一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备的制作方法

本发明涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备。

背景技术：

芯片检测设备主要针对晶圆上的芯片完成切割后的外观检测，比如尺寸、破损、裂粒、气孔、裂痕、镍层不良等等，所以也叫做晶圆切割检测设备，是靠机器视觉来实现检测的，芯片检测设备是通过摄像头对晶圆拍摄，在将照片传送到软件，通过特点的算法分析产品的外观，并自动分拣良品及次品。

现有技术的检测设备在长时间的使用之后，摄像头上容易积累污渍，污渍将会对摄像头的拍摄造成遮挡，降低了摄像头拍摄芯片的清晰度，不仅如此，通过检测设备检测芯片的过程中，如果芯片所处的环境湿度较高，将会影响芯片的电气性能，降低了检测设备的实用性。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备，包括包括操作箱、摄像头和载物台，所述摄像头和载物台分别设置在操作箱的正对的两侧的内壁上，所述摄像头与载物台正对设置，还包括清洁机构和除湿机构，所述清洁机构设置在操作箱的内部，所述除湿机构设置在操作箱的一侧；

所述清洁机构包括移动杆、清洁块、转动轴、第一电机、两个移动组件和两个支撑组件，两个移动组件分别设置在摄像头的两侧，两个移动组件分别设置在操作箱的正对的两侧的内壁上，所述移动杆与载物台平行，所述移动杆的两端分别与两个移动组件连接，所述转动轴与移动杆平行，所述转动轴设置在移动杆的靠近摄像头的一侧，所述转动轴的两端均设有轴承，所述轴承的内圈与转动轴的一端的外周固定连接，所述轴承的外圈通过支撑组件与移动杆连接，所述第一电机设置在其中一个支撑组件上，所述第一电机与转动轴传动连接，所述清洁块的形状为圆柱形，所述清洁块与转动轴同轴设置，所述清洁块套设在转动轴上，所述清洁块的半径小于转动轴与摄像头之间的最小距离；

所述除湿机构包括干燥箱、抽气泵、湿度传感器、两个输气管和两个隔离网，所述干燥箱设置在操作箱的一侧，两个输气管的一端分别与干燥箱的正对的两端连通，两个输气管的另一端分别与操作箱的正对的两侧连通，所述抽气泵设置在干燥箱的内壁上，所述抽气泵与其中一个输气管连接，两个隔离网相互平行，两个隔离网均设置在干燥箱的内部，所述隔离网与干燥箱的内壁密封连接，两个隔离网均设置在两个输气管与干燥箱的连接点之间，所述湿度传感器设置在操作箱的内部。

作为优选，为了提高检测设备的自动化程度，所述操作箱上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器，所述控制面板上设有显示屏和至少两个控制按键，所述显示屏、湿度传感器和各控制按键均与处理器电连接。

作为优选，为了给移动杆提供动力，所述移动组件包括导轨、连接板、第二电机和至少两个移动轮，所述导轨与载物台平行，所述导轨与移动杆垂直，所述连接板与移动杆垂直，所述连接板设置在导轨的靠近移动杆的一侧，所述移动杆的两端分别与两个连接板固定连接，各移动轮均铰接在连接板的远离移动杆的一侧，各移动轮的圆心所在的直线与导轨平行，所述第二电机与连接板固定连接，所述第二电机与其中一个移动轮传动连接，所述移动轮与导轨的靠近摄像头的一侧抵靠。

作为优选，为了提高清洁块的清洁效果，所述支撑组件包括连接套管、弹簧、升降杆和限位块，所述连接套管与移动杆固定连接，所述连接套管的轴线与载物台垂直，所述升降杆与连接套管同轴设置，所述升降杆穿过连接套管，所述升降杆与连接套管滑动连接，所述升降杆的一端与轴承的外圈固定连接，所述升降杆的另一端与限位块固定连接，所述弹簧套设在升降杆上，所述轴承的外圈通过弹簧与连接套管固定连接，所述弹簧处于压缩状态，所述第一电机与升降杆的靠近轴承的一端固定连接。

作为优选，为了提高摄像头拍摄的清晰度，所述操作箱的靠近摄像头的一侧的内壁上设有照明灯。

作为优选，为了提高干燥剂更换的便捷度，所述干燥箱的一侧设有人孔，所述人孔设置在两个隔离网之间。

作为优选，为了降低对摄像头的磨损，所述清洁块的制作材料为海绵。

作为优选，为了提高升降杆移动的顺畅度，所述升降杆上涂有润滑脂。

作为优选，为了降低移动轮发生打滑的几率，所述移动轮的外周上设有防滑纹。

作为优选，为了提高导轨与移动轮连接的稳定性，所述导轨的靠近摄像头的一侧设有凹槽，所述移动轮设置在凹槽的内部，所述移动轮与凹槽的内壁的底部滚动连接。

本发明的有益效果是，该具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备中，通过清洁机构可以对摄像头进行清洁，则提高了摄像头拍摄的清晰度，提高了检测设备的性能，与现有清洁机构相比，该清洁机构通过支撑组件使清洁块与摄像头抵靠，则提高了清洁块对摄像头的清洁效果，不仅如此，通过除湿机构可以降低操作箱内部的湿度，则降低了检测设备对芯片电气性能的影响，提高了检测设备的实用性，与现有除湿机构相比，该除湿机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构的故障率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备的结构示意图；

图2是本发明的具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备的内部结构示意图；

图3是本发明的具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备的清洁机构的结构示意图；

图4是图2的a部放大图；

图5是本发明的具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备的除湿机构的结构示意图；

图中：1.输气管，2.干燥箱，3.人孔，4.操作箱，5.抽气泵，6.隔离网，7.摄像头，8.照明灯，9.载物台，10.清洁块，11.移动杆，12.湿度传感器，13.连接套管，14.第一电机，15.轴承，16.弹簧，17.升降杆，18.限位块，19.第二电机，20.连接板，21.移动轮，22.凹槽，23.导轨，24.转动轴。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示，一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备，包括操作箱4、摄像头7和载物台9，所述摄像头7和载物台9分别设置在操作箱4的正对的两侧的内壁上，所述摄像头7与载物台9正对设置，还包括清洁机构和除湿机构，所述清洁机构设置在操作箱4的内部，所述除湿机构设置在操作箱4的一侧；

通过清洁机构可以对摄像头7进行清洁，则提高了摄像头7拍摄的清晰度，提高了检测设备的性能，不仅如此，通过除湿机构可以降低操作箱4内部的湿度，则降低了检测设备对芯片电气性能的影响，提高了检测设备的实用性；

如图2-4所示，所述清洁机构包括移动杆11、清洁块10、转动轴24、第一电机14、两个移动组件和两个支撑组件，两个移动组件分别设置在摄像头7的两侧，两个移动组件分别设置在操作箱4的正对的两侧的内壁上，所述移动杆11与载物台9平行，所述移动杆11的两端分别与两个移动组件连接，所述转动轴24与移动杆11平行，所述转动轴24设置在移动杆11的靠近摄像头7的一侧，所述转动轴24的两端均设有轴承15，所述轴承15的内圈与转动轴24的一端的外周固定连接，所述轴承15的外圈通过支撑组件与移动杆11连接，所述第一电机14设置在其中一个支撑组件上，所述第一电机14与转动轴24传动连接，所述清洁块10的形状为圆柱形，所述清洁块10与转动轴24同轴设置，所述清洁块10套设在转动轴24上，所述清洁块10的半径小于转动轴24与摄像头7之间的最小距离；

操作人员控制检测设备，通过移动组件驱动移动杆11移动，在支撑组件的传动作用下，通过移动杆11驱动清洁块10移动，同时在支撑组件的作用下，使清洁块10与摄像头7紧密抵靠，提高了清洁块7的清洁效果，通过第一电机14驱动转动轴24在轴承15的内部转动，则通过转动轴24驱动清洁块10转动，则通过清洁块10对摄像头7进行清洁，提高了摄像头7拍摄的清晰度；

如图5所示，所述除湿机构包括干燥箱2、抽气泵5、湿度传感器12、两个输气管1和两个隔离网6，所述干燥箱2设置在操作箱4的一侧，两个输气管1的一端分别与干燥箱2的正对的两端连通，两个输气管1的另一端分别与操作箱4的正对的两侧连通，所述抽气泵5设置在干燥箱2的内壁上，所述抽气泵5与其中一个输气管1连接，两个隔离网6相互平行，两个隔离网6均设置在干燥箱2的内部，所述隔离网6与干燥箱2的内壁密封连接，两个隔离网6均设置在两个输气管1与干燥箱2的连接点之间，所述湿度传感器12设置在操作箱4的内部；

实际上，操作人员将干燥剂放入两个隔离网6之间，通过抽气泵5提供动力，使空气通过两个输气管1在干燥箱2和操作箱4内部循环流动，则通过干燥剂对空气进行除湿，则降低了操作箱4内部空气的湿度。

作为优选，为了提高检测设备的自动化程度，所述操作箱4上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器，所述控制面板上设有显示屏和至少两个控制按键，所述显示屏、湿度传感器12和各控制按键均与处理器电连接；

操作人员通过控制按键可以发送控制信号给处理器，则通过处理器控制检测设备的各电子器件运行，同时通过湿度传感器12检测操作箱4内部的湿度，之后湿度传感器12将信号发送给处理器，当处理器检测到操作箱4内部的湿度小于设定湿度的时候，则通过处理器控制抽气泵5运行，对操作箱4内部的空气进行除湿，同时在处理器的控制下，可以将摄像头7的信号连接到显示屏上，则通过显示屏显示摄像头7拍摄到的图像。

如图4所示，所述移动组件包括导轨23、连接板20、第二电机19和至少两个移动轮21，所述导轨23与载物台9平行，所述导轨23与移动杆11垂直，所述连接板20与移动杆11垂直，所述连接板20设置在导轨23的靠近移动杆11的一侧，所述移动杆11的两端分别与两个连接板20固定连接，各移动轮21均铰接在连接板20的远离移动杆11的一侧，各移动轮21的圆心所在的直线与导轨23平行，所述第二电机19与连接板20固定连接，所述第二电机19与其中一个移动轮21传动连接，所述移动轮21与导轨23的靠近摄像头7的一侧抵靠；

通过第二电机19驱动移动轮21转动，在移动轮21与导轨23的摩擦力的作用下，使移动轮21沿着导轨23移动，则在连接板20的传动作用下，通过移动轮21驱动移动杆11沿着导轨23移动。

如图3所示，所述支撑组件包括连接套管13、弹簧16、升降杆17和限位块18，所述连接套管13与移动杆11固定连接，所述连接套管13的轴线与载物台9垂直，所述升降杆17与连接套管13同轴设置，所述升降杆17穿过连接套管13，所述升降杆17与连接套管13滑动连接，所述升降杆17的一端与轴承15的外圈固定连接，所述升降杆17的另一端与限位块18固定连接，所述弹簧16套设在升降杆17上，所述轴承15的外圈通过弹簧16与连接套管13固定连接，所述弹簧16处于压缩状态，所述第一电机14与升降杆17的靠近轴承15的一端固定连接；

在移动杆11的支撑作用下，通过连接套管13提高了升降杆17的稳定性，在限位块18的限位作用下，降低了升降杆17从连接套管13内部脱离的几率，提高了升降杆17与连接套管13连接的稳定性，之后在弹簧16的作用下，推动升降杆17沿着连接套管13向靠近摄像头7的方向移动，则通过升降杆17使清洁块10与摄像头7紧密贴合，提高了清洁块10的清洁效果。

作为优选，为了提高摄像头7拍摄的清晰度，所述操作箱4的靠近摄像头7的一侧的内壁上设有照明灯8；

通过照明灯8可以对操作箱4内部的亮度进行调节，则提高了摄像头7拍摄的清晰度。

作为优选，为了提高干燥剂更换的便捷度，所述干燥箱2的一侧设有人孔3，所述人孔3设置在两个隔离网6之间；

通过人孔3提高了操作人员更换两个隔离网6之间的干燥剂的便捷度，则提高了检测设备的实用性。

作为优选，为了降低对摄像头7的磨损，所述清洁块10的制作材料为海绵；

由于海绵的质地较为柔软，则降低了清洁块10对摄像头7的磨损。

作为优选，为了提高升降杆17移动的顺畅度，所述升降杆17上涂有润滑脂；

通过润滑脂减小了升降杆17与连接套管13之间的摩擦力，则提高了升降杆17移动的顺畅度。

作为优选，为了降低移动轮21发生打滑的几率，所述移动轮21的外周上设有防滑纹；

通过防滑纹增大了移动轮21与导轨23之间的摩擦力，则降低了移动轮21发生打滑的几率。

作为优选，为了提高导轨23与移动轮21连接的稳定性，所述导轨23的靠近摄像头7的一侧设有凹槽22，所述移动轮21设置在凹槽22的内部，所述移动轮21与凹槽22的内壁的底部滚动连接；

通过凹槽22对移动轮21的限位作用，降低了移动轮21与导轨23脱离的几率，则提高了导轨23与移动轮21连接的稳定性。

操作人员控制检测设备，通过移动组件驱动清洁块10移动，同时在支撑组件的作用下，使清洁块10与摄像头7紧密抵靠，提高了清洁块7的清洁效果，通过第一电机14驱动清洁块10转动，则通过清洁块10对摄像头7进行清洁，提高了摄像头7拍摄的清晰度，实际上，操作人员将干燥剂放入两个隔离网6之间，通过抽气泵5提供动力，使空气通过两个输气管1在干燥箱2和操作箱4内部循环流动，则通过干燥剂对空气进行除湿，则降低了操作箱4内部空气的湿度。

与现有技术相比，该具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备中，通过清洁机构可以对摄像头7进行清洁，则提高了摄像头7拍摄的清晰度，提高了检测设备的性能，与现有清洁机构相比，该清洁机构通过支撑组件使清洁块10与摄像头7抵靠，则提高了清洁块10对摄像头7的清洁效果，不仅如此，通过除湿机构可以降低操作箱4内部的湿度，则降低了检测设备对芯片电气性能的影响，提高了检测设备的实用性，与现有除湿机构相比，该除湿机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构的故障率。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。