清洗装置的制作方法

本发明涉及清洗装置，特别涉及用于脱脂清洗的清洗装置，所述脱脂清洗除去在加工工业部件时附着于部件表面的加工油、润滑剂等油分。

背景技术：

以往，在工业脱脂清洗的领域中，主流的清洗装置通过使用氟利昂类溶剂、有机溶剂、制油类溶剂等溶剂，使油分溶解在这些溶剂中，从而进行脱脂。例如专利文献1公开的清洗装置是除去附着于管口的浆糊的装置，在粗洗用和精洗用这两个清洗槽中，使用酮类或醇类等有机溶剂作为清洗液。

在该专利文献1中，在第一清洗槽中，以搅拌并摇动清洗液为目的，喷射具有1mm～10mm左右的直径的气泡，并且第一清洗槽和第二清洗槽均利用设置于清洗槽的底部的超声波放射构件向清洗液施加超声波。通过向被清洗物照射超声波，在被清洗物的表面产生气穴(cavitation)现象，附着于被清洗物的油等污垢被分解、剥离。

然而，氟利昂类溶剂、有机溶剂、制油类溶剂等溶剂存在如下环境负荷大的问题：包含会引起臭氧层的破坏或河流、海洋、地下水的水质污染等环境破坏的原因物质；在更换清洗液时需要将使用完的清洗液作为工业废弃物处理等。因此，期望开发环境负荷较小的清洗技术来取代使用这些溶剂的清洗。

作为环境负荷小的清洗技术，使以水为主体的清洗水产生直径10μm～数十μm的微细气泡并使其作用于被清洗物的微气泡清洗(microbubblecleaning)引人关注。当使微细气泡作用于被清洗物时，通过附着于被清洗物表面的污染物吸附在微细气泡的表面，微细气泡借助自身的浮力而从被清洗物分离，从而除去污染物。在专利文献2中，作为使期望的微细气泡长时间稳定化的效果高的表面活性剂，提出了一种特定构造的非离子类表面活性剂。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-90244号公报

专利文献2：日本特开2006-206896号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

如专利文献1所示的清洗装置，在将有机溶剂用于清洗液的方法中，除了上述环境负荷的问题外，还存在如下问题：由于每当增加清洗次数时溶解在清洗液中的油分量会增大而清洗力降低，所以清洗质量不稳定。另外，存在如下问题：需要定期地更换清洗液，维护性低。

另一方面，在使用以水为主体的清洗水并使微细气泡作用于被清洗物的微气泡清洗中，存在如下问题：由于吸附于微细气泡的油分等污染物累积在液面，所以在从清洗槽提起被清洗物时，污染物会再次附着。因此，为了将微气泡清洗应用于工业领域的批量生产工序，需要使累积在液面的污染物不再附着于被清洗物的机构，期望开发具备这样的机构的清洗装置。

本发明为解决上述问题而做出，其目的在于得到一种对环境的负荷小、维护性优异、且能够长时间稳定地确保高清洗力的清洗装置。

用于解决课题的方案

本发明的技术方案1的清洗装置具备：第一清洗槽，所述第一清洗槽保持第一清洗液；第一微细气泡产生装置，所述第一微细气泡产生装置在第一清洗液的液体中生成微细气泡；第一循环泵，所述第一循环泵使第一清洗液循环并向第一清洗槽供给含有微细气泡的第一清洗液；第二清洗槽，所述第二清洗槽保持第二清洗液；超声波照射装置，所述超声波照射装置向第二清洗槽的内部照射超声波；以及搬运装置，所述搬运装置保持被清洗物并在将其搬运到第一清洗槽后接着搬运到第二清洗槽，作为第一清洗液，使用添加有防止气泡合并的添加剂的水，作为第二清洗液，使用水、水类的清洗剂、碱清洗液及亲水性有机溶剂中的任一种，第一清洗槽具有向其内部的第一清洗液的液面的上部喷射第一清洗液的喷嘴，搬运装置将被清洗物搬运到第一清洗槽的内部，并使其通过被喷嘴喷射第一清洗液的区域。

另外，本发明的技术方案4的清洗装置具备：第一清洗槽，所述第一清洗槽保持第一清洗液；第一微细气泡产生装置，所述第一微细气泡产生装置在第一清洗液的液体中生成微细气泡；第一循环泵，所述第一循环泵使第一清洗液循环并向第一清洗槽供给含有微细气泡的第一清洗液；第二清洗槽，所述第二清洗槽保持第二清洗液；超声波照射装置，所述超声波照射装置向第二清洗槽的内部照射超声波；以及搬运装置，所述搬运装置保持被清洗物并在将其搬运到第一清洗槽后接着搬运到第二清洗槽，作为第一清洗液，使用添加有防止气泡合并的添加剂的水，作为第二清洗液，使用水、水类的清洗剂、碱清洗液及亲水性有机溶剂中的任一种，第一清洗槽具有分隔板，所述分隔板将保持在第一清洗槽的内部的第一清洗液的液面划分为投入被清洗物的被清洗物投入区域和取出被清洗物的被清洗物取出区域这两个区域，分隔板在与第一清洗槽的底部之间隔开能够供被清洗物通过的间隔地进行设置，第一循环泵向第一清洗槽供给含有微细气泡的第一清洗液，搬运装置从第一清洗槽的被清洗物投入区域投入被清洗物，使其在分隔板的下方通过并从被清洗物取出区域取出。

发明的效果

根据本发明的技术方案1及技术方案4的清洗装置，通过在来自被清洗物的油分的带入量最多的第一清洗槽中使用添加有添加剂的水作为第一清洗液，并实施利用微细气泡的脱脂清洗，能够使从被清洗物除去的疏水性油累积在液面而不溶解在第一清洗液中。由此，能够将油分与第一清洗液分离并回收，能够大幅地减小第一清洗槽的维护频率。另外，由于第一清洗液自身几乎没有劣化，所以能够确保长时间稳定的清洗质量，而不会随着清洗次数的增加导致清洗力降低。并且，能够仅将回收的油作为工业废弃物处理，即使将第一清洗液作为工业废弃物处理，由于第一清洗液的更换频率低，所以废液量也少，对环境的负荷小。

另外，根据本发明的技术方案1的清洗装置，在第一清洗槽中从喷嘴喷射第一清洗液，由于不使被清洗物浸渍在第一清洗液的液体中，所以能够防止累积在第一清洗液的液面的疏水性油再次附着于被清洗物。

另外，根据本发明的技术方案4的清洗装置，由于在第一清洗槽的被清洗物投入区域的液体中使微细气泡作用于被清洗物，所以由微细气泡分离的疏水性油主要累积在被清洗物投入区域的液面，能够将被清洗物取出区域的液面保持为净化状态，因此能够防止在从第一清洗液取出被清洗物时疏水性油再次附着。

本发明的上述以外的目的、特征、观点及效果可根据参照附图的下述本发明的详细说明，进一步明确。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的清洗装置的概略图。

图2是表示本发明的实施方式2的清洗装置中的第一清洗槽周边的结构的立体图。

图3是表示本发明的实施方式2的清洗装置中的第一清洗槽的俯视图。

图4是表示本发明的实施方式2的清洗装置中的第一清洗槽的另一例的俯视图。

图5是表示本发明的实施方式3的清洗装置的第二清洗槽周边的结构的立体图。

图6是表示使微细气泡作用于溶解在水中的水溶性油时的水溶性油的浓度变化的图。

图7是表示本发明的实施方式3的清洗装置中的第二清洗槽的俯视图。

图8是表示本发明的实施方式3的清洗装置中的第二清洗槽的另一例的俯视图。

具体实施方式

实施方式1.

以下，基于附图对本发明的实施方式1的清洗装置进行说明。图1表示本实施方式1的清洗装置的整体结构。本实施方式1的清洗装置用于除去附着在工业部件的表面上的加工油、润滑剂等油分的脱脂清洗，并具备第一清洗槽10、第二清洗槽20、第一微细气泡产生装置11、第一循环泵12、超声波照射装置21、搬运装置4及清洗液的升温构件(省略图示)。

在第一清洗槽10中保持有主要用于除去疏水性油的第一清洗液1，在第二清洗槽20中保持有主要用于除去亲水性(水溶性)油的第二清洗液2。在本实施方式1中，作为第一清洗液1，使用添加有防止气泡合并的添加剂的水。另外，作为第二清洗液2，能够使用水、水类的清洗剂、碱清洗液、亲水性(极性)的有机溶剂中的任一种，在本实施方式1中使用水。此外，后面将详细说明这些清洗液。

第一微细气泡产生装置11在第一清洗液1的液体中生成直径10μm～数十μm的微细气泡。在第一清洗槽10中，通过该微细气泡的作用，除去附着于被清洗物3的疏水性油。此外，后面将说明利用微细气泡的脱脂清洗的原理。

第一循环泵12使第一清洗液1循环，并向第一清洗槽10供给含有微细气泡的第一清洗液1。在本实施方式1中，第一清洗槽10具有多个向其内部喷射第一清洗液1的喷嘴13。第一循环泵12向喷嘴13供给第一清洗液1，所述第一清洗液1含有由升温构件升温的微细气泡。以位于第一清洗液1的液面1a的上部且从喷嘴13喷射的第一清洗液1碰到第一清洗槽10的内壁10a并被回收而不向周围飞散的方式确定喷嘴13的设置位置及喷射区域。

与第一清洗槽10的底部附近连接的配管与第一循环泵12连接，并且经由第一微细气泡产生装置11与喷嘴13连接。即，第一微细气泡产生装置11设置在第一循环泵12与喷嘴13之间，是在配管路径的中途在第一清洗液1的液体中生成微细气泡的结构。

设置于第二清洗槽20的底部的超声波照射装置21向第二清洗槽20的内部照射超声波，并经由第二清洗液2向被清洗物3照射超声波。由超声波照射装置21照射的超声波的频率在能够使气穴现象产生的10hz～1mhz的范围，在将本实施方式1的清洗装置应用于工业领域的情况下，从清洗处理速度的观点出发优选100hz～1mhz的范围，并且更优选1khz～1mhz的范围。

搬运装置4保持被清洗物3，在将其搬运到第一清洗槽10后，接着搬运到第二清洗槽20。在图1中，箭头x表示搬运装置4的搬运方向。在本实施方式1中，搬运装置4将被清洗物3搬运到第一清洗槽10的内部，并使其通过被喷嘴13喷射第一清洗液1的喷射区域1b。接着，在使其移动到第二清洗槽20并浸渍到被照射超声波的第二清洗液2后，从第二清洗液2取出。

接着，对清洗液进行说明。保持于第一清洗槽10的第一清洗液1使用添加少量添加剂的水。添加剂是具有如下功能的物质：防止由第一微细气泡产生装置11生成的微细气泡合并，并使微细气泡长时间稳定地存在于水中。具体而言，能够使用上述专利文献2公开的下述式1所示的含活性氢原子化合物的(聚)氧化烯加合物这样的物质。

z-[(ao)n-h]p(式1)

在式1中，z是从p价的含活性氢化合物除去活性氢而成的残基，a是碳数1～8的亚烷基，n是1～400的整数，p是1～100的整数。

另外，添加剂的浓度优选10ppm～10000ppm的范围。并且，在将本实施方式1的清洗装置应用于工业领域的情况下，从运转成本、清洗质量的观点出发，添加剂的浓度更优选100ppm～1000ppm的范围。当添加剂的浓度过高时，由清洗液的蒸发、被清洗物3的带出等导致的添加剂的损失量变大，清洗液花费的成本变大。另一方面，当添加剂的浓度过低时，不能充分地发挥防止气泡合并的效果，在从第一微细气泡产生装置11到喷嘴13的配管中途发生气泡的合并，作用于被清洗物3的气泡的尺寸变大。

在使油分吸附于微细气泡的表面并除去的清洗方法中，由于清洗处理速度依赖于气泡的表面积，所以当气泡的尺寸变大时，气泡的表面积减少，清洗处理速度降低。在将本实施方式1的清洗装置应用于工业领域的批量生产工序的情况下，由于要求与清洗工序的前后工序的周期时间(cycletime)同步的清洗速度，所以不优选清洗处理速度降低。因此，从清洗成本和清洗处理速度的观点出发，优选将添加剂的浓度设定为上述范围。

另外，保持于第二清洗槽20的第二清洗液2需要选定由被清洗物3导致的第一清洗液1的带入不会成为问题的清洗液，在本实施方式1中使用水。由于第二清洗槽20的脱脂对象油主要是亲水性(水溶性)油，所以通过将水用作第二清洗液2，能够得到充分的脱脂效果。

在第二清洗液2要求更高的清洗力的情况下，使用水类的清洗剂、碱清洗液或亲水性(极性)的有机溶剂等。通过使用这些清洗液，在第二清洗槽20中不仅能够进行水溶性油的脱脂，也能够进行疏水性油的脱脂，所以即使在由于某些突发的不良情况而在第一清洗槽10中不能充分地除去疏水性油的情况下，也能够在第二清洗槽20中除去，能够以更高的水平保证清洗质量。

并且，通过在第一清洗液1及第二清洗液2中的任一方或双方中添加少量的防锈剂，能够应用于铁类的部件。特别是，由于在第一清洗槽10中向第一清洗液1导入微细气泡，所以第一清洗液1中的溶解氧浓度高，在清洗处理期间，在被清洗物3上容易进行腐蚀反应。因此，通过向第一清洗液1添加防锈剂，能够一边抑制腐蚀反应，一边进行清洗处理。此外，防锈剂的添加量根据防锈剂的种类决定。例如，在使用parkercorporation(株)制的magnus(注册商标)的情况下，能够通过添加约0.1w％而赋予防锈性。

使用图1，详细说明使用本实施方式1的清洗装置的清洗工序的流程。被清洗物3保持为不从搬运装置4脱落，并投入第一清洗槽10的内部。喷嘴13以不与被清洗物3的搬运方向干涉的方式设置于第一清洗槽10的内部。在被清洗物3沿水平方向在第一清洗液1的液面1a的上部搬运移动的期间，被清洗物3暴露在含有从喷嘴13喷射的微细气泡的第一清洗液1中。此外，为了提高脱脂清洗的效果，第一清洗液1由升温构件升温。

对利用微细气泡的脱脂清洗的原理进行说明。由于疏水性油的极性低，所以在极性高的水中，不会与作为溶剂的水媒合而以不稳定的状态存在。因此，当使疏水性气泡在水中作用时，疏水性油吸附于更稳定的气泡表面。在表面吸附有疏水性油的气泡与第一清洗液1一起被回收到第一清洗槽10。回收到第一清洗槽10的气泡借助自身的浮力在第一清洗液1中浮起，当到达液面1a时破裂。其结果，疏水性油累积在第一清洗槽10的液面1a。在疏水性油和水溶性油附着于被清洗物3的情况下，在第一清洗槽10中，疏水性油的除去占优势。

在第一清洗槽10中结束利用微细气泡的脱脂清洗后的被清洗物3利用搬运装置4移动到第二清洗槽20的上部，并下降到完全浸渍在保持于第二清洗槽20的第二清洗液2中的位置。通过利用超声波照射装置21向保持于第二清洗槽20的第二清洗液2施加超声波，并将被清洗物3在该第二清洗液2中浸渍预定时间，从而使附着于被清洗物3的表面的水溶性油溶解于第二清洗液2。被清洗物3在完全浸渍于第二清洗液2的状态下，在第二清洗槽20内沿水平方向搬运移动后，从第二清洗液2取出。

与现有的脱脂清洗装置进行比较地说明本实施方式1的清洗装置的效果。在使附着于被清洗物的油分溶解于有机溶剂等溶剂的现有装置中，除去的油分逐渐累积在清洗液中。在工业用脱脂清洗装置中，通常使用多个清洗槽，但由于来自被清洗物的油分的带入量最多的第一清洗槽的清洗液的劣化大，所以清洗液的浓度调整、更换等的维护频率由第一清洗槽决定。

另外，在使油分溶解于清洗液中的清洗方法中，当油分向清洗液的累积量增加时，清洗液对油的溶解力降低。因此，需要定期地实施清洗液的追加、更换这样的维护，但新液与即将维护前的清洗液的清洗力存在差别，与用新液清洗的部件相比，用即将维护前的清洗液清洗的部件的清洗质量较差。另外，在现有的清洗装置中，由于第一清洗槽的清洗液的劣化快，所以需要频繁地进行维护，换言之，用即将维护前的清洗液清洗的频率高，因此是使清洗质量降低的主要原因。

并且，由于在现有装置中清洗液使用有机溶剂等，所以在更换清洗液的情况下，需要将使用完的清洗液作为工业废弃物处理。另外，即使在使用对环境的负担小的水类清洗剂等清洗液的情况下，由于在使用完的清洗液中也溶解有大量油分，所以还是需要作为工业废弃物废弃。

另一方面，本实施方式1的清洗装置通过在来自被清洗物3的油分的带入量最多的第一清洗槽10中使用添加有添加剂的水作为第一清洗液1，并实施利用微细气泡的脱脂清洗，从而使从被清洗物3除去的疏水性油累积在液面1a而不溶解在第一清洗液1中，能够与第一清洗液1分离并回收。其结果，能够大幅地减小第一清洗槽10的维护频率，作为清洗工序，能够实现长时间不需维护。

另外，在第一清洗槽10中采用使第一清洗液1从喷嘴13喷射的喷射方式，由于不使被清洗物3浸渍在第一清洗液1的液体中，所以浮在第一清洗液1的液面1a上的疏水性油不会再次附着于被清洗物3。另外，由于保持于第一清洗槽10的第一清洗液1自身几乎没有劣化，所以能够确保稳定的清洗质量，而不会随着清洗次数的增加导致清洗力降低。

并且，由于能够将累积在第一清洗液1的液面1a的油分分离并回收，所以在维护时仅将回收的油作为工业废弃物处理即可。或者，即使考虑在清洗处理期间环境污染物质混入第一清洗液1的可能性而采用将第一清洗液1作为工业废弃物处理的运用形态，由于与现有装置相比维护频率非常低，所以使用完的第一清洗液1的产生频率也低。如上所述，根据本实施方式1，能够得到一种对环境的负荷小、维护性优异、且能够长时间稳定地确保高清洗力的清洗装置。

实施方式2.

图2表示本发明的实施方式2的清洗装置中的第一清洗槽周边的结构。在图2中，对与图1相同、相当的部分标注相同的附图标记，并省略说明。另外，由于本实施方式2的清洗装置中的第二清洗槽20的结构与上述实施方式1相同，所以省略图示及说明。在本实施方式2中，也使用与上述实施方式1相同的第一清洗液1及第二清洗液2。

在上述实施方式1中，在第一清洗槽10中，采用从喷嘴13喷射第一清洗液1的喷射方式，但在本实施方式2中，在第一清洗槽10a中，采用在使被清洗物3浸渍于第一清洗液1的状态下喷射微细气泡的清洗形态。脱脂清洗的清洗力依赖于作为脱脂对象的油的温度，温度越高，能够得到越高的清洗力。因此，在上述实施方式1的清洗装置中，也向喷嘴13供给升温后的第一清洗液1。

但是，在被清洗物3大的情况下或在冬季被清洗物3的温度低的情况下，有时在清洗处理期间附着于被清洗物3的表面的油的温度不会升温到第一清洗液1的设定温度，不能得到充分的清洗效果。特别是，在喷射方式中，由于第一清洗液1与空气接触的面积大而容易散热，所以与浸渍式相比，必须较高地设定第一清洗液1的温度。

在本实施方式2中，通过在第一清洗槽10a中使被清洗物3浸渍于第一清洗液1，将被清洗物3与第一清洗液1接触的时间确保为较长，能够提高被清洗物3的升温效果，与喷射式相比，能够抑制来自第一清洗液1的散热。因此，能够将第一清洗液1的设定温度设定为比上述实施方式1低。

如图2所示，本实施方式2中的第一清洗槽10a具有分隔板14，所述分隔板14将保持在第一清洗槽10a内部的第一清洗液1的液面划分为被投入被清洗物3的被清洗物投入区域1c和取出被清洗物3的被清洗物取出区域1d这两个区域。分隔板14在与第一清洗槽10a的底部10b之间隔开能够供被清洗物3通过的间隔地进行设置。

在本实施方式2中，从第一清洗槽10a的被清洗物投入区域1c的底部10b附近的排出口18供给含有微细气泡的第一清洗液1。搬运装置4保持被清洗物3，在将其搬运到第一清洗槽10a后，接着搬运到第二清洗槽20。在图2中，箭头x表示搬运装置4的搬运方向。在本实施方式2中，搬运装置4从第一清洗槽10a的被清洗物投入区域1c投入被清洗物3，使其在分隔板14的下方通过并从被清洗物取出区域1d取出。

另外，本实施方式2的清洗装置具备第一回收沟10c和第一回收槽15，所述第一回收沟10c回收从第一清洗槽10a的至少一部分壁面溢出的第一清洗液1，所述第一回收槽15保持由第一回收沟10c回收的第一清洗液1。在图2中，箭头y表示溢出的方向。图3是表示图2所示的第一清洗槽10a的俯视图，使第一清洗液1从隔着分隔板14相向的两个壁面溢出。另外，图4是表示本实施方式2的清洗装置中的第一清洗槽10a的另一例的俯视图。如图4所示，也可以使第一清洗液1从所有的壁面溢出。

在图3及图4中，a表示向第一清洗液1投入被清洗物3的位置，b表示从第一清洗液1取出被清洗物3的位置。优选第一回收沟10c设置于被清洗物投入区域1c和被清洗物取出区域1d中的每一个的构造。从减小第一清洗槽10a的设置空间这样的观点出发，从相向的两个壁面的溢出是有利的，从浮到液面的疏水性油的回收效率这样的观点出发，从所有面的溢出是有利的。此外，在本实施方式2中，将从第一清洗槽10a溢出的第一清洗液1经由第一回收沟10c回收到第一回收槽15，但也可以不经由第一回收沟10c。

另外，在本实施方式2中，如图2所示，与第一清洗槽10a的底部10b连接的配管和与第一回收槽15的底部附近连接的配管经由歧管17a与第一循环泵12连接。第一循环泵12的排出侧经由歧管17b与排出口18连接，所述排出口18设置在第一清洗槽10a的被清洗物投入区域1c的底部10b附近。在第一循环泵12与排出口18之间连接有第一微细气泡产生装置11，并向排出口18供给含有微细气泡的第一清洗液1。

第一清洗液1从第一清洗槽10a向第一微细气泡产生装置11的供给量由作为第一供给量调整部的流量调整器16a调整。同样地，第一清洗液1从第一回收槽15向第一微细气泡产生装置11的供给量由作为第二供给量调整部的流量调整器16b调整。通过以上结构，第一循环泵12能够经由第一微细气泡产生装置11向第一清洗槽10a供给保持于第一清洗槽10a的第一清洗液1及保持于第一回收槽15的第一清洗液1。另外，能够利用流量调整器16a、16b调整从第一清洗槽10a的溢出量，在溢出时的发泡过多的情况下，能够通过减少溢出量来抑制发泡。

对本实施方式2的清洗装置的第一清洗槽10a中的清洗工序的流程进行说明。被清洗物3由搬运装置4从第一清洗槽10a的被清洗物投入区域1c投入，并浸渍于第一清洗液1。被清洗物3在第一清洗液1的液体中沿水平方向在配置有多个排出口18的区域搬运移动的期间，暴露在含有微细气泡的第一清洗液1中，并除去附着于表面的油分。之后也沿水平方向搬运移动，在分隔板14的下部通过并进入被清洗物取出区域1d，在预定位置从第一清洗液1取出。

对在第一清洗槽10a中利用微细气泡从被清洗物3分离的油分的举动进行说明。在表面吸附有疏水性油的微细气泡借助自身的浮力而从被清洗物3离开，并在第一清洗液1中浮起。当在第一清洗液1中沿铅垂向上的方向移动的微细气泡到达液面时破裂，在液面上仅残留疏水性油。液面被分隔板14一分为二，利用微细气泡分离的疏水性油主要浮在被清洗物投入区域1c。

由于第一清洗槽10a具有使第一清洗液1溢出的机构，所以浮在液面的疏水性油经由分别设置于被清洗物投入区域1c和被清洗物取出区域1d的第一回收沟10c而回收到第一回收槽15。通过这些机构，能够将第一清洗液1的液面，特别是被清洗物取出区域1d始终保持为净化状态，能够防止在从第一清洗液1取出被清洗物3时疏水性油再次附着。

根据本实施方式2的清洗装置，除了与上述实施方式1同样的效果之外，由于在第一清洗槽10a中使被清洗物3浸渍于第一清洗液1，所以被清洗物3的升温效果变高，能够得到更高的清洗效果，并且由于能够降低第一清洗液1的设定温度，所以能够实现低成本化。

实施方式3.

图5表示本发明的实施方式3的清洗装置中的第二清洗槽周边的结构。在图5中，对与图1相同、相当的部分标注相同的附图标记，并省略说明。另外，本实施方式3中的第一清洗槽的结构可以采用上述实施方式1中的第一清洗槽10(参照图1)或上述实施方式2中的第一清洗槽10a(参照图2)中的任一个。在本实施方式2中，也使用与上述实施方式1相同的第一清洗液1及第二清洗液2。

本实施方式3的清洗装置中的第二清洗槽20a具备使溶解于第二清洗液2的水溶性油析出而净化第二清洗液2的机构。如图5所示，第二清洗槽20a具备第二回收沟20c和第二回收槽22，所述第二回收沟20c回收从至少一部分壁面溢出的第二清洗液2，所述第二回收槽22保持由第二回收沟20c回收的第二清洗液2，还具备第二微细气泡产生装置23和第二循环泵24，所述第二微细气泡产生装置23在第二清洗液2的液体中生成直径10μm～数十μm的微细气泡，所述第二循环泵24使第二清洗液2循环。在图5中，箭头z表示溢出的方向。

第二循环泵24向第二清洗槽20a供给保持于第二回收槽22的第二清洗液2，并且使保持于第二回收槽22的第二清洗液2经由第二微细气泡产生装置23返回到第二回收槽22。第二回收槽22与第二循环泵24经由流量调整器25a和歧管26a连接，第二清洗液2向第二循环泵24的供给量由流量调整器25a调整。另外，第二循环泵24的排出侧利用歧管26b分支，一方经由流量调整器25b和第二微细气泡产生装置23向第二回收槽22供给，另一方经由流量调整器25c向第二清洗槽20a供给。

第二清洗槽20a的主要脱脂对象油是在第一清洗槽10(或10a)中难以除去的水溶性油。在第二清洗槽20a中，由于使附着于被清洗物3的水溶性油溶解在作为第二清洗液2的水中地进行清洗，所以随着清洗次数的增加，水溶性油累积在第二清洗液2中。在本实施方式3中，利用微细气泡使累积在该第二清洗液2中的水溶性油析出而净化第二清洗液2。

对利用微细气泡净化第二清洗液2的理由进行说明。水溶性油大多含有表面活性剂成分，本来为疏水性的油分通过由表面活性剂覆盖，从而以稳定化的状态分散在第二清洗液2的液体中。当向这样的状态下的第二清洗液2供给微细气泡时，由于表面活性剂成分变化成不溶性的金属皂并析出，所以由于表面活性剂成分的不足，油分不能稳定地存在于液体中，油分在液体中析出，并浮到第二清洗液2的液面。

在本实施方式3中，利用该现象，对溶解有水溶性油的第二清洗液2进行净化。通过向第二回收槽22供给由第二微细气泡产生装置23生成的微细气泡，将水溶性油的表面活性剂成分金属皂化，并使油分成分析出。并且，通过利用撇油器(oilskimmer)等回收装置(省略图示)回收飘浮在液面的不溶性成分，将第二清洗液2净化。

图6表示使微细气泡作用于溶解在水中的水溶性油时的水溶性油的浓度变化。在图6中，纵轴是水溶性油的浓度(ppm)，横轴是微细气泡的喷射时间(分钟)。在该实验中，向调整为初始浓度1600ppm的含水溶性油水溶液供给微细气泡，能够确认到水溶性油的浓度的降低。此外，此时的微细气泡的生成条件为：使用文丘里型(venturitype)微细气泡产生装置，使水的供给量为7l/min，使空气的供给量为14l/min。

此外，由于第二清洗槽20a具备超声波照射装置21，所以向水溶性油供给微细气泡的区域必须是与超声波照射区域不同的区域。这是因为，由于气泡的存在，会阻碍超声波的传播，超声波不能到达被清洗物3。特别是，在微细气泡的情况下，水中的滞留时间变长，该影响显著。

在本实施方式3中，为了防止微细气泡对超声波清洗的影响，在保持从第二清洗槽20a溢出的第二清洗液2的第二回收槽22中，进行利用微细气泡的第二清洗液2的净化。由于第二清洗液2的净化并不是以往的通过气泡吸附使沉淀物浮起，所以喷射含有微细气泡的第二清洗液2的排出口27无需设置在第二回收槽22的底部，可以设置在从液面到底部的中间位置。

图7是表示图5所示的第二清洗槽20a的俯视图，使第二清洗液2从相向的两个壁面溢出。另外，图8是表示本实施方式3的清洗装置中的第二清洗槽20a的另一例的俯视图。如图8所示，也可以使第二清洗液2从一个壁面溢出。此外，除了图7及图8所示的例子之外，也可以从第二清洗槽20a的所有的壁面溢出。

在图7及图8中，a表示向第二清洗液2投入被清洗物3的位置，b表示从第二清洗液2取出被清洗物3的位置。从减小第二清洗槽20a的设置空间这样的观点出发，图8所示的从一个壁面的溢出是有利的，从第二清洗液2的净化效率这样的观点出发，图7所示的从两个壁面的溢出是有利的。

此外，在由于设置空间的限制而从一个壁面溢出的情况下，为了防止污染物再次附着于被清洗物3，优选的是，第二清洗槽20a内的第二清洗液2的液面2a从被清洗物取出位置b向被清洗物投入位置a的方向流动。因此，如图8所示，从接近被清洗物投入位置a的壁面溢出。

另外，在本实施方式3中，将从第二清洗槽20a溢出的第二清洗液2经由第二回收沟20c回收到第二回收槽22，但也可以不经由第二回收沟20c。另外，采用了溢出作为第二清洗液2从第二清洗槽20a向第二回收槽22的移动方法，但移动方法不限定于此，也可以是其他方法。

根据本实施方式3，除了与上述实施方式1及实施方式2同样的效果之外，通过将净化机构设置于第二清洗槽20a，进一步提高维护性，能够长时间稳定地确保高的清洗力。此外，本发明在其发明的范围内，能够将各实施方式自由地组合，或者能够对各实施方式适当地进行变形、省略。