一种新型喷水滚轴的制作方法

本实用新型涉及光伏制造业单\多晶链式制绒\刻蚀工序的清洗技术领域，具体是一种新型喷水滚轴。

背景技术：

目前光伏行业中，单\多晶制绒刻蚀工序需要对片子进行多道清洗，以清除片子表面残留的各种药液、金属杂质等，以水洗为例：传统清洗方式是使用纯水浸泡，或者加装特殊水刀进行喷淋清洗。纯浸泡清洗虽然效果最佳，但是耗水量大，而且对设备槽体要求较高；采取水刀喷淋模式，硅片上表面因可以短时间内聚集足够量的水，能够勉强满足清洗要求。下水刀虽可以喷淋，但是片子下表面因重力以及滚轴挤压双重作用，粘附的纯水很快脱落，清洗不充分，若为提升清洗效果而加大喷淋量，则会严重影响片子行进方向，造成片子走歪，因此清洗效果大打折扣，如果出现叠片情况，下表面清洗效果更糟。总之，在当前喷淋清洗模式下，每组水刀的清洗效率低，而为了提升清洗效果，只能增加水刀数量，增加成本。

技术实现要素：

本实用新型为解决现有链式制绒\刻蚀设备中硅片清洗效果不佳及成本高的问题，提供一种新型喷水滚轴，其具备承载硅片和清洗硅片下表面两种作用，可辅助当前下水刀(或下酸碱刀)清洗，或者完全替代下水刀。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种新型喷水滚轴，所述喷水滚轴为内外双层结构，内层为通水管路，外层为滚轴主体，所述通水管路的左端位于滚轴主体之内且与滚轴主体的左端之间通过第一轴承连接，通水管路的右端位于滚轴主体外且与外接水阀连接；通水管路位于滚轴主体内的管道上设置有内喷淋孔，滚轴主体上设置有外喷淋孔；滚轴主体的左端与连接轴右端固接，右端与齿轮固接，齿轮与通水管路之间通过第二轴承连接；连接轴左端与旋转滑轮通过第三轴承连接；

工作时，所述齿轮与机器传动装置连接，旋转滑轮放置于机器卡槽内起到固定作用；所述机器指多晶制绒清洗机或多晶刻蚀清洗机，或半导体行业中其它类似机器；机器传动装置带动齿轮转动，齿轮带动滚轴主体和连接轴转动，连接轴与旋转滑轮之间设置有第三轴承，因此连接轴可以在滑轮内旋转；工作过程中，通水管路不动，滚轴主体在齿轮带动下可以旋转。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的一种新型喷水滚轴，所述喷水滚轴的喷淋量大小通过水阀开度调节。

前述的一种新型喷水滚轴，外喷淋孔的孔径为1-3mm，相邻孔的间距为1-3mm，孔与孔之间等间距排列。

前述的一种新型喷水滚轴，所述内喷淋孔的孔径沿水流动的方向依次增大，内喷淋孔的最小孔径为1-3mm，孔与孔之间等间距排列，相邻孔的间距为1-3mm。

前述的一种新型喷水滚轴，所述内喷淋孔的孔径按照最小孔径为1mm，公差为0.2mm等差数列的递增规律沿水流动的方向依次递增，以达到稳压效果。

前述的一种新型喷水滚轴，所述内喷淋孔与外喷淋孔错位设置。

本实用新型中的喷水滚轴与常规滚轴相比，其表面存在多处喷淋孔，工作时滚轴照常转动，水(或酸碱液体)从喷淋孔喷出，达到润洗硅片下表面的目的。现有技术中，制绒、刻蚀机的硅片是通过上百根滚轴的滚动进行传输，不同槽配不同的滚轴，如单个清洗槽内大约有15-20根滚轴，现有技术的滚轴只是起到传输的作用，各种酸、碱、水刀提供的清洗液只能清洗硅片的上表面(也就是不直接与滚轴接触的一面)，下表面清洗效果相对较差。

本实用新型的设计，将滚轴设计成出水形式的滚轴，同时起到传输硅片和清洗硅片下表面的作用。在运行过程中，由于滚轴数量多，硅片在每一根滚轴处均能进行一次下表面清洗，大大增强了清洗效果。此外，滚轴转动时，水(或酸、碱液体)依靠惯性跟随滚轴从动，当通过阀门控制好进水量后，在上水刀(或上酸、碱刀)和下喷水滚轴之间形成一个密集喷淋区域，清洗效果大大增强，由于滚轴数量足够多，个别滚轴若出现部分喷淋孔堵塞，也不会影响总体清洗效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的右视图。

【元件符号说明】

1：通水管路 2：滚轴主体 3：内喷淋孔 4：外喷淋孔 5：齿轮

6：旋转滑轮 7：第一轴承 8：第二轴承 9：连接轴 10：第三轴承

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的一种新型喷水滚轴，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

本实用新型的新型喷水滚轴为内外双层结构，内层为通水管路1，外层为滚轴主体2，如图1所示，通水管路的左端位于滚轴主体之内且与滚轴主体左端之间通过第一轴承7连接，通水管路1的右端位于滚轴主体外且与外接水阀连接，通水管路1位于滚轴主体内的管道上设置有内喷淋孔3，滚轴主体上设置有外喷淋孔4。滚轴主体右端与齿轮5固接，滚轴主体左端与连接轴9固接，连接轴9与旋转滑轮6通过第三轴承10连接；齿轮5与通水管路之间通过第二轴承8连接。

工作时，齿轮5与机器传动装置连接，旋转滑轮6放置于机器卡槽内起到固定作用，此时，机器传动装置带动齿轮转动，外层滚轴主体在齿轮带动下开始旋转，连接轴9随滚轴主体2转动，工作中通水管路1不动，纯水进入通水管路，并凭借自身压力通过内喷水孔喷出然后通过外喷水孔喷出对硅片下表面进行清洗，喷淋量可通过水阀开度调节。外层的滚轴主体边旋转边喷水，起到输送硅片和对硅片下表面清洗的作用。硅片上表面仍通过传统的水刀喷淋模式清洗。

较佳地，内喷淋孔与外喷淋孔应错位设置，外喷淋孔的孔径为1mm，相邻孔的中心间距为1.5-2mm，孔与孔之间等间距排列；内喷淋孔的孔径沿水流动的方向依次增大，最小孔径可以为1-3mm，孔与孔之间等间距排列，相邻孔的间距为1.5-2mm。内喷淋孔的孔径可以按照第一圈为1mm，第二圈为1.2mm，第三圈为1.4mm的规律(即最小孔径为1mm，公差为0.2mm等差数列的递增规律)沿水流动的方向依次递增。

本实用新型的喷水滚轴可在平稳传输硅片的同时，对硅片进行不间断清洗，尤其是下表面，部分或完全替代固定位置的酸、碱、水刀。在运行过程中，由于滚轴数量多，硅片在每一根滚轴处均能进行一次下表面清洗，大大增强了清洗效果。上水刀(或上酸、碱刀)和下喷水滚轴之间形成一个密集喷淋区域，清洗效果大大增强，由于滚轴数量足够多，个别滚轴若出现部分喷淋孔堵塞，也不会影响总体清洗效果。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，利用上述技术内容做出些许更动或修饰的实施例，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。