一种碳化硅生产车间冷却水供冷系统及供冷系统控制方法与流程

文档序号:35622433发布日期:2023-10-05 18:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,包括冷水池(110)、换热机组(120)、制冷机组(130)及冷却水管网(140),所述冷却水管网(140)用于对碳化硅生产车间内的多种设备降温,所述碳化硅生产车间冷却水供冷系统(100)具有低电价蓄冷模式、高电价供冷模式及低电价组合模式;

2.根据权利要求1所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,所述碳化硅生产车间冷却水供冷系统(100)还包括第一换热管路(150)、第二换热管路(160)、第三换热管路(170)及供回水管路(180),所述换热机组(120)内设置有第一介质流路与第二介质流路;

3.根据权利要求2所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,所述制冷机组(130)包括多个制冷机,多个所述制冷机的冷冻水箱均接入所述供回水管路(180),多个所述制冷机中的部分的冷冻水箱接入所述第二换热管路(160)。

4.根据权利要求2所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,所述换热机组(120)包括多个板式换热器,多个所述板式换热器的所述第一介质流路并联接入所述第一换热管路(150),多个所述板式换热器的所述第二介质流路并联接入所述第二换热管路(160)及所述第三换热管路(170)。

5.根据权利要求2所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,所述冷水池(110)在深度加深的方向上依次设置有第一水口(111)及第二水口(112),所述第一水口(111)及所述第二水口(112)均与所述第一换热管路(150)连通;

6.根据权利要求5所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统,其特征在于,所述第一换热管路(150)包括泵送机组(151)及多个配置有启闭阀(152)的管段,所述泵送机组(151)具有第一输入端(1511)与第一输出端(1512),所述第一输入端(1511)通过两个管段分别与所述第一水口(111)及所述第二水口(112)连接,所述第一输出端(1512)通过两个管段分别与所述第一介质流路的两端连接,所述第一介质流路的两端还通过两个管段分别与所述第一水口(111)及所述第二水口(112)连接。

7.一种供冷系统控制方法,应用于如权利要求1-6任一项所述的碳化硅生产车间冷却水供冷系统(100),其特征在于,所述供冷系统控制方法包括:

8.根据权利要求7所述的供冷系统控制方法,其特征在于,所述在低电价时间段内,根据所述冷却水管网(140)的运行状态,控制所述碳化硅生产车间冷却水供冷系统(100)运行所述低电价蓄冷模式或所述低电价组合模式的步骤包括:

9.根据权利要求7所述的供冷系统控制方法,其特征在于,所述在高电价时间段内,控制所述碳化硅生产车间冷却水供冷系统(100)运行所述高电价供冷模式的步骤包括:

10.根据权利要求9所述的供冷系统控制方法,其特征在于,所述在所述高电价时间段内,若所述冷却水管网(140)低负荷运行,则控制所述制冷机组(130)向所述冷却水管网(140)输送冷冻水,或,控制所述换热机组(120)将所述冷水池(110)中的冷水与所述冷却水管网(140)中的冷却水换热的步骤包括:


技术总结
本发明公开了一种碳化硅生产车间冷却水供冷系统及供冷系统控制方法,涉及碳化硅生产技术领域。该供冷系统包括冷水池、换热机组、制冷机组及冷却水管网,供冷系统具有低电价蓄冷模式、高电价供冷模式及低电价组合模式;在低电价蓄冷模式下,制冷机组运行,换热机组将制冷机组中的冷冻水与冷水池中的冷水换热;在高电价供冷模式下,制冷机组停机,制冷机组向冷却水管网输送冷冻水,和/或,换热机组将冷水池中的冷水与冷却水管网中的冷却水换热;在低电价组合模式下,制冷机组运行,换热机组将制冷机组中的冷冻水与冷水池中的冷水换热,且,制冷机组向冷却水管网输送冷冻水。本发明提供的供冷系统能够降低成本,并在停电状态下对冷却水管网供冷。

技术研发人员:吕芳栋,张哲,卫元元,罗鸿
受保护的技术使用者:通威微电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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