合成炉内硅粉清理设备的制作方法

本实用新型涉及合成炉清理技术领域，具体而言，涉及合成炉内硅粉清理设备。

背景技术：

在部分涉及合成炉生产多晶硅的工艺当中，合成炉的炉体在后期会残留有大量的硅粉，影响合成炉反应的正常进行。目前，针对于合成炉炉体残留硅粉的问题，主要采用的解决方案是：将合成炉进行置换，并让人员进入至合成炉内人工进行清理铲除。显然的，这种方式清理速度较慢且存在着较高的安全风险。如何较为高效的对合成炉内的硅粉进行清理，成为一个亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

综上所述，本实用新型所解决的技术问题是：提供一种用于合成炉内硅粉清理的设备，其可较为高效地对残留于合成炉内的硅粉进行清理。

而本实用新型为解决上述技术问题所采用的方案为：

合成炉内硅粉清理设备，包括真空泵，以及其出口端与真空泵的进口端相连通的延伸软管，所述延伸软管主要由若干个过滤管以可拆卸的形式依次首尾相连所构成，所述过滤管内设有硅粉过滤结构，所述过滤管为挠性管。

进一步的，所述硅粉过滤结构包括有同轴的穿入于过滤管内的支撑柱，以及多个沿支撑柱的轴向依次排布并套在支撑柱上的隔离栓；所述隔离栓的外周与过滤管的内周之间配合接触，以将过滤管的内腔分隔为多个沿过滤管的轴向依次排布且相互隔断的积存腔，所述隔离栓上设置有连通其两侧的积存腔的通气通道，相邻两个隔离栓上的通气通道沿着支撑柱的周向相互错开设置。

进一步的，所述通气通道呈圆孔状。

进一步的，所述隔离栓的外周壁与过滤管内周之间滑动配合，所述隔离栓和支撑柱之间则固定连接，以使隔离栓和支撑柱能从过滤管中脱出。

进一步的，所述隔离栓呈两端外径较小，而中间部位外径较大的形状，所述隔离栓的中间部位用于与过滤管的内周配合接触。

进一步的，所述隔离栓的中间部位套设有用于与过滤管形成气密配合的密封圈。

进一步的，所述过滤管的长度大于支撑柱的长度。

进一步的，所述过滤管的首尾两端均构成有金属制成的连接衬板，相邻的两连接衬板通过螺栓连接在一起。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型设置了为挠性软管的延伸软管，及真空泵来对合成炉内的硅粉进行清理，延伸软管可弯曲并伸入至合成炉内的各个死角空间之内，相较于传统的人工铲除作业，更为高效。

(2)同时，本实用新型可将真空泵抽取的硅粉集中于延伸软管的过滤管当中，在后期对硅粉进行回收时，仅需要更替或过滤管即可，降低了真空泵的停机频率，从而提高了清理效率。

(3)本实用新型通过在过滤管内布置支撑柱和隔离栓，以形成若干相互隔断的积存腔，两侧的积存腔仅通过布置于两者之间的隔离栓上的通气通道而相互连通，以对进入至过滤管内的硅粉进行有效的拦截和过滤。

附图说明

图1为本实用新型所提供的实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型所提供的实施例1中过滤管的结构示意图；

图3为图2中a-a处的截面示意图。

【具体符号说明】

1-真空泵，2-延伸软管，3-过滤管，4-支撑柱，5-隔离栓，6-积存腔，7-通气通道，8-连接衬板，9-密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，本实用新型的描述中若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，本实用新型的描述中若出现“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1至图3所示，本实施例1所提供的合成炉内硅粉清理设备，包括真空泵1，以及其出口端与真空泵1的进口端相连通的延伸软管2，所述延伸软管2主要由若干个过滤管3以可拆卸的形式依次首尾相连所构成，所述过滤管3内设有硅粉过滤结构，所述过滤管3为挠性管。

在具体清理环节，实施人员打开合成炉的炉门，并将延伸软管2伸入至合成炉内，对合成炉内的硅粉进行清除作业。合成炉内的硅粉受到真空泵1的抽取作用，由延伸软管2的入口端进入具体的过滤管3内，被硅粉过滤结构过滤拦截下来，积存于过滤管3当中。其中，由于组成延伸软管2的过滤管3为挠性管，所以实施人员可以通过弯曲挠性管的形式，而将延伸软管2的入口端伸入至合成炉内的死角区域。

此外，在遇到延伸软管2长度不够的情况时，实施人员还可以通过增加过滤管3的形式，来延长整个延伸软管2的长度，以提高整个装置的适用性。同时，由于各个过滤管3之间采用了可拆卸的形式连接，所以在后期对硅粉进行集中回收时，仅需要更替过滤管3即可，降低了真空泵1的停机频率，从而提高了清理效率。

其中，上述的硅粉过滤结构可以为滤网等部件，而以滤网作为硅粉过滤结构，在维护阶段需要对滤网进行清洗，且硅粉会主要集中在第一个过滤管3的滤网之上，造成后面的滤网使用不饱和。所以作为优选实施方式，在本实施例1中，所述硅粉过滤结构包括有同轴的穿入于过滤管3内的支撑柱4，以及多个沿支撑柱4的轴向依次排布并套在支撑柱4上的隔离栓5；所述隔离栓5的外周与过滤管3的内周之间配合接触，以将过滤管3的内腔分隔为多个沿过滤管3的轴向依次排布且相互隔断的积存腔6，所述隔离栓5上设置有连通其两侧的积存腔6的通气通道7，相邻两个隔离栓5上的通气通道7沿着支撑柱4的周向相互错开设置。

其中，硅粉在真空泵1所产生的负压带动下，依次通过多个积存腔6，由于相邻的两个的积存腔6之间仅通过设置于两者之间的通气通道7而相互连通，而相邻两个隔离栓5上的通气通道7又沿着支撑柱4的周向相互错开设置，所以硅粉被吸附的路径呈曲折状，部分硅粉在由前一个隔离栓5上的通气通道7被吸入至积存腔6中后，会受到隔离栓5端面的阻碍作用，被沉积、滞留下来。进一步的，为便于加工成型，在本实施例1中，所述通气通道7呈圆孔状，其还可以为狭缝、方孔等形状。

更为重要的，在使用本实施例1所提供的合成炉内硅粉清理设备时，在更替过滤管3后，需要对进入至积存腔6内的硅粉进行清除，而为方便清除工序的进行，在本实施例1中，所述隔离栓5的外周壁与过滤管3内周之间滑动配合，所述隔离栓5和支撑柱4之间则固定连接，以在维护时，实施人员可以直接将隔离栓5和支撑柱4一并从过滤管3中抽出，从而较为方便的对硅粉进行集中回收、清理。而在需要继续使用时，则对应将隔离栓5和支撑柱4塞入至过滤管3中即可。

其中，延伸软管2在使用时会多次弯折，而如果布置在过滤管3内的隔离栓5的整个外周均与过滤管3的内周相适配，则显然的，如果采用不同材质制造过滤管3和隔离栓5，在过滤管3发生一定弯折时，隔离栓5的端部即会拉住过滤管3的内壁。如果隔离栓5的整个外周外径均与过滤管3内周配合接触，则容易造成过滤管3内壁的破坏。所以作为优选实施例，在本实施例1中，所述隔离栓5呈两端外径较小，而中间部位外径较大的形状，所述隔离栓5的中间部位用于与过滤管3的内周配合接触。这种结构设置在面对过滤管3弯折时，能有效减缓隔离栓5的端部拉住过滤管3的内壁的幅度。

进一步的，在本实施例1中，为保障气密性能，所述隔离栓5的中间部位套设有用于与过滤管3形成气密配合的密封圈9。同时，其中对于支撑柱4而言，如果其长度大于或等于过滤管3的长度，则容易对过滤管3的安装造成影响。所以在本实施例1中，所述过滤管3的长度大于支撑柱4的长度，以确保各个过滤管3在进行首尾连接时，其支撑柱4不会对过滤管3造成影响。

在本实施例1中，所述过滤管3的首尾两端均构成有金属制成的连接衬板8，相邻的两过滤管3的连接衬板8通过螺栓连接在一起，其中，连接衬板8的对合面上填充有用于密封的密封填料，以保障过滤管3于连接衬板8处的气密性。