一种用于超纯水制取的水封箱装置的制作方法

本实用新型涉及超纯水制造技术领域，特别是一种用于超纯水制取的水封箱装置。

背景技术：

超纯水，是一种其中既将导电介质几乎完全去除，又将其中不解离的胶体物质、气体以及有机物去除至很低程度的水，常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也往往需要用到超纯水。

超纯水的制取和处理是一般工艺很难达到的，其中最需要注意的就是不能够让超纯水直接与空气接触，否则空气中的二氧化碳会迅速溶于水中，导致超纯水的电阻率急剧下降，水质降低，水的利用率也会下降。

技术实现要素：

为解决超纯水处理中防止空气进行接触的问题，本实用新型提供一种用于超纯水制取的水封箱装置。

该用于超纯水制取的水封箱装置具有水封箱，所述水封箱为PP设备，其内部设有隔板，所述隔板将所述水封箱分隔为上箱体和下箱体，所述隔板上设有连通管，所述连通管贯穿所述隔板并且其两端分别位于所述上箱体和所述下箱体的内部；所述上箱体上设有输入口、进气口和补水口，所述上箱体的侧面外部向上伸出有透明的侧管。所述下箱体的侧面外部还设有排放管，所述排放管上设有排水阀。

在使用时，所述水封箱在所述输入口处通过一根溢流管与一个纯水储罐相连接。所述纯水储罐上还设有一个氮封阀。

本实用新型中的水封箱装置能够根据箱内的水位排出或补充氮气或水源，能够确保水封箱内的气体均为不溶于超纯水的氮气并且保持有足够的水量，有效避免超纯水与空气接触的情况出现，保证超纯水的水质，提高水的利用率。

附图说明

图1为超纯水存储系统的结构示意图；

图2为水封箱装置的结构示意图。

图中：水封箱1，隔板2，侧管3，纯水储罐4，上箱体11，下箱体12，连通管21，溢流管41，氮封阀42，输入口111，进气口112，补水口113，排放管121，排水阀122。

具体实施方式

为使本实用新型的技术方案更加清楚明白，下面结合附图具体实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，将超纯水存储在纯水储罐4中，纯水储罐4上还设有一个氮封阀42。纯水储罐4还通过一根溢流管41与水封箱1的输入口111相连接。

如图2所示，水封箱1为PP设备，其内部设有隔板2，隔板2将水封箱1分隔为上箱体11和下箱体12，隔板2上设有一根连通管21，连通管21贯穿隔板2并且其两端分别位于上箱体11和下箱体12的内部。上箱体11上设有输入口111、进气口112和补水口113，其中输入口111可以通过溢流管41与纯水储罐4相连接，进气口112可以输入氮气，补水口113可以注入水源。上箱体11的侧面外部向上伸出有一根透明的侧管3，可以直观地看到里面的水位。水封箱1在不使用时，可以在输入口111、进气口112、补水口113以及侧管3上添加盖子或阀门进行封闭。下箱体12的侧面外部还设有排放管121，排放管121上设有排水阀122。

为了避免纯水储罐4中的超纯水在存储过程中与空气接触而受到污染，平时需要通过氮封阀42向纯水储罐4中输入不溶于超纯水的氮气，以排除纯水储罐4中的空气。而如果纯水储罐4内的水位超过某个值，则会产生溢流，其中所存储的超纯水会通过溢流管41流入到水封箱1中，而纯水储罐4内的氮气也会输入到水封箱1中，并将水封箱1中的空气排除。

纯水储罐4中的超纯水在流入水封箱1时会先流到上箱体11中，而上箱体11和侧管3是相连通的，所以同时也会流入到侧管3中，由于侧管3是透明的，可以通过侧管3直观地观察到里面上箱体11中的水位，如果流入到上箱体11中的超纯水较少导致水位较低，无法将其中的空气有效排出时，可以通过从进气口112向上箱体11中输入氮气以及从补水口113向上箱体11中注入水源的方法保持足够的水量。稳定后，如有需要，还可以将侧管3的末端管口加盖封闭。

而当上箱体11中的水位达到连通管21的顶端位置时，会沿着连通管21流入到下箱体12中，打开排水阀122，当下箱体12中的水位达到排放管121所在的位置时会从排放管121中流出，以保持整个水封箱1中的水位始终处于平衡状态。下箱体12的存在不仅能够使得整个水封箱2能够容纳更多的水量，解决纯水储罐4中的溢流问题，还能够使得流入水封箱1、尤其是上箱体11中的超纯水尽量避免被空气污染，保持水质纯净，提高了水的利用率。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。