一种硅片清洗装置的制作方法

文档序号:25768789发布日期:2021-07-06 20:50阅读:217来源:国知局
一种硅片清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能硅片清洗技术领域,具体涉及一种硅片清洗装置。


背景技术:

2.随着光伏太阳能技术的快速发展,“降本增效”是光伏行业技术发展的核心目标。目前的硅片清洗机,包括预清洗槽、药洗槽、漂洗槽和溢流漂洗槽,各个槽的进水均为常温状态,但是清洗工艺对温度的要求为40~90℃,其中溢流漂洗槽的温度要求为50~90℃,其他槽的温度要求为40~50℃,因此现有的硅片清洗机电耗非常大,最终导致硅片清洗的成本很高。


技术实现要素:

3.发明目的:本实用新型的目的是提出一种硅片清洗装置,能够降低电耗,进而降低硅片清洗成本。
4.技术方案:本实用新型所采用的技术方案如下:
5.一种硅片清洗装置,包括预清洗槽、第一药洗槽、第一漂洗槽、第二药洗槽和第二溢流漂洗槽,所述第二溢流漂洗槽的溢流水箱连接有泵体,所述泵体出水端连接有热交换器;所述热交换器的一端连接预清洗槽的进水管,另一端连接第二溢流漂洗槽的纯水进水管。
6.优选的,所述第二溢流漂洗槽包括依次设置的第一分槽、第二分槽、第三分槽和第四分槽,第一分槽、所述第二分槽和第三分槽上设置有溢流孔,所述第一分槽连接有溢流水箱。
7.优选的,所述预清洗槽、所述第一药洗槽、所述第一漂洗槽、所述第二药洗槽和所述第二溢流漂洗槽依次设置。
8.进一步优选的,所述第一药液槽包括独立设置的三部分,均设有清洗剂和碱液的混合药液。
9.进一步优选的,所述第二药洗槽设有双氧水和去离子水的混合溶液。
10.优选的,所述预清洗槽、所述第一药洗槽、所述第一漂洗槽、所述第二药洗槽和所述第二溢流漂洗槽均设置有超声波机构。
11.优选的,所述硅片清洗装置还包括机械臂和控制系统,所述机械臂用于移动抓取,所述控制系统用于控制装置运行。
12.本实用新型的工作原理: 当硅片清洗装置正常运行时,第二溢流漂洗槽的第四分槽的漂洗水溢流至第三分槽,第三分槽溢流至第二分槽,第二分槽溢流至第一分槽,溢流水储备在溢流水箱,利用泵体将溢流水引入热交换器,热交换器一方面使得溢流水的温度下降,达到预清洗槽用清洗水的温度要求,具有溢流水回收预加热功能,另一方面溢流水在热交换器中与纯水进水管中的纯水进行热交换,提高了第四分槽的纯水进水温度。
13.有益效果:与现有技术相比,本实用新型的硅片清洗装置大大降低了电耗,节约了
用电量;现有的单台清洗机每天按照48吨水耗量计算,每天耗电量约275kwh,而本实用新型单台装置每天耗电量约200kwh,每天节约了电耗75kwh,每年可节约电费约27%;本装置容易改造实现,具有很高的实用价值。
附图说明
14.图1是本实用新型的硅片清洗装置的结构示意图。
具体实施方式
15.下面结合附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步的说明。
16.如图1,本实用新型的硅片清洗装置,包括依次设置的预清洗槽1、第一药洗槽2、第一漂洗槽3、第二药洗槽4、第二溢流漂洗槽5、溢流水箱6、泵体7、热交换器8、用于移动抓取的机械臂和控制系统。其中,第一药洗槽2包括独立设置的三部分,均设有清洗剂和碱液的混合药液;第二药洗槽4设有双氧水和去离子水的混合溶液。第二溢流漂洗槽5包括依次设置的第一分槽51、第二分槽52、第三分槽53和第四分槽54,同时第一分槽51、第二分槽52和第三分槽53上设置有溢流孔,第一分槽51连接有溢流水箱6,溢流水箱6连接有泵体7,泵体7的输出端连接有热交换器8;热交换器8的一端输出口连接预清洗槽1的进水管,另一端输出口连接第二溢流漂洗槽5中第四分槽54的纯水进水管。
17.如图1箭头所示的水流动方向,本实用新型的装置在硅片清洗过程中,控制系统将纯水通过pvc管道输送至第四分槽54,溢流水先后由第四分槽54溢流至第三分槽53,第三分槽53再溢流至第二分槽52,第二分槽52再溢流至第一分槽51,第一分槽51的漂洗水最后流向溢流水箱6,此时溢流水箱6中的溢流水温度约50~90℃,通过泵体将溢流水输送至热交换器8,热交换器8使得溢流水的温度下降达到预清洗槽1的温度要求,实现溢流水的预加热,缩短了预清洗槽1、第一药洗槽2、第一漂洗槽3和第二药洗槽4的加热时间;同时溢流水在热交换器中与进水管的纯水进行热交换,提高了输送至第四分槽54的纯水温度。因此本实用新型的装置降低了电耗,节约了用电量,大大降低了成本,而且可以将常规硅片清洗机的基础上加以改造便可实现,实用性高。
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