技术特征：
技术总结
本发明提供一种显影废液处理装置和处理方法，其在后段作为高度精制处理而进行浓缩/冷却析晶处理，从而能够获得可作为显影液而再利用的高纯度回收液。显影废液处理装置1由前段冷却析晶单元2a和后段冷却析晶单元2b构成，所述后段冷却析晶单元2b对利用前段冷却析晶单元2a进行了回收精制的回收液进行高度精制处理。前段冷却析晶单元2a和后段冷却析晶单元2b均以进行“浓缩→冷却析晶→晶体分离→溶解”这一系列处理的方式构成。前段冷却析晶单元2a具有前段浓缩装置3a、前段冷却析晶装置4a、前段固液分离装置5a、溶解装置6a、前段滤液罐7a。后段冷却析晶单元2b具有后段浓缩装置3b、后段冷却析晶装置4b、后段固液分离装置5b、溶解罐6b、后段滤液罐7b。
技术研发人员：平野悟;滨村秀树;藤原义浩
受保护的技术使用者：笹仓机械工程有限公司
技术研发日：2018.08.29
技术公布日：2019.03.22