一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置的制作方法

本实用新型涉及一种半导体晶片检测技术领域，具体的，是一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置。

背景技术：

AOI与人判断原理相同。AOI通过人工光源LED灯光代替自然光，光学透镜和CCD代替人眼，把从光源反射回来的量与已经编好程的标准进行比较、分析和判断。半导体晶片产品进入机台后有AOI(自动光学检测)检测外观与尺寸，若是破片掉落在反光镜上会造成误判从而设备报警停机，操作人员手工清除反光镜上的破片和杂质后再重新启动设备，造成停机耽误时间的同时，增加了操作人员的工作强度，设备的急停，也会造成对设备传动系统的损坏。因此需要一个装置改善在AOI检测的过程中，设备报警停车对设备的损坏，停机清除需要花费大量的工作时间，反光镜表面的破片或者杂质不能能及时清除时本实用新型需要解决的问题。

技术实现要素：

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置，改善在AOI检测的过程中，设备报警停车对设备的损坏，停机清除需要花费大量的工作时间，反光镜表面的破片或者杂质不能能及时清除的缺点。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置，包括AOI光学检测、传送带、承载底座、清洁刷、液压缸；所述AOI光学检测设置在传送带正上方，传送带下方安装有承载底座；所述承载底座上表面安装有清洁刷，承载底座下表面安装有液压缸。

作为本实用新型进一步的方案，所述传送带上设置有半导体晶片，半导体晶片间隔排列。

作为本实用新型进一步的方案，所述承载底座包括第一收集槽、第二收集槽、反光镜、第一导轨、第二导轨；所述第一收集槽、第二收集槽是承载底座上表面的凹槽，第一收集槽、第二收集槽设置在反光镜两边，第一收集槽、第二收集槽与清洁刷平行；所述第一导轨、第二导轨与第一收集槽、第二收集槽垂直设置，第一导轨、第二导轨设置在承载底座的两边。

作为本实用新型进一步的方案，所述清洁刷包括清洁刷横梁、毛刷、第一支架、第二支架、第一滚轮、第二滚轮、传动架、安装卡扣；所述毛刷安装在清洁刷横梁下方，清洁刷横梁一端安装有第一支架，清洁刷横梁另一端安装有第二支架；所述第一支架中间内侧安装有第一滚轮，第二支架中间内侧安装有第二滚轮；所述传动架安装在第一滚轮、第二滚轮下方，传动架与清洁刷横梁平行；所述安装卡扣安装在传动架中间位置。

作为本实用新型进一步的方案，所述液压缸包括伸缩杆、密封塞；所述伸缩杆顶端安装在安装卡扣上，伸缩杆尾端安装在密封塞上；所述液压缸与出物光电开关、入物光电开关安装形成电路回路。

作为本实用新型进一步的方案，所述入物光电开关安装在反光镜右侧，入物光电开关感应探头朝向传送带，入物光电开关的感应距离设置大于反光镜到传送带的距离。

作为本实用新型进一步的方案，所述出物光电开关安装在反光镜左侧，出物光电开关感应探头朝向传送带，出物光电开关感应距离设置为10mm。

该AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置的工作方式，包括以下步骤：

步骤一、将该装置清洁刷、液压缸安装在承载底座上，并接入外部电路；

步骤二、启动工作开关，传送带将半导体晶片向传动到AOI光学检测方向传送；

步骤三、半导体晶片经过入物光电开关，触发入物光电开关的启动，延迟0.5秒后液压缸的伸缩杆收缩，毛刷向左移动，清扫一次反光镜镜面，液压缸经过测试收缩的速度与传送带速度相同；

步骤四、清洁刷经过出物光电开关，出物光电开关光线遮挡，出物光电开关延迟0.5秒启动，毛刷将杂质扫入第一收集槽，液压缸的伸缩杆启动快速伸出，毛刷向右移动，清扫一次反光镜镜面；

步骤五、毛刷将反向清扫的杂质扫入第二收集槽，并停留在右侧位置；

步骤六、当下一半导体晶片传送到入物光电开关时，重复步骤三到步骤五，连续完成清扫作业。

本实用新型的有益效果：

该AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置，通过清洁刷下面的毛刷与反光镜表面接触，将反光镜表面的杂质清理出反光镜的表面，使上部传送的半导体晶片的每次AOI光学检测误差率减小，提高检测的准确性，光电开关的位置感应，有效的控制清洁刷的位置和半导体晶片的之间的相互配合；本实用新型解决了破片与杂质掉落在反光镜上，需要停机清楚，大大影响了生产，并且有效的减少的误判率，提升产品的合格率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型承载底座与清洁刷俯视结构示意图。

图3是本实用新型承载底座仰视结构示意图。

图4是本实用新型清洁刷结构示意图。

附图标记：AOI光学检测1、传送带2、半导体晶片21、承载底座3、第一收集槽31、第二收集槽32、反光镜33、第一导轨34、第二导轨35、清洁刷4、清洁刷横梁41、毛刷42、第一支架43、第二支架44、第一滚轮45、第二滚轮46、传动架47、安装卡扣48、液压缸5、伸缩杆51、密封塞52、出物光电开关6、入物光电开关7。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3和图4所示，本实用新型为一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置，包括AOI光学检测1、传送带2、承载底座3、清洁刷4、液压缸5；所述AOI光学检测1设置在传送带2正上方，传送带2下方安装有承载底座3；所述承载底座3上表面安装有清洁刷4，承载底座3下表面安装有液压缸5。

所述传送带2上设置有半导体晶片21，半导体晶片21间隔排列，依次通过下方的反光镜33上方。

所述承载底座3包括第一收集槽31、第二收集槽32、反光镜33、第一导轨34、第二导轨35；所述第一收集槽31、第二收集槽32是承载底座3上表面的凹槽，第一收集槽31、第二收集槽32设置在反光镜33两边，第一收集槽31、第二收集槽32与清洁刷4平行；所述第一导轨34、第二导轨35与第一收集槽31、第二收集槽32垂直设置，第一导轨34、第二导轨35设置在承载底座3的两边；所述第一收集槽31、第二收集槽32将清洁刷4带动的反光镜33表面的灰尘，结晶收集；所述第一导轨34、第二导轨35是清洁刷4的运动轨道，清洁刷4在第一导轨34、第二导轨35内做直线往复移动。

所述清洁刷4包括清洁刷横梁41、毛刷42、第一支架43、第二支架44、第一滚轮45、第二滚轮46、传动架47、安装卡扣48；所述毛刷42安装在清洁刷横梁41下方，清洁刷横梁41一端安装有第一支架43，清洁刷横梁41另一端安装有第二支架44；所述第一支架43中间内侧安装有第一滚轮45，第二支架44中间内侧安装有第二滚轮46；所述传动架47安装在第一滚轮45、第二滚轮46下方，传动架47与清洁刷横梁41平行；所述安装卡扣48安装在传动架47中间位置；所述传动架47将液压缸5传送的力通过第一支架43、第二支架44传递至清洁刷横梁41，液压缸5驱动清洁刷横梁41在反光镜33表面往复移动，毛刷42将反光镜33表面的杂质扫除，保持反光镜33表面的整洁，可有效减少误判率，提高产品的合格率。

所述液压缸5包括伸缩杆51、密封塞52；所述伸缩杆51顶端安装在安装卡扣48上，伸缩杆51尾端安装在密封塞52上；所述液压缸5与出物光电开关6、入物光电开关7安装形成电路回路，出物光电开关6、入物光电开关7控制伸缩杆51伸缩。

所述入物光电开关7安装在反光镜33右侧，入物光电开关7感应探头朝向传送带2，入物光电开关7的感应距离设置大于反光镜33到传送带2的距离；当半导体晶片21经过时入物光电开关7光线发生折射，入物光电开关7启动，延迟0.5秒后液压缸5的伸缩杆51收缩，毛刷42向左移动，清扫一次反光镜33镜面。

所述出物光电开关6安装在反光镜33左侧，出物光电开关6感应探头朝向传送带2，出物光电开关6感应距离设置为10mm；当清洁刷4经过出物光电开关6时，出物光电开关6光线遮挡，出物光电开关6延迟0.5秒启动，液压缸5的伸缩杆51快速伸出，毛刷42向右移动，清扫一次反光镜33镜面。

该AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置的工作方式，包括以下步骤：

步骤一、将该装置清洁刷4、液压缸5安装在承载底座3上，并接入外部电路；

步骤二、启动工作开关，传送带2将半导体晶片21向传动到AOI光学检测1方向传送；

步骤三、半导体晶片21经过入物光电开关7，触发入物光电开关7的启动，延迟0.5秒后液压缸5的伸缩杆51收缩，毛刷42向左移动，清扫一次反光镜33镜面，液压缸5经过测试收缩的速度与传送带2速度相同；

步骤四、清洁刷4经过出物光电开关6，出物光电开关6光线遮挡，出物光电开关6延迟0.5秒启动，毛刷42将杂质扫入第一收集槽31，液压缸5的伸缩杆51启动快速伸出，毛刷42向右移动，清扫一次反光镜33镜面；

步骤五、毛刷42将反向清扫的杂质扫入第二收集槽32，并停留在右侧位置；

步骤六、当下一半导体晶片21传送到入物光电开关7时，重复步骤三到步骤五，连续完成清扫作业。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。