吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块。所述吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块包括形成有凹槽及开口部的板；剖面为椭圆的气体移送管及固定所述板及所述气体移送管的固定部，因此能够提供防止用于晶片盒子的吹扫的气体泄漏，厚度薄且干涉小，因此能够适用于现有的各制造公司的装载端口，性能提升的吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块。

技术研发人员：吴丞倍;金英一
受保护的技术使用者：罗泽系统株式会社
技术研发日：2017.06.28
技术公布日：2018.01.12