一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置的制作方法

一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置
技术领域
1.本实用新型涉及rfid晶圆处理技术领域，具体为一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置。


背景技术：

2.电子标签即rfid标签，是rfid的俗称。沃尔玛、sap、bea、intel、sensitech、swisslog等国际机构在各自行业中对射频识别技术的推广应用，证明和揭示了该项技术巨大的发展潜力和广泛的应用前景。
3.晶圆是rfid标签在制作过程中需要使用到的非常重要的元件，在集成电路制造过程中，制备完成的晶圆一般是被放置于一个陶瓷材质载盘上，并紧接着进行相关加工制程，例如上蜡、抛光、研磨。
4.现有的晶圆制造生产线中，晶圆没完成一道加工就需要进行表面除尘处理，但是现有的晶圆除尘处理装置在实际使用的过程中除灰效果不好，且除去的灰尘容易重下新落到晶圆上造成二次污染。
5.为解决上述问题，本实用新型提出一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置，解决了背景技术中所提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；
8.所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔，所述风筒内腔底部滑动设置有活塞，所述吹气管垂直滑动贯穿活塞中部，所述风筒内腔底部于活塞底部之间设置有弹簧，所述风筒外壁上螺纹连接有除尘筒。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述过滤网内壁顶部和底部均固定粘接有磁铁条，两组所述磁铁条均磁性吸附于风筒外壁上。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述活塞内壁与外壁上均固定套接有密封圈。
11.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述转轴垂直转动贯穿风筒顶端中部，所述扇叶位于风筒内腔。
12.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述风筒顶部垂直固定焊接有支撑杆，所述支撑杆顶部固定焊接有安装板，所述安装板左右两侧贯穿连接有固定螺栓。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
14.1.本实用新型一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置，本装置在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。
附图说明
15.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
16.图1为本实用新型一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置的前视图；
17.图2为本实用新型一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置的前视剖面图；
18.图3为本实用新型一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置的活塞和吹气管的前视剖面图。
19.图中：除尘筒1、支撑杆2、固定螺栓3、安装板4、电机5、弹簧6、活塞7、扇叶8、过滤网9、进气孔10、磁铁条11、转轴12、密封圈13、吹气管14、风筒15、出气孔16。
具体实施方式
20.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本实用新型中提供的用电器的型号仅供参考，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.请参阅图1
‑
3，本实用新型提供一种技术方案：一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒1和风筒15；
24.所述风筒15顶端中部通过螺栓固定安装有电机5，所述电机5中部垂直转动设置有转轴12，所述转轴12外壁上键槽连接有扇叶8，所述风筒15外壁顶部贯穿开设有通气孔10，所述风筒15外壁顶部套接有过滤网9，所述风筒15内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管14，所述吹气管14位于风筒15内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔16，所述风筒15内腔底部滑动设置有活塞7，所述吹气管14垂直滑动贯穿活塞7中部，所述风筒15内腔底部于活塞7底部之间设置有弹簧6，所述风筒15外壁上螺纹连接有除尘筒1。
25.本实施例中(请参阅图1)，电机5通过转轴12带动扇叶8高速转动，扇叶8通过转动使得风筒15外界的空气通过进气孔10进入风筒15内腔，使得风筒15内腔的压力升高，进而使得活塞7沿风筒15内壁向下移动，然后风筒15内腔的空气通过出气孔16进入吹气管14内
腔，然后空气通过吹气管14高速吹出至晶圆上，进而使得晶圆表面的灰尘被吹除，吹除的灰尘随空气进入除尘筒1内腔，然后携带灰尘的空气经过过滤网9然后通过进气孔10重新进入风筒15内腔，空气经过过滤网9的过程中，过滤网9对灰尘进行过滤拦截。
26.其中，所述过滤网9内壁顶部和底部均固定粘接有磁铁条11，两组所述磁铁条11均磁性吸附于风筒15外壁上。
27.本实施例中(请参阅图1)，通过磁铁条11的设置，通过磁铁条11就可以方便的将过滤网9固定吸附到风筒15外壁上。
28.其中，所述活塞7内壁与外壁上均固定套接有密封圈13。
29.本实施例中(请参阅图1)，通过密封圈13的设置，密封圈13可以对活塞7与风筒15内壁和吹气管14外壁之间的缝隙进行密封。
30.其中，所述转轴12垂直转动贯穿风筒15顶端中部，所述扇叶8位于风筒15内腔。
31.本实施例中(请参阅图1)，通过扇叶8的设置，扇叶8通过转动就可以将风筒15外腔的空气通过进气孔10吸入风筒15内腔。
32.其中，所述风筒15顶部垂直固定焊接有支撑杆2，所述支撑杆2顶部固定焊接有安装板4，所述安装板4左右两侧贯穿连接有固定螺栓3。
33.本实施例中(请参阅图1)，通过安装板4的设置，通过固定螺栓3就可以将安装板4固定安装到rfid晶圆加工线上。
34.需要说明的是，本实用新型为一种具有rfid标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒1、支撑杆2、固定螺栓3、安装板4、电机5、弹簧6、活塞7、扇叶8、过滤网9、进气孔10、磁铁条11、转轴12、密封圈13、吹气管14、风筒15、出气孔16，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
35.工作原理，使用时，通过固定螺栓3将安装板4固定安装到rfid晶圆加工线上，将电机5通过导线连接至rfid晶圆加工生产线控制器上，当载盘承载晶圆从本装置底部经过时，电机5通过转轴12带动扇叶8高速转动，扇叶8通过转动使得风筒15外界的空气通过进气孔10进入风筒15内腔，使得风筒15内腔的压力升高，进而使得活塞7沿风筒15内壁向下移动，然后风筒15内腔的空气通过出气孔16进入吹气管14内腔，然后空气通过吹气管14高速吹出至晶圆上，进而使得晶圆表面的灰尘被吹除，吹除的灰尘随空气进入除尘筒1内腔，然后携带灰尘的空气经过过滤网9然后通过进气孔10重新进入风筒15内腔，空气经过过滤网9的过程中，过滤网9对灰尘进行过滤拦截，将除尘筒1从风筒15上拧下，然后就可以将过滤网9从风筒15外壁上取下进行清理，使得本装置在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网9进行拆卸清理。
36.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的
所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
37.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。