阀14在其寿命一半即2.5年时的动作次数来设定预定次数。
[0117]
在判定为调整阀14的动作次数小于8000万次的情况下(步骤s12：否)，返回至步骤s11，继续对调整阀14的动作次数进行计数。
[0118]
另一方面，在判定为调整阀14的动作次数等于或大于8000万次的情况下(步骤s12：是)，接着判定液体21的温度是否等于或低于预定温度，例如26℃(步骤s13)。
[0119]
在判定为液体21的温度大于26℃的情况下(步骤s13：否)，调整阀14的开度到达界限值。因此，通知更换调整阀14，并且停止本实施方式涉及的冷凝器的动作进而停止冷冻系统的动作(步骤s20)，结束处理。
[0120]
另一方面，在判定为液体21的温度等于或低于26℃的情况下(步骤s13：是)，对液体21进行加温(步骤s14)。
[0121]
然后，伴随着液体21的加温而使调整阀14的开度增大(步骤s15)，判定调整阀14的开度是否增大到了预定开度、例如当前的开度+5％(步骤s16)。
[0122]
在判定为调整阀14的开度小于当前的开度+5％的情况下(步骤s16：否)，返回至步骤s13，再次判定液体21的温度是否等于或低于26℃。
[0123]
另一方面，在判定为调整阀14的开度为当前的开度+5％或更大的情况下(步骤s16：是)，在通知更换调整阀14之后(步骤s17)，再次开始对调整阀14的动作次数进行计数(步骤s18)。
[0124]
然后，判定调整阀14的动作次数是否等于或大于预定次数，例如1亿6000万次(步骤s19)。
[0125]
这里，例如在调整阀14的寿命为5年时，根据所设想的调整阀14在这5年的动作次数来设定预定次数。
[0126]
在判定为调整阀14的动作次数小于1亿6000万次的情况下(步骤s19：否)，返回至步骤s18，继续对调整阀14的动作次数进行计数。
[0127]
另一方面，在判定为调整阀14的动作次数等于或大于1亿6000万次的情况下(步骤
s19：是)，通知更换调整阀14，并且停止本实施方式涉及的冷凝器的动作进而停止冷冻系统的动作(步骤s20)，结束处理。
[0128]
如上述那样，在本实施方式涉及的冷凝器中，在调整阀14的动作次数等于或大于预定次数并且液体21的温度等于或低于预定温度时，进行控制来使液体21加温。
[0129]
由此调整阀14的开度被变更，因此电机齿轮27以及阀体齿轮28能够分别由与形成有磨损部29a以及29b的齿不同的齿来形成新的啮合区域14a。
[0130]
另外，在本实施方式涉及的冷凝器中，在上述的步骤s17中在通知更换调整阀14之后，继续该通知。
[0131]
由此，在上述的步骤s20中在调整阀14的动作次数到达寿命之前，作业者能够在任意的定时实施更换调整阀14。
[0132]
以上说明了优选的实施方式，但是不限定于这些实施方式，在本发明的主旨的范围内能够进行各种变形以及变更。
[0133]
[曝光装置]
[0134]
图6示出具备本实施方式涉及的冷凝器的曝光装置900的结构图。
[0135]
曝光装置900具备灯点亮装置401、照明光学系402、狭缝403、成像光学系404、原版载物台405、投影光学系406、基板载物台407以及空调机500。
[0136]
灯点亮装置401是用于发出高压水银灯等紫外线光的光源。
[0137]
照明光学系402具有第一反射镜501、第一聚光透镜502、复眼透镜503、第二聚光透镜504以及第二反射镜505。
[0138]
原版载物台405是用于保持原版m的掩膜载物台，能够在图6中所示的y轴方向驱动。
[0139]
投影光学系406是用于将在原版m上绘制的图案投影转印于涂布有感光剂的基板w上的投影光学系。
[0140]
而且，在曝光装置900中，使用奥夫纳(offner)型光学系的投影光学系406。
[0141]
在使用奥夫纳型光学系的情况下，为了确保良好的图像区域，以圆弧形状照射原版m。另外，到达基板w的用于曝光的光的照射形状也成为圆弧形状。
[0142]
透过了原版m的光在梯形反射镜601、凹面反射镜602、凸面反射镜603、凹面反射镜602、梯形反射镜601依次反射之后，到达基板w，原版m上的图案被转印于基板w上。
[0143]
基板载物台407是用于保持基板w的晶圆载物台，与原版载物台405同步地在y方向驱动由此对基板w进行曝光。
[0144]
基板载物台407除了能够在y方向驱动也能够在x方向驱动，在基板w上曝光多个面板的情况下使基板载物台407在x方向以及y方向驱动并进行曝光。
[0145]
从灯点亮装置401发射出的用于曝光的光在通过照明光学系402、狭缝403以及成像光学系404之后，对被载置于原版载物台405上的原版m进行照射。
[0146]
而且，透过了原版m的用于曝光的光通过投影光学系406，对被载置于基板载物台407上的基板w进行照射，并对基板w上的曝光区域进行曝光。
[0147]
另外，为了在曝光装置900的曝光空间内进行空调，空调机500具有将被调整了温度的空气13供给到该曝光空间内的功能。
[0148]
而且，由具备在空调机500设置的第一至第三实施方式中的任一项涉及的冷凝器
的冷冻系统100对空气13进行冷却。
[0149]
[物品的制造方法]
[0150]
本实施方式涉及的物品的制造方法例如适用于制造半导体器件等微型器件、具有精细构造的元件等物品。
[0151]
本实施方式涉及的物品的制造方法包括如下步骤(曝光基板的曝光步骤)，使用上述示出的曝光装置900在涂布于基板的感光剂来形成潜像图案。
[0152]
另外，本实施方式涉及的物品的制造方法包括显影步骤(加工步骤)，对在该曝光步骤中形成有潜像图案的基板进行显影。
[0153]
另外，本实施方式涉及的物品的制造方法包括对在该显影步骤中显影了的基板进行的其它公知的制造步骤(氧化、成膜、蒸镀、掺杂、平坦化、蚀刻、感光剂剥离、切割、邦定、封装等)。
[0154]
本实施方式涉及的物品的制造方法与以往的方法相比，对物品的性能、品质、生产性以及生产成本中的至少一个是有利的。