清洗装置及清洗设备的制作方法

本实用新型的实施例涉及一种清洗装置及清洗设备。

背景技术：

例如，在液晶显示器的彩膜基板的制备过程中，要多次使用光刻工艺，每次光刻工艺主要包括以下工序：涂布、曝光、显影等。显影的作用主要是利用药液将基板上未被曝光部分的光刻胶清洗掉。清洗后的废液中含有大量的光刻胶成分，生产一段时间后，上述从基板上清洗掉的光刻胶会残留、累积在显影腔室的部件上，造成对相应位置的污染，严重时则会影响生产产品的品质。

上述显影腔室每生产一段时间后就需要对其进行清洗作业。为了满足对显影工艺的要求，显影设备由很多显影腔室组成，故上述需清洗的显影腔室较多。同时，显影腔室内的构造复杂，空间狭窄，人员进行清洗作业时较为困难，作业时间长，需要的人力较多，且清洗效果不理想。

技术实现要素：

本实用新型至少一实施例提供一种清洗装置及清洗设备。该清洗装置可实现在不同位置及不同高度对待清洗设备进行清洗，减少人力，提高清洗效率。

本实用新型至少一实施例提供一种清洗装置，包括：导轨，一端设置在所述导轨上且可沿所述导轨移动的升降杆，设置在所述升降杆内部的供液管路，以及设置在所述升降杆远离所述导轨的一端的端部且与所述供液管路连通的喷嘴，其中，所述升降杆配置为可使所述喷嘴远离或靠近所述导轨。

例如，在本实用新型一实施例提供的清洗装置中，所述升降杆包括第一升降杆、第二升降杆以及连接所述第一升降杆和第二升降杆的连接件；所述第一升降杆的端部设置有所述喷嘴，所述第二升降杆设置在所述导轨上，且所述第一升降杆可相对于所述第二升降杆进行升降运动。

例如，在本实用新型一实施例提供的清洗装置中，所述连接件配置为可旋转从而驱动所述第一升降杆相对于所述第二升降杆进行升降运动。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括内喷头和外喷头。其中，所述内喷头设置在所述外喷头内部，所述喷嘴设置在所述内喷头内部；在所述外喷头上设置有多个第一喷孔，在所述内喷头上设置有多个第二喷孔；所述内喷头和外喷头中至少之一配置为可围绕所述升降杆旋转。

例如，在本实用新型一实施例提供的清洗装置中，所述内喷头的第二喷孔的排布节距和所述外喷头的第一喷孔的排布节距不同。

例如，在本实用新型一实施例提供的清洗装置中，所述内喷头具有环绕设置在所述内喷头外表面上且垂直于所述升降杆轴向的向外凸的滑块，以及所述外喷头具有环绕设置在所述外喷头内表面上且垂直于所述升降杆轴向的向内凹的导槽，其中，所述滑块配置为嵌入在所述导槽内相对于导槽移动。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述升降杆靠近所述导轨的一端的多通阀门，其中，所述多通阀门靠近所述升降杆的一端和所述供液管路连通。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括与所述升降杆靠近所述导轨的一端连接的支杆，其中，所述多通阀门与所述支杆远离所述升降杆的一端连接。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述导轨上的激光测距单元。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述导轨上且可沿导轨移动的支撑架，其中，所述导轨包括多个平行设置的子导轨，所述升降杆支撑在所述支撑架上。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述子导轨之间的导液槽，其中，所述导液槽设置为倾斜式的。

本实用新型至少一个实施例还提供一种清洗设备，具有本实用新型任一实施例所述的清洗装置。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗设备还包括工作室，其中，所述工作室的壁上设置有开口，所述开口可允许所述清洗装置通过以至少部分进入到所述工作室内。

例如，在本实用新型一实施例提供的清洗设备中，在所述开口处设置有挡板以打开或关闭所述开口。

例如，本实用新型一实施例提供的清洗设备还包括至少一个外部管路，其中，所述外部管路连接到所述清洗装置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。

图1a为本实用新型一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图1b为图1a中所示清洗装置在第一升降杆下降时的剖面示意图；

图2a为本实用新型另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图2b为内喷头和外喷头的放大示意图；

图3a为第一喷孔和第二喷孔在第一位置时的相对位置示意图；

图3b为第一喷孔和第二喷孔在第二位置时的相对位置示意图；

图3c为第一喷孔和第二喷孔在第三位置时的相对位置示意图；

图4为本实用新型另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图5为本实用新型另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图6a为本实用新型另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图6b为图6a的侧视剖面示意图；

图6c为本实用新型另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；

图7a为本实用新型一实施例提供的清洗设备在非工作状态时的示意图；

图7b为本实用新型一实施例提供的清洗设备在工作状态时的示意图；

图8为本实用新型一实施例提供的清洗装置在显影腔室中的示意图。

附图标记：

1-清洗装置； 11-导轨；

111-第一子导轨； 112-第二子导轨；

12-升降杆； 121-第一升降杆；

122-第二升降杆； 123-连接件；

13-喷嘴； 14-供液管路；

15-支撑架； 21-内喷头；

211-滑块； 212-第二喷孔；

22-外喷头； 221-导槽；

222-第一喷孔； 23-第一旋转结合部；

24-第二旋转结合部； 31-多通电磁阀；

32-支杆； 33-外部管路；

331-纯水管路； 332-清洗液管路；

333-压缩气体管路； 41-导液槽；

42-激光测距单元； 43-排液管路；

44-软管； 5-显影腔室；

51-显影腔室底板； 52-挡板；

53-滚轮； 54-滚轮支撑杆

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

本实用新型至少一实施例提供一种清洗装置以及具有该清洗装置的清洗设备。该清洗装置包括：导轨、一端设置在导轨上且可沿导轨移动的升降杆、设置在升降杆内部的供液管路以及设置在升降杆远离导轨的一端的端部且与供液管路连通的喷嘴。该升降杆配置为可使喷嘴远离或靠近导轨。

该清洗装置可实现在不同位置及不同高度对待清洗设备进行清洗，减少人力，提高清洗效率。

下面通过几个实施例进行说明。

实施例一

本实施例的一个示例提供一种清洗装置，如图1a所示，该清洗装置包括：导轨11、一端设置在导轨11上且可沿导轨11移动的升降杆12、设置在升降杆12内部的供液管路14，以及设置在升降杆12远离导轨11的一端的端部且与供液管路14连通的喷嘴13。升降杆12配置为可使喷嘴13远离或靠近导轨11。

例如，如图1a所示，清洗装置的最下方设置有导轨11，升降杆12的一端设置在导轨11上且可沿导轨11的轨道方向移动。导轨11的轨道延伸方向根据待清洗设备的构造进行设置，以下各实施例与此相同。导轨11可以为各种适用的类型，本公开对此不作限制。

例如，如图1a所示，在升降杆12的内部设置有至少一个供液管路14，在升降杆12远离导轨11的一端的端部设置有喷嘴13，喷嘴13的底部与供液管路14连通。

在本实施例提供的清洗装置中，如图1a所示，喷嘴13设计可以为柱形，当然本实用新型包括但并不限于此，例如，喷嘴13还可设计为球形等其他形状。喷嘴13上具有多个开孔，图中未示出，例如，多个开孔可均匀分布在喷嘴上。例如，喷嘴13可采用耐磨的陶瓷材料等，但不限于此。以下各实施例与此相同。

在本实施例提供的清洗装置中，如图1a所示，喷嘴13中的清洗液由升降杆12中的供液管路14供给，然后经由喷嘴上的多个开孔喷出。通过升降杆12在导轨11上的移动带动喷嘴13，同时升降杆12还可以在其延伸方向上升降，由此可以实现在不同位置对待清洗设备进行清洗。

例如，在本实施例的另一个示例中，如图1a所示，升降杆12包括第一升降杆121、第二升降杆122以及连接第一升降杆121和第二升降杆122的连接件123。喷嘴13设置在第一升降杆121远离导轨11的一端的端部，第二升降杆122设置在导轨11上，第一升降杆121可相对于第二升降杆122进行升降运动，即升降杆12配置为可使喷嘴13远离或靠近导轨11。

例如，如图1a所示，可通过连接件123的旋转从而驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122进行升降运动，例如连接件123和第一升降杆121构成螺旋副，例如连接件123可被机械驱动或电机驱动。例如，连接件123顺时针旋转时，驱动第一升降杆相对于第二升降杆上升以使喷嘴13远离导轨11，例如，连接件123逆时针旋转时，驱动第一升降杆相对于第二升降杆下降以使喷嘴13靠近导轨11，图1b所示即为第一升降杆121相对于第二升降杆122下降时的示意图。

当然，上述描述的通过连接件的旋转驱动第一升降杆相对于第二升降杆进行升降运动，是本实用新型中升降杆配置为可使喷嘴远离或靠近导轨的一种具体示例，本实用新型包括但不限于此。例如，升降杆可设置为伸缩式的，通过升降杆的伸缩使喷嘴远离或靠近导轨。

在本实施例中，通过升降杆在导轨上的移动带动喷嘴，从而实现在不同位置对待清洗设备的清洗。通过连接件的旋转使喷嘴远离或靠近导轨，从而实现喷嘴在不同高度对待清洗设备的清洗。

实施例二

本实施例的一个示例提供一种清洗装置，如图2a所示，该清洗装置同样包括：导轨11、一端设置在导轨11上且可沿导轨11移动的升降杆12、设置在升降杆12内部的供液管路14以及设置在升降杆12远离导轨11的一端的端部且与供液管路14连通的喷嘴13。升降杆12包括第一升降杆121、第二升降杆122以及连接第一升降杆121和第二升降杆122的连接件123。喷嘴13设置在第一升降杆121远离导轨11的一端的端部，第二升降杆122设置在导轨11上，可通过连接件123的旋转从而驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122进行升降运动。有关导轨11、升降杆12以及喷嘴13的描述可参见实施例一中描述，在此不再赘述。

例如，如图2a所示，本实施例的清洗装置，与实施例一相比还包括内喷头21和外喷头22。内喷头21设置在外喷头22内部，喷嘴13设置在内喷头21内部。在外喷头22上设置有多个第一喷孔，在内喷头21上设置有多个第二喷孔，第一喷孔和第二喷孔在图中未示出。内喷头21和外喷头22中至少之一配置为可围绕升降杆12的轴线旋转。

在本实施例提供的清洗装置中，如图2b所示，图2b为图2a中所示内喷头21和外喷头22的放大示意图。内喷头21和外喷头22设计为球形，当然本实用新型包括但并不限于此，例如，内喷头21和外喷头22可设计为椭球形等其他形状。

例如，如图2b所示，在喷嘴13外侧安装内喷头21和外喷头22，内喷头21罩在喷嘴13外侧，外喷头22罩在内喷头22外侧，即内喷头21设置在外喷头22内部，喷嘴13设置在内喷头21内部。

例如，如图2a和2b所示，内喷头21通过升降杆12顶部安装的第一旋转结合部23与升降杆12连接，外喷头22通过升降杆12顶部安装的第二旋转结合部24与升降杆12连接。例如，第一旋转结合部23和第二旋转结合部24例如为卡接方式，并且可通过电机、压缩气体等方式驱动。

在一个示例中，第一旋转结合部23和第二旋转结合部24均可围绕升降杆12旋转且彼此独立，从而第一旋转结合部23和第二旋转结合部24可分别带动内喷头21和外喷头22围绕升降杆12旋转。例如，可通过独立的驱动可以分别控制第一旋转结合部23和第二旋转结合部24围绕升降杆12旋转的转速，从而分别带动内喷头21和外喷头22以不同的转速围绕升降杆12旋转，进而实现内喷头21和外喷头22的相对运动。例如，第一旋转结合部23固定不动，第二旋转结合部24旋转；例如，第二旋转结合部24固定不动，第一旋转结合部23旋转；又例如，第一旋转结合部23和第二旋转结合部24均旋转，且转速不同。

当然，上述描述的通过第一旋转结合部和第二旋转结合部的旋转分别带动内喷头和外喷头围绕升降杆旋转，是本实用新型中内喷头和外喷头中至少之一配置为可围绕升降杆旋转的一种具体示例，本实用新型包括但不限于此。

在本实施例提供的清洗装置中，为便于装置维护，内喷头和外喷头均设计成可打开以暴露内喷头和外喷头内部的方式，例如，内喷头的上下部分可拧下便于检查和清洗内喷头内部，外喷头的上下部分可拧下便于检查和清洗外喷头内部。

例如，在本实施例的另一个示例中，如图2b所示，内喷头21具有环绕设置在内喷头21外表面上且垂直于升降杆12的轴向的向外凸的滑块211，外喷头22具有环绕设置外喷头22内表面上且垂直于所述升降杆12轴向的向内凹的导槽221，滑块211配置为嵌入在导槽221内相对于导槽221移动。

例如，如图2a和2b所示，当升降杆12上的第一旋转结合部23和第二旋转结合部24以不同的转速围绕升降杆12转动时，内喷头21和外喷头22则会做相对运动。此时，内喷头21外表面上的滑块211即会沿着外喷头22内表面的导槽221移动，即滑块211配置为嵌入在导槽221内相对于导槽221移动。滑块211和导槽221的设置，提高了内喷头21和外喷头22在相对运动过程中的稳定性，避免内外喷头在相对高速运动时造成位置偏差。

需要说明的是，本实用新型的各实施例中，内外喷头表示内喷头21和外喷头22，以下各实施例与此相同。

例如，在本实施例的另一个示例中，如图3a、3b和3c所示，内喷头21上的第二喷孔212的排布节距和外喷头22上的第一喷孔222的排布节距不同。

例如，如图3a、3b和3c所示，为了便于说明，将内外喷头同一高度的喷孔分成两排且展开在纸面上进行描述，上排为内喷头21的第二喷孔212，分别编号为1，2，3…7，下排为外喷头22的第一喷孔222，分别编号为A，B，C…I，J。当上下两排喷孔重合时(即图中上下两排喷孔用空心圆示出时)，表示内外喷头的喷孔是重合的，此时内喷头21中的清洗液可以由内喷头中喷出以实现对待清洗设备的清洗；当上下两排喷孔错开时(即图中上下两排喷孔用实心圆示出时)，表示内外喷头的喷孔是不重合的，此时内喷头21中的清洗液不能由内喷头中喷出，无法对待清洗设备进行清洗。

例如，第一喷孔和第二喷孔的排布可以满足以下原则：第一喷孔和第二喷孔的排布节距不同，且当内外喷头在相对运动过程中实现部分错开。即当内外喷头在第一位置时第一喷孔和第二喷孔中一部分是重合的，而另一部分则是错开的，此时可实现内喷头里的清洗液从上述重合的喷孔喷出。当内外喷头相对运动到第二外置时，原来在第一位置时部分重合的喷孔错开，实现不连通，而原来在第一位置错开的喷孔此时是重合的，则可实现清洗液从重合的喷孔处喷出。具体说明如下。

当内外喷头在图3a所示的第一位置时，内喷头的喷孔1与外喷头的喷孔A重合，此时清洗液由外喷头的喷孔A喷出，以此类推，3和D、4和E、6和H、7和I重合。此时清洗液分别从外喷头的喷孔A、D、E、H、I中喷出，从而对待清洗设备进行清洗。

当内外喷头发生相对运动时，为便于说明，假设内喷头不动，外喷头相对内喷头向左运动。当内外喷头在图3b所示的第二位置时，喷孔1和B、2和C、4和F、5和G、7和J重合，此时清洗液分别从外喷头的喷孔B、C、F、G、J中喷出，从而对待清洗设备进行清洗。

当内外喷头在图3c所示的第三位置时，喷孔2和D、3和E、5和H、6和I重合，此时清洗液分别从外喷头的喷孔D、E、H、I中喷出，从而对待清洗设备进行清洗。

上述第一喷孔和第二喷孔的排布方式，可以在内外喷头相对运动的过程中，实现外喷头中部分的喷孔有清洗液喷出，从而对待清洗设备进行清洗。且上述可喷出清洗液的喷孔间隔排布，以确保外喷头的一周都有清洗液喷出。

例如，外喷头上的第一喷孔设计成与外喷头垂直的角度，此方式可实现从第一喷孔喷出的清洗液相对于待清洗设备成多个角度，从而使清洗液能在较大范围对待清洗设备的不同部位进行清洗，提高清洗效果。

通过上述第一喷孔和第二喷孔位置的排布方式，当内外喷头相对运动时，内外喷头上的喷孔不断变换重合和错开的状态，当内外喷头的喷孔重合时，内喷头中的清洗液则会沿重合的喷孔喷出，当内外喷头的喷孔错开时，内喷头里的清洗液则不会喷出。当上述内外喷头快速相对运动时，内外喷头上的喷孔在重合与错开之间相互交替，此时内喷头中的清洗液即会间断地喷出，以实现对待清洗设备表面间断性的冲击清洗。上述方式可实现清洗液喷到待清洗设备表面时有一定的冲击力，可提高对待清洗设备表面的清洗效果。

本实施例中其他部分的技术效果参见上述实施例一描述的相应技术效果，在此不再赘述。

实施例三

本实施例提供一种清洗装置，如图4所示，该清洗装置同样包括：导轨11、一端设置在导轨11上且可沿导轨11移动的升降杆12、设置在升降杆12内部的供液管路14、以及设置在升降杆12远离导轨11的一端的端部且与供液管路14连通的喷嘴13。升降杆12包括第一升降杆121、第二升降杆122以及连接第一升降杆121和第二升降杆122的连接件123。喷嘴13设置在第一升降杆121远离导轨11的一端的端部，第二升降杆122设置在导轨11上，可以通过连接件123的旋转从而驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122进行升降运动。有关导轨11、升降杆12以及喷嘴13的描述可参见实施例一中描述，在此不再赘述。

例如，如图4所示，该清洗装置还可包括与升降杆12靠近导轨11的一端连接的支杆32以及与支杆32远离升降杆12的一端连接的多通阀门，例如多通电磁阀31。该支杆32例如横向延伸，但不限于此。供液管路14从升降杆12中延伸至支杆32中并与多通电磁阀31连通。该例如多通电磁阀31的多通阀门可以对多个通路的导通和截止分别进行控制。

例如，如图4所示，多通电磁阀31的一端与支杆32中的供液管路14连通，另一端与外部管路33连通，外部管路33包括但不限于纯水管路331、清洗液管路332、压缩气体管路333等。例如，外部管路33的个数可以根据需要进行设置，但不限于此。例如，上述三个外部管路的另一端分别与动力端的相应管路连通，图中未示出。

例如，当需要对待清洗设备清洗时，控制多通电磁阀接通清洗液管路，清洗液经由支杆和升降杆中的供液管路到达喷嘴，然后再经由内外喷头上的喷孔喷出，以对待清洗设备进行清洗。清洗结束后，控制多通电磁阀接通纯水管路，对待清洗设备进一步冲洗。上述接通清洗液管路和纯水管路进行清洗时，均可同时接通压缩气体管路与清洗液管路或纯水管路混合对待清洗设备进行清洗，此方式形成的气液混合流体可达到更好的清洗效果。

需要说明的是，上述清洗方式只是一种示例，但本实施例并不限于此，清洗方式可以根据需要进行组合。例如，可以将清洗液清洗和纯水清洗多次交替进行，以达到更好的清洗效果。

例如，外部管路为高压(0.3MPa以上)供给，可在外部管路与多通电磁阀之间设置一个可调节的压力阀门，以调节由动力端供给的液体或气体的压力，以达到更好的清洗效果。

在本实施例中，清洗装置在工作过程中需沿导轨移动，则上述与多通电磁阀连接的三条外部管路即纯水管路、清洗液管路以及压缩气体管路也会随之移动。例如，可在三条外部管路处设置供其移动的结构，例如坦克链等结构，由此一方面便于外部管路移动，另一方面可避免外部管路移动时发生弯折损坏。

在本实施例中，清洗装置在清洗过程的不同时间段，通过控制多通电磁阀接通一个或同时接通多个外部管路，以选择不同的清洗方式对待清洗设备进行清洗。不同的清洗方式共用一组供液管路以及喷嘴以对待清洗设备进行清洗。

本实施例中其他部分的技术效果，参见上述实施例一描述的相应技术效果，在此不再赘述。

实施例四

本实施例的一个示例提供一种清洗装置，如图5所示，该清洗装置同样包括：导轨11、一端设置在导轨11上且可沿导轨11移动的升降杆12、设置在升降杆12内部的供液管路14以及设置在升降杆12远离导轨11的一端的端部且与供液管路14连通的喷嘴13。升降杆12包括第一升降杆121、第二升降杆122以及连接第一升降杆121和第二升降杆122的连接件123。喷嘴13设置在第一升降杆121远离导轨11的一端的端部，第二升降杆122设置在导轨11上，可以通过连接件123的旋转从而驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122进行升降运动。有关升降杆12以及喷嘴13的描述可参见实施例一中描述，在此不再赘述。

本实施例提供的清洗装置和实施例一中提供的清洗装置的区别在于，该清洗装置包括多个平行设置的子导轨以及设置在导轨上且可沿导轨移动的支撑架。

例如，如图5所示，该清洗装置包括两个平行设置的子导轨，分别为第一子导轨111和第二子导轨112。支撑架15的两端分别与两个子导轨连接，且支撑架15可沿导轨11移动。升降杆12支撑在支撑架15上，支撑架15可带动升降杆12沿导轨11移动。

当然，上述描述的平行设置两个子导轨，是本实用新型中导轨包括多个平行设置的子导轨的一种具体示例，本实用新型包括但不限于此。

在本实施例中，平行设置两个子导轨且在两个子导轨之上架设一支撑架，支撑架可沿导轨移动。升降杆支撑在支撑架上，在支撑架的带动下可沿导轨移动。上述方式可提高清洗装置在移动过程中的稳定性，避免清洗装置在对待清洗设备清洗时出现位置偏差。

例如，在本实施例的另一个示例中，如图5所示，该清洗装置还包括设置在第一子导轨111和第二子导轨112之间的导液槽41，例如导液槽41设置为倾斜式的，例如倾斜角度设置为5°，又例如倾斜角度设置为10°，再例如倾斜角度设置为5°～10°之间的任一角度。在导液槽41较低的一端设置有排液管路，图中未示出。

在本实施例中，在子导轨之间设置一倾斜式的导液槽，滴落至导液槽中的清洗液等液体可及时的由排液管路排走，避免了清洗液滴落至清洗装置下方造成污染。

本实施例中其他部分的技术效果，参见上述实施例一描述的相应技术效果，在此不再赘述。

实施例五

本实施例的一个示例提供一种清洗装置，如图6a所示，该清洗装置包括两个平行设置的子导轨，分别为第一子导轨111和第二子导轨112。支撑架15的两端分别与两个子导轨连接，且支撑架15可沿导轨移动。升降杆12支撑在支撑架15上，支撑架15可带动升降杆12沿导轨移动。

如图6a所示，该清洗装置包括设置在升降杆12内部的供液管路14，以及设置在升降杆12远离导轨11的一端的端部且与供液管路14连通的喷嘴13。升降杆12包括第一升降杆121、第二升降杆122以及连接第一升降杆121和第二升降杆122的连接件123。喷嘴13设置在第一升降杆121远离导轨11的一端的端部，第二升降杆122设置在导轨11上，可以通过连接件123的旋转从而驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122进行升降运动。

如图6a所示，该清洗装置还包括内喷头21和外喷头22。其中，内喷头21设置在外喷头22内部，喷嘴13设置在内喷头21内部。在外喷头22上设置有多个第一喷孔222，在内喷头21上设置有多个第二喷孔212。内喷头21和外喷头22中至少之一配置为可围绕升降杆12旋转。内喷头21上的第二喷孔212的排布节距和外喷头22上的第一喷孔222的排布节距不同。

内喷头21具有环绕设置在内喷头21外表面上且垂直于升降杆12轴向的向外凸的滑块211，以及外喷头22具有环绕设置外喷头22内表面上且垂直于所述升降杆12轴向的向内凹的导槽221，其中，滑块211配置为嵌入在导槽221内相对于导槽221移动。

如图6a所示，该清洗装置还包括与升降杆12靠近导轨11的一端连接的支杆32，以及与支杆32远离升降杆12的一端连接的多通电磁阀31。供液管路14从升降杆12中延伸至支杆中并与多通电磁阀31连通。

多通电磁阀31的一端与支杆32中的供液管路14连通，另一端与外部管路33连通，外部管路33包括但不限于纯水管路331、清洗液管路332和压缩空气管路333。

图6b是图6a的侧视示意图。例如，如图6a和6b所示，该清洗装置还包括设置在第一子导轨111和第二子导轨112之间的导液槽41，导液槽41设置为倾斜式的，例如，倾斜角度设置为5°，例如倾斜角度设置为10°，又例如倾斜角度设置为5°～10°之间的任一角度。在导液槽41较低的一端设置有排液管路43。

在子导轨之间设置一倾斜式的导液槽，滴落至导液槽中的清洗液可及时的由排液管路排走，避免了清洗液滴落至清洗装置下方造成污染。

例如，如图6b所示，该清洗装置还可包括设置在所述导轨上的测距装置，例如激光测距单元42，激光测距单元42可设置在第一子导轨或第二子导轨的任意一端，例如，设置在第一子导轨的一端，又例如，设置在第二子导轨的一端。该清洗装置沿导轨移动的距离通过设置在导轨上的激光测距单元精确控制，以实现清洗装置的精确定位。

下面具体描述该清洗装置的工作流程：

首先，控制支撑架带动升降杆上的内外喷头沿导轨移动到指定位置，控制连接件的旋转使内外喷头上升或下降至指定高度。

然后，控制多通电磁阀接通一个或同时接通多个外部管路，接通的外部管路中的液体、气体或气液混合流体通过供液管路以及喷嘴到达内喷头中。

最后，通过内喷头及外喷头的相对运动以及内外喷头上的喷孔位置的排布，实现内喷头中的液体、气体或气液混合流体间断性的喷出，从而对待清洗设备表面进行间断性清洗。

清洗过程中，可随时调整内外喷头所处的位置及高度以实现对待清洗设备不同位置处的清洗。清洗过程中，可随时控制多通电磁阀以选择可连通的外部管路，即选择不同的清洗方式对待清洗设备进行清洗。

例如，在本实施例的另一个示例中，如图6c所示，供液管路14包括一段设计为盘旋状的软管44，该软管44位于第二升降杆122中。当第一升降杆121需要上升或下降时，连接件123旋转以驱动第一升降杆121相对于第二升降杆122上升或下降，此时，位于第二升降杆122中的软管44随着连接件123的旋转，成盘旋状伸长或收缩。采用此方式可实现第一升降杆121上升或下降时，供液管路14也随之上升或下降，同时盘旋式上升或下降可避免供液管路14的弯折，延长供液管路14的使用寿命。

当然，上述供液管路14中软管44的设置位置不限于此，例如，软管44可设置在第一升降杆121中，又例如，软管44可同时设置在第一升降杆121和第二升降杆122中。

本实施例提供的清洗装置的其他技术效果参见上述实施例一、二、三、四中描述的清洗装置的技术效果，在此不再赘述。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中关于清洗装置的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的清洗装置的实施例，本实用新型对此不进行限定。

实施例六

本实施例提供一种清洗设备，该清洗设备具有上述任一实施例所述的清洗装置。

例如，如图7a和7b所示，该清洗设备还包括作业腔室，例如显影腔室5。显影腔室底板51上设置有开口，开口可允许清洗装置1通过以至少部分进入到显影腔室5内，在开口处设置有挡板52以打开或关闭开口。

需要说明的是，上述显影腔室是本实用新型中工作室的一种具体示例，本实用新型包括但不限于此。

如图7a和7b所示，清洗装置1在清洗显影腔室5的过程中，会有部分清洗液沿升降杆滴落至显影腔室底板51的下方。为避免此情况的发生，在显影腔室底板51上设计档板52，当清洗装置1从显影腔室底板51下方上升时，档板52打开，打开的间隙足够外喷头通过，然后，档板52相互靠近，减小显影腔室底板51的开口间隙，维持升降杆能自由升降即可。此方式可减少在清洗过程中清洗液滴落至显影腔室底板51的下方。同时为避免部分清洗液滴落至清洗设备下方，在清洗装置1的子导轨之间设置有导液槽41，导液槽41的宽度大于档板52的开口宽度，以确保从档板52开口间隙滴落的清洗液均能滴落至导液槽41中。关于导液槽41的其他描述参见实施例五中相应描述，在此不再赘述。

例如，该清洗设备还包括至少一个外部管路33，外部管路33连接到清洗装置，例如通过多通阀门与清洗装置之中的供液管路连通。如上所述，外部管路33包括但不限于纯水管路331、清洗液管路332、压缩气体管路333等。例如，外部管路33的个数可以根据需要进行设置，但不限于此；例如，上述三个外部管路的另一端分别与动力端的相应管路连通，图中未示出。

下面具体描述该清洗设备的工作流程：

当需要清洗时，档板打开，清洗装置的升降杆上升，带动内外喷头升至显影腔室底板上方即显影腔室内部，以实现对显影腔室内部待清洗设备的清洗。当清洗完毕后，清洗装置的升降杆下降，带动内外喷头降至显影腔室底板的下方，之后档板闭合，清洗装置与显影腔室分离，相对独立，不影响显影腔室的正常工作。清洗装置具体的工作流程参见实施例五中相应描述，在此不再赘述。

例如，如图8所示，显影腔室中还设置有滚轮53和滚轮支撑杆54。图中示出了4排滚轮，清洗装置1设置在显影腔室5的每两排滚轮之间。清洗装置1的数量可根据显影腔室5的空间以及清洗装置1清洗的距离进行设置，以确保整个显影腔室均能被清洗到。

在本实施例中，该清洗设备还包括一控制系统。控制系统控制清洗设备的所有单元的动作，例如，控制清洗装置的移动以及连接件的旋转角度，例如，控制多通电磁阀以实现一个或多个外部管路的连通，例如，控制内外喷头相对于升降杆旋转的转速，又例如，控制挡板的打开或关闭。上述所有的控制动作均可通过设计在操作面板上的按钮来实现，以提高清洗设备的操控便捷性。

例如，升降杆上升或下降的高度通过上述控制系统控制。连接件旋转的角度与升降杆上升或下降的高度之间的关系通过程序设计好，当需要升降杆上升或下降时，只需在操作面板中指定位置输入需要上升或下降的具体高度数值，控制系统会自动转换成连接件需要顺时针或逆时针旋转的具体角度数值，进而控制连接件的旋转，最终实现升降杆上升或下降指定高度。

该控制系统例如可以包括处理器以及存储介质，该存储介质上存储有计算机可执行程序，该计算机可执行程序被所述处理器执行时可以控制相应的输入输出设备，以实现数据采集、部件操作、数据输出等。

需要说明的是，为表示清楚的目标的，本公开并没有给出该清洗设备的全部结构。为实现清洗设备的必要功能，本领域技术人员可以根据具体应用场景进行设置其他未示出的结构，本实用新型对此不做限制。本实施例中清洗装置的技术效果参见实施例一、二、三、四、五中描述的清洗装置的技术效果，在此不再赘述。

本实用新型的至少一个实施例提供一种清洗装置以及具有该清洗装置的清洗设备，该清洗装置以及具有该清洗装置的清洗设备可具有以下至少一项有益效果：

(1)本实用新型至少一实施例提供的清洗装置可实现对待清洗设备的不同位置及不同高度进行清洗。

(2)本实用新型至少一实施例提供的清洗装置可实现对待清洗设备的间断性清洗，使喷到待清洗设备表面的清洗液具有一定的冲击力，提高清洗效果。

(3)本实用新型至少一实施例提供的清洗装置可实现在清洗过程中的不同时间段，采用不同的清洗方式，并共用一组供液管路以及喷嘴以对待清洗设备进行清洗。

(4)本实用新型至少一实施例提供的清洗装置可实现对清洗位置及清洗高度的精确控制。

有以下几点需要说明：

(1)本实用新型实施例的附图只涉及到与本实用新型实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本实用新型实施例的附图中，有些区域被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。

(3)在不冲突的情况下，本实用新型实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。