除尘喷嘴以及除尘装置的制作方法

本发明涉及除尘喷嘴以及除尘装置。

背景技术：

例如，具备CMOS图象传感器或CCD图象传感器等的小面部（小型的）电子元件在印刷电路板或者盒式托盘上排列成多列地配设，并在生产线上流动。

（小型的）电子元件中的上述小面部是尤其要求超高洁净度的部位。以往，公知有通过气体的喷出、吸引而将附着在上述小面部上的尘埃或微粒等异物除去的除尘装置（参照专利文献1）。

专利文献1：日本国特开2014－100622号公报。

但是，以往的除尘装置是通过考虑了与印刷电路板或者盒式托盘的整个宽度相对应的横长的清洁头（除尘头）向上述小面部以外的部位也吹喷气体来进行除尘、清洁。因在小面部以外的部位消耗多余的气体，有最需要除尘的重要的小面部的清洁效率降低的缺点。此外，一般来说在该小面部的外方位置大多存在直径为数十微米的极细配线，极细配线有因高压、高速的气体的吹喷而断线、损伤的可能性。

技术实现要素：

为此，本发明的目的在于提供一种除尘喷嘴以及除尘装置，能够集中并且高效率地对电子元件中要求特别高的洁净度的上述的传感器等的小面积的部分进行清洁。

本发明所涉及的除尘喷嘴是由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部的电子元件进行清洁的除尘喷嘴，其中，具备用于使气体朝向上述要除尘小面部的轮廓内喷出的气体喷出孔，和以包围上述气体喷出孔状地配设并由上述要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔。

此外，在上述电子元件上沿着上述要除尘小面部的上述轮廓的外方的部分或遍及整周地配设有极细配线，不使气体直接喷到上述极细配线地瞄准上述要除尘小面部从上述气体喷出孔喷出气体。

此外，上述要除尘小面部是传感器。

此外，本发明所涉及的除尘装置具备将电子元件组排列成相互平行的多列状并间歇地进行进给的运送机构，和沿与上述运送机构的上述进给的方向正交的宽度方向并设的多个除尘喷嘴，上述电子元件组的各电子元件局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部，上述各除尘喷嘴具备用于使气体朝向上述要除尘小面部的轮廓内喷出的气体喷出孔，和以包围上述气体喷出孔状地配设并由上述要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔，进而，与上述电子元件组的各列相对应地配设有多个除尘喷嘴，相对于由上述运送机构间歇地输送并成为了停止状态的上述电子元件，朝向上述要除尘小面部的轮廓内喷出气体，并且由上述要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体。

根据本发明的除尘喷嘴，与要除尘小面部的面积以及形状相对应地配设气体喷出孔和气体吸入孔，几乎不会发生漏气，能够仅向需要清洁的要除尘小面部吹喷气体，高效率地对要除尘小面部进行清洁。此外，不会消耗多余的气体，能够减轻消耗空气量。能够不使异物向周围飞散地将其除去。从气体喷出孔喷出的气体能够瞬时达到规定的压力以及风速，通过短时间的气体放出，即能够可靠地除去要除尘小面部上的异物，提高清洁效率。

根据本发明的除尘装置，与电子元件组的各列相对应地配设多个除尘喷嘴，能够高效率地对设在各电子元件上的要除尘小面部进行清洁。此外，与要除尘小面部的面积以及形状相对应地在各除尘喷嘴上配设气体喷出孔和气体吸入孔，几乎不会发生漏气，能够仅向需要清洁的要除尘小面部吹喷气体，高效率地对要除尘小面部进行清洁。此外，不会消耗多余的气体，能够减轻消耗空气量。能够不使异物向周围飞散地将其除去。从气体喷出孔喷出的气体能够瞬时达到规定的压力以及风速，通过短时间的气体放出，即能够可靠地将要除尘小面部上的异物除去，提高清洁效率。配设数量与同时输送来的电子元件的个数相同的除尘喷嘴，能够提高清洁效率。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的除尘喷嘴的一实施方式的放大仰视图；

图2是图1的剖视图，图2（A）是D－D向剖视图，图2（B）是E－E向剖视图；

图3是放大俯视图，图3（A）是表示电子元件的放大俯视图，图3（B）是用于说明除尘喷嘴与电子元件的对应关系的放大俯视图；

图4是表示本发明所涉及的除尘装置的一实施方式的要部的附图，图4（A）是俯视图，图4（B）是立体图；

图5是表示除尘喷嘴的其它实施方式的仰视图，图5（A）是表示其一例的仰视图，图5（B）是表示其它例子的仰视图；

图6是表示除尘喷嘴的别的实施方式的仰视图，图6（C）是表示其一例的仰视图，图6（D）是表示其它例子的仰视图，图6（E）是表示别的例子的仰视图；

图7是表示除尘喷嘴的另一实施方式的仰视图，图7（F）是表示其一例的仰视图，图7（G）是表示其它例子的仰视图，图7（H）是表示别的例子的仰视图。

附图标记说明

1：除尘喷嘴，2：要除尘小面部，3：气体喷出孔，4：气体吸入孔，6：电子元件，8：极细配线，10：电子元件组，20：运送机构，L：轮廓。

具体实施方式

以下，基于表示实施方式的附图详细说明本发明。

图4表示具有本发明所涉及的除尘喷嘴的除尘装置的一实施方式，该装置用于相对于局部具备要除尘小面部2的电子元件6吹喷气体而进行除尘、清洁。电子元件6例如在印刷电路板或者盒式托盘上排列成格子状或锯齿状地配设，与电子元件6的各列相对应地设有除尘喷嘴1，配设成一个除尘喷嘴1相对于各电子元件6上的一处要除尘小面部2为对置状。

如图3所示，要除尘小面部2例如由CMOS图象传感器或CCD图象传感器等传感器构成。在电子元件6上沿着要除尘小面部2的轮廓L的外方的部分或遍及整周地配设有极细配线8。要除尘小面部2在图例中形成为俯视大致为矩形，最小设定成4.4mm×3.3mm的大小，最大设定成36mm×24mm的大小。要除尘小面部2在电子元件6中最需要除尘，要求特别高的洁净度。具体地说，每单位面积（mm²）附着的大小为1μm的异物不到5个。极细配线8是指如果截面积为圆形，则其直径为10μm～20μ。

另外，要除尘小面部2的轮廓L并不局限于矩形，能够自由地变更成圆形或椭圆状，或者长方形的短边形成为圆弧状的形状等。此外，虽然省略了图示，但作为其它要除尘小面部2，也可以是水晶元件、MEMS（微小电气机械系统）、半导体晶片、光学元件等。

如图1和图2所示，除尘喷嘴1在与要除尘小面部2的对置面1A上具备喷出气体的多个气体喷出孔3，和吸引气体的多个气体吸入孔4。

如图3（B）所示，在除尘喷嘴1与要除尘小面部2的对置状态下，气体喷出孔3配设在要除尘小面部2的轮廓L内的区域P，从气体喷出孔3朝向要除尘小面部2的轮廓L内喷出气体。即、除尘喷嘴1构成为不使气体直接喷到配设在要除尘小面部2的轮廓L的外方的极细配线8地瞄准要除尘小面部2从气体喷出孔3喷出气体。气体吸入孔4以包围（多个）气体喷出孔3状地配设，由要除尘小面部2的轮廓L的外方的区域V吸引喷出的气体。以下，将要除尘小面部2的轮廓L内的区域P作为气体吹喷区域，将要除尘小面部2的轮廓L的外方的区域V作为气体吸引区域。

在图1和图2中，除尘喷嘴1形成为俯视为大致矩形的短柱状，具有供给、排气用的气体配管连接插头所连结的喷嘴体部13，和开设有多个气体喷出孔3和多个气体吸入孔4的帽部14。除尘喷嘴1内有与多个气体喷出孔3连通连结的气体排放用流路11，和与多个气体吸入孔4连通连结的气体吸引用流路12，在帽部14内的气体排放用流路11中配设有超声波发生器7。超声波发生器7由设有数量与气体喷出孔3相同的贯通孔的多个块体15构成，该块体15具备第一块体15A和第二块体15B这两种，第一块体15A具有直径比气体喷出孔3大的扩大孔16，第二块体15B具有直径比扩大孔16小的缩径孔17，两种块体15A、15B交错地配设。通过气体喷出孔3和扩大孔16、16以及缩径孔17，形成了截面积重复扩大、缩小的连续状的超声波发生孔。另外，也可以在帽部14的底部一体地形成与气体喷出孔3连续的超声波发生孔。

如图1所示，气体喷出孔3优选是直径比较小的圆形孔，其直径D0设定成0.45mm～0.75mm。另一方面，气体吸入孔4是直径比较大的圆形孔，其直径D1为气体喷出孔3的直径D0的3倍～5倍，优选具体地设定成1.5mm～3.5mm。

若气体喷出孔3的直径D0不到上述下限值，则难以进行穿孔的加工，若超过上述上限值，则喷出的气体的风速降低。此外，若气体吸入孔4的直径D1不到上述下限值，则有不能够除去异物的情况，若超过上述上限值，则除尘喷嘴1的大小过大。

接着，对本发明的除尘装置进行说明。

如图4所示，本发明的除尘装置具备将电子元件组10排列成相互平行的多列状并间歇地进行进给的运送机构20，和在与运送机构20的运送方向C正交的宽度方向上并设的多个除尘喷嘴1，多个除尘喷嘴1与电子元件组10的各列相对应地配设。

运送机构20例如由长度方向两端部连结的环状带，从内侧支撑带的辊，驱动辊的马达，以及变速器等构成。

电子元件组10的各电子元件6局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部2。要除尘小面部2是电子元件6中最需要除尘的部分。

如图1和图4（B）所示，除尘喷嘴1相对于由运送机构20间歇地输送并成为了停止状态的电子元件6，朝向要除尘小面部2的轮廓L内从气体喷出孔3喷出气体，并且由要除尘小面部2的轮廓L的外方将喷出的气体向气体吸入孔4吸引。

除尘喷嘴4与同时向横切运送方向C的清洁位置W输送来的电子元件6的数量相对应地沿（与运送方向C正交的）宽度方向并设有相同的个数，配设成一个除尘喷嘴1相对于电子元件6上的一处要除尘小面部2为对置状。另外，也可以构成为将除尘喷嘴1并设多列，在多个清洁位置W同时进行清洁，与更多的电子元件6相对应。

对上述本发明的除尘喷嘴的使用方法（作用）进行说明。

如图2（A）所示，从供给用的气体配管向除尘喷嘴1的气体排放用流路11供给规定高压的气体。供给到气体排放用流路11的气体通过超声波发生器7，成为了载有20kHz～100kHz的频率的超声波的气流（超声波气体）F，从气体喷出孔3吹出。气体排放用流路11的容积非常小，气体排放用流路在短时间内瞬时达到规定的压力，气流F从气体喷出孔3高速（140m～200m/秒）喷出。

在图3（B）中，除尘喷嘴1由要除尘小面部2的轮廓L内的气体吹喷区域P从气体喷出孔3朝向要除尘小面部2喷出气体。除尘喷嘴1仅向要除尘小面部2吹喷气体，使异物从要除尘小面部2表面剥离。即、除尘喷嘴1以不使气体直接喷到配设在要除尘小面部2的轮廓L的外方的极细配线8地瞄准要除尘小面部2从气体喷出孔3喷出气体。除尘喷嘴1不向要除尘小面部2的轮廓L的外方吹喷气体，不会发生无用的空气泄漏（漏气）。因此，不会消耗多余的气体，以少的消耗空气量高效率地对要除尘小面部进行清洁。

从要除尘小面部2表面剥离的异物由要除尘小面部2的轮廓L的外方的气体吸引区域V向气体吸入孔4吸入，异物从气体吸引用流路12向排气用的气体配管排出。除尘喷嘴1由包围气体吹喷区域P的外方的气体吸引区域V吸引从气体喷出孔3喷出的气体，不使异物向周围飞散地将其除去。

另外，本发明能够进行设计变更，例如，除尘喷嘴1也可以如图5（A）所示，气体吸入孔4形成为狭缝状。狭缝状的气体吸入孔4夹着气体吹喷区域P地配设在要除尘小面部2的轮廓L的外方的两处。此外，也可以如图5（B）所示，气体吸入孔4形成为闭环状，包围要除尘小面部2的轮廓L的外方地配设。

在如图6所示，要除尘小面部2为圆形的情况下，优选将除尘喷嘴1形成为俯视为圆形。在图6（C）中，除尘喷嘴1将多个气体喷出孔3放射状地配设在要除尘小面部2的轮廓L内，包围要除尘小面部2的轮廓L的外方地配设有多个气体吸入孔4。在图6（D）中，气体吸入孔4是作为弯曲成圆弧状的形状的狭缝状形成的，在图6（E）中，气体吸入孔4形成为圆环状，包围要除尘小面部2的轮廓L的外方地配设。

此外，在如图7所示，要除尘小面部2的面积（大小）增大的情况下，增加气体喷出孔3以及气体吸入孔4的个数，或者增大气体吸入孔4的面积。在图7（F）中，将比图1所示的图例更多的气体喷出孔3配设在要除尘小面部2的轮廓L内，包围要除尘小面部2的轮廓L的外方地配设有多个气体吸入孔4。在图7（G）中，使气体吸入孔4为狭缝状，在图7（H）中，气体吸入孔4形成为コ字状，包围要除尘小面部2的轮廓L的外方地配设。

如上所述，由于本发明所涉及的除尘喷嘴在由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部的电子元件6进行清洁的除尘喷嘴中，具备用于使气体朝向上述要除尘小面部2的轮廓L内喷出的气体喷出孔3，和以包围上述气体喷出孔3状地配设并由上述要除尘小面部2的上述轮廓L的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔4，所以能够与要除尘小面部2的面积以及形状相对应地配设气体喷出孔3和气体吸入孔4，几乎不会发生漏气，仅向需要清洁的要除尘小面部2吹喷气体，高效且可靠地对要除尘小面部2进行清洁。此外，不会消耗多余的气体，能够减轻消耗空气量。能够不使异物向周围飞散地将其除去。从气体喷出孔3喷出的气体能够瞬时达到规定的压力以及风速，通过短时间的气体放出，即能够可靠地除去要除尘小面部2上的异物，提高清洁效率。

此外，由于在上述电子元件6上沿着上述要除尘小面部2的上述轮廓L的外方的部分或遍及整周配设有极细配线8，不使气体直接喷到上述极细配线8地瞄准上述要除尘小面部2从上述气体喷出孔3喷出气体，所以不会使极细配线断线、损伤，能够仅向要除尘小面部2吹喷气体，高效且可靠地对要除尘小面部2进行清洁。

此外，由于上述要除尘小面部2是传感器，所以能够集中地向电子元件6中最需要除尘、要求特别高的洁净度的要除尘小面部2吹喷气体，能够高效且可靠地对要除尘小面部2进行清洁。

此外，由于本发明所涉及的除尘装置具备将电子元件组10排列成相互平行的多列并间歇地进行进给的运送机构20，和沿与上述运送机构20的上述进给的方向正交的宽度方向并设的多个除尘喷嘴1，上述电子元件组10的各电子元件6局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部2，上述各除尘喷嘴1具备用于使气体朝向上述要除尘小面部2的轮廓L内喷出的气体喷出孔3，和以包围上述气体喷出孔3状地配设并由上述要除尘小面部2的上述轮廓L的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔4，进而，与上述电子元件组10的各列相对应地配设有多个除尘喷嘴1，相对于由上述运送机构20间歇地输送并成为了停止状态的上述电子元件6，朝向上述要除尘小面部2的轮廓L内喷出气体，并且由上述要除尘小面部2的上述轮廓L的外方吸引喷出的气体，所以能够与电子元件组10的各列相对应地配设多个除尘喷嘴1，高效率地对设在各电子元件6上的要除尘小面部2进行清洁。此外，与要除尘小面部2的面积以及形状相对应地在各除尘喷嘴1上配设气体喷出孔3和气体吸入孔4，几乎不会发生漏气，能够仅向需要清洁的要除尘小面部2吹喷气体，高效率地对要除尘小面部2进行清洁。此外，不会消耗多余的气体，能够减轻消耗空气量。能够不使异物向周围飞散的将其除去。从气体喷出孔3喷出的气体能够瞬间达到规定的压力以及风速，通过短时间的气体放出，即能够可靠地除去要除尘小面部2上的异物，提高清洁效率。能够配设数量与同时输送来的电子元件6的数量相同的除尘喷嘴1，提高清洁效率。