一种清理单晶炉中排气管的装置的制作方法

本实用新型属于单晶生产设备技术领域，尤其是涉及一种清理单晶炉中排气管的装置。

背景技术：

单晶生长过程包括，拆清、熔料、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径、收尾、停炉工步。在单晶炉运行过程中，硅熔液高温会挥发出硅蒸汽，单晶炉通入的保护气体会将硅蒸汽和其它杂质一起，经导气筒和排气管排到炉体外部。由于导气筒在炉底，温度低，所以这些硅蒸汽受冷会沉积到导气筒内壁。这些沉积物硬度大，高温粘接到了导气筒内壁，很难清理掉。如果拆清时清理不干净，长时间运行后挥发物会堵塞排气口，导致成晶困难。现有技术是通过人工手动使用铲子等工具进行清理，导气筒内部无法彻底清理干净，再次开炉运行时，挥发物更容易在未清理干净的导气筒内部沉积，且导气筒一般为石墨材质或碳碳材质等，手工清理过程中易损坏导气筒。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种清理单晶炉中排气管的装置，尤其适合直拉单晶中的导气筒的清理，能够自动进行清理，方便高效。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种清理单晶炉中排气管的装置，包括清洁部、连接件、动力装置和吸尘装置，清洁部通过连接件与动力装置连接，吸尘装置与清洁部相配合。

进一步的，清洁部包括清洁装置和清洁支架，清洁装置设于清洁支架上，清洁支架与连接件连接。

进一步的，清洁装置为百洁布或砂轮。

进一步的，动力装置为手持电钻或电机。

进一步的，吸尘装置包括吸尘器、连接管道和吸尘口，吸尘口通过连接管道与吸尘器连接。

进一步的，连接件为伸缩杆。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得该清理单晶炉中排气管的装置结构简单，拆卸维修方便，加工成本低，清理工作效率高，且使用方便，降低劳动成本，提高工作效率；

2.该清理单晶炉中排气管的装置采用动力装置带动清洁装置进行旋转清洁，使得导气筒的内部清洁简单方便，自动清理导气筒内部挥发物，并采用吸尘装置将清理掉的挥发物吸取收集，使用方便，工作效率高，导气筒清洁效果好；

3.使用此装置进行导气筒的清洁，避免导气筒堵塞或排气不畅，降低了单晶炉因排气不畅导致的成晶困难，提升了单晶炉运行稳定性，提高了单晶的品质，降低了导气筒的损坏。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的单晶炉结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的结构示意图。

图中：

1、导气筒 2、挥发物沉积物 3、清洁部

4、动力装置 5、吸尘器 6、吸尘口

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

由图1可以知道，导气筒1位于单晶炉的底部，氩气经过单晶炉的上部进入保温热场，并从导气筒1和排气管排出，所以，在直拉单晶过程中，硅蒸汽受冷沉积到导气筒1的内壁上，硬度大，高温粘接，粘接牢固，不易清理。需要一种既不会对导气筒1造成损害又能快速清理的装置。

图2示出了本实用新型的一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种清理单晶炉中排气管的装置，用于单晶炉中导气筒的清理，将单晶炉中导气筒内部的挥发物的沉积物进行清理，保持导气筒的清洁，避免导气筒堵塞或排气不畅，提升了单晶炉运行稳定性，提高了单晶的品质，降低了导气筒的损坏。

具体地，上述的清理单晶炉中排气管的装置，包括清洁部3、连接件、动力装置4和吸尘装置，清洁部3通过连接件与动力装置4连接，清洁部3用于对导气筒1内部的挥发物沉积物2进行清理清洁，动力装置4用于对清洁部3提供动力，使得清洁部3能够运动，便于清洁部3进行运动清洁，降低劳动成本，提高自动化；连接件用于将清洁部3与动力装置4进行连接，使得清洁部3与动力装置4之间是可拆卸连接，减少该清理装置的占用空间；吸尘装置与清洁部3相配合，吸尘装置将清洁部3清理掉的导气筒内的挥发物沉积物2进行吸取收集，并进行统一处理，减少对环境的污染，同时不会让工作人员吸入，保证了工作人员的安全。

上述的清洁部3包括清洁装置和清洁支架，清洁装置固定安装在清洁支架上，清洁支架起到支撑的作用，便于清洁装置的安装，清洁装置用于对导气筒的内部进行清洁。在本实施例中，清洁支架为圆柱形结构，其直径与导气筒1的直径相适应，清洁支架的直径小于导气筒1的直径，使得清洁支架能够携带清洁装置进入导气筒1内部，对导气筒1内部进行清洁。清洁支架的形状也可以是圆锥状，或者是圆柱状与圆锥状相结合，或者是双曲线构成的形状，或者是其他的形状，根据实际需求进行选择，优选的，在这里，清洁支架的形状为圆柱状，便于对导气筒1的内部进行清理。

清洁装置用于对导气筒1内部进行清理，由于导气筒1为石墨材质或碳碳材料，使用硬质结构的清洁装置容易对导气筒1造成损害，如铲子等，所以，在本实施例中，清洁装置优选为百洁布，百洁布种类较多，包括工业百洁布、民用百洁布、含砂百洁布、无砂百洁布等产品，产品广泛用于装饰装潢、金属打磨抛光、日常洗涤，在这里，选择工业百洁布或者含砂百洁布，能够对导气筒1内壁进行研磨，将导气筒1内壁上沉积的挥发物沉积物2清理掉，且不对导气筒1内壁造成损伤，由于工业百洁布或者含砂百洁布具有自锐性研磨的特性，能够在进行对导气筒1内挥发物沉积物2清理时，自身进行研磨损耗，始终能够保证自身的研磨特性，始终能够对导气筒1内壁上沉积的挥发物沉积物2进行清理，直至自身磨损消耗尽，在清理过程中，不会对导气筒1内壁造成损伤。

百洁布安装在清洁支架上，由清洁支架携带百洁布对导气筒1进行清理，也就是，百洁布缠绕在清洁支架上，此时，清洁支架的直径较大，便于百洁布与导气筒1内壁上的挥发物沉积物接触，进行清理；百洁布也可以做成有卷轴的圆柱状结构，便于百洁布安装在清洁支架上，对导气筒1内壁进行清理，此时，清洁支架的直径与百洁布上的卷轴的直径相适应，便于百洁布安装在清洁支架上。百洁布还可以是其他形状，其他安装方式安装在清洁支架上，根据实际需求进行选择。

清洁装置也可以是细磨粒的小型砂轮，还可以是其他研磨装置，根据实际需求进行选择。

上述的动力装置4为手持电钻，清洁部3通过连接件安装在手持电钻的主轴上，启动手持电钻，使得清洁部3随着手持电钻的主轴旋转而进行旋转，对导气筒1内壁进行清洁，也就是，清洁支架通过连接件与动力装置4连接，使得清洁装置百洁布随着手持电钻主轴的旋转而旋转，对导气筒1内壁进行清理，通过旋转百洁布进行清理挥发物沉积物2，清理的均匀，不会产生遗漏的地方，清理效率高，清理效果好。动力装置4也可以是手持小型电机，还可以是其他旋转装置，根据实际需求进行选择。

上述的吸尘装置用于吸取收集清理掉的导气筒1内壁上挥发物沉积物2，防止清理掉的挥发物沉积物2四处飞舞，被工作人员吸入，对身体造成损害。吸尘装置包括吸尘器5、连接管道和吸尘口6，吸尘口6通过连接管道与吸尘器5连接，清理掉的挥发物沉积2物经过吸尘口6和连接管道进入吸尘器5，进而对清理掉的挥发物沉积物2进行吸取收集。这里吸尘器5为工业用吸尘器，为市售产品，根据实际需求进行选择。吸尘口6为下部开口大，上部开口小的喇叭状结构，开口小的一端与连接管道连接，下部开口大，覆盖的面积大，能够大范围的吸取收集清理掉的挥发物沉积物2。该吸尘装置在进行吸取收集时，将吸尘口6设于清洁部3的上部，便于吸尘口6对清洁部3清理掉的导气筒1内壁上的挥发物沉积物2。

上述的连接件为连接杆，且该连接杆为伸缩杆，能够进行伸缩，进一步延长了清洁部3的清理行程，在连接杆的两端，设有螺纹，便于连接杆分别与清洁支架和手持电钻连接。连接杆也可以通过卡接分别与清洁支架和手持电钻连接，也可以是其他连接方式，根据实际需求进行选择。

本实施例的工作过程：该清理单晶炉中排气管的装置在应用时，在单晶炉拆清时对导气筒1进行清理，将清洁装置安装在清洁支架上，将清洁支架通过连接件与动力装置4连接，并将吸尘口6通过连接管道与吸尘器5连接，在进行导气筒1清理时，将清洁装置放置在吸尘口6处，将拆清下来的导气筒1放置在吸尘口6处，启动动力装置4，使得清洁装置进行旋转对导气筒1进行清理，在清理的过程中，打开吸尘器5，对清理掉的挥发物沉积物2进行吸取收集。

采用上述清理单晶炉中排气管的装置，对单晶炉中的导气筒内壁上的挥发物沉积物进行清理，能够提升单晶成晶率2％，提升了石墨导气筒寿命10％，提高了单晶硅的品质，碳含量降低了5％，提高单晶产能2％，提高了单晶的少子寿命2％。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得该清理单晶炉中排气管的装置结构简单，拆卸维修方便，加工成本低，清理工作效率高，且使用方便，降低劳动成本，提高工作效率；该清理单晶炉中排气管的装置采用动力装置带动清洁装置进行旋转清洁，使得导气筒的内部清洁简单方便，自动清理导气筒内部挥发物，并采用吸尘装置将清理掉的挥发物吸取收集，使用方便，工作效率高，导气筒清洁效果好；使用此装置进行导气筒的清洁，避免导气筒堵塞或排气不畅，降低了单晶炉因排气不畅导致的成晶困难，提升了单晶炉运行稳定性，提高了单晶的品质，降低了导气筒的损坏。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。