1.一种防损伤的激光清洗装置，包括激光器(1)、光束整形系统(2)、扫描振镜系统(3)、聚焦系统(4)和控制系统(5)，由所述激光器(1)出射的激光束依次通过所述光束整形系统(2)和扫描振镜(3)，再通过所述聚焦系统(4)聚焦在待清洗工件(6)表面，所述控制系统(5)控制所述激光器(1)和扫描振镜系统(3)实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作；其特征在于：
所述光束整形系统(2)包括扩束单元(21)、平顶光束变换单元(22)和匀束光束变换单元(23)；所述扩束单元(21)和平顶光束变换单元(22)用于将入射的高斯光束整形为平顶光束；所述匀束光束变换单元(23)用于将入射的激光束进行匀束。
2.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述平顶光束变换单元(22)为衍射光学元件，由一块平顶镜片构成。
3.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述匀束光束变换单元(23)为衍射光学元件，由一组匀束镜片构成。
4.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述光束整形系统(2)还包括检偏单元(10)，所述检偏单元(10)用于将待清洗工件(6)表面反射的激光与所述激光器(1)隔离。
5.根据权利要求4所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述检偏单元(10)由平行放置的二正交偏振镜片构成。
6.根据权利要求4所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述检偏单元(10)由平行放置一偏振镜片和一反射镜片构成。
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述聚焦系统(4)包括可更换的聚焦镜头。
8.根据权利要求1至6任一项所述的一种防损伤的激光清洗装置，其特征在于，所述聚焦系统(4)为变焦透镜，所述变焦透镜设置于所述扫描振镜(3)末端，随所述扫描振镜(3)转动。