一种硅料泡料机的制作方法

文档序号:27846025发布日期:2021-12-08 11:10阅读:130来源:国知局
一种硅料泡料机的制作方法

1.本实用新型属于硅料清洗技术领域,具体地说涉及一种硅料泡料机。


背景技术:

2.随着半导体行业和太阳能行业的不断发展壮大,硅料的需求量也越来越大,需要加工的硅原料也越来越多,在进行具体加工之前,大多需要对硅料进行清洗,清楚硅料表面的杂质。
3.由于硅料表面会形成一层氧化膜,因此需要对硅料使用挥发性酸性溶液进行清洗,硅料清洗过程中由于存在酸性溶液具有挥发性,对操作人员的身体健康有一定的损害,且如果任由酸性溶液挥发,其对生产车间的相关设备也会进行腐蚀,使得设备使用周期缩短,间接增加了生产成本。
4.因此,现有技术还有待于进一步发展和改进。


技术实现要素:

5.针对现有技术的种种不足,为了解决上述问题,现提出一种硅料泡料机,该泡料机能收集挥发的酸性溶液,减少其对工作人员的危害。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
7.一种硅料泡料机,其包括通风橱、设置在通风橱内用于硅料浸泡的浸酸槽、设置在通风橱外用于浸酸后硅料清洗的清洗槽、及用于存储硅料并完成硅料转运的料篮,所述清洗槽设置为两组,两组清洗槽并列设置,每组清洗槽设置有多个水槽,多个水槽间通过隔板进行分隔。
8.优选的,所述通风橱包括橱体、设置在通风橱橱体后侧上部的排风装置、及设置在排风装置前用于放置浸酸槽的放置空间。
9.优选的,所述通风橱橱体设置为长方体半包围结构,橱体的左右两侧、顶部及后侧均设置有挡板,定测挡板上设置有用于排风装置进行排风的排风口。
10.优选的,所述浸酸槽包括浸酸槽本体及溢流板,通过溢流板将浸酸槽间隔为硅料浸泡部及酸液溢流部,所述溢流板高度小于浸酸槽深度。
11.优选的,所述料篮包括硅料储存部及料篮抓手,所述料篮抓手设置在料篮两侧,突出于硅料储存部,所述硅料储存部的四周及下端设置为镂空结构。
12.优选的,所述料篮硅料储存部储存硅料最大高度小于溢流板高度。
13.优选的,所述清洗槽还包括设置在清洗槽侧壁上的溢流孔、设置在清洗槽底部的出液孔,及设置在清洗槽外与出液孔及溢流孔连通的溢流管。
14.优选的,所述溢流管末端设置有用于排出清洗槽内液体的出水口,所述出水口上设置有用于控制出水口开闭的水阀。
15.优选的,所述隔板顶部设置为u型,u型隔板最低处高度低于溢流孔高度。
16.有益效果:
17.本实用新型提供一种硅料泡料机,该泡料机能防止挥发的酸性气体进行扩散,保证工作人员的健康,减少生产车间中设备的腐蚀,确保设备的运行稳定性,同时由于通过合理的配置浸酸槽与清洗槽的,实现整个泡料机清洗效率的最大化,同时由于设置有两组清洗槽,对硅料进行二次清洗,避免了硅料上酸性溶液的残留,实现高效快速的硅料清洗。
附图说明
18.图1是本实用新型具体实施例中一种硅料泡料机的结构示意图;
19.图2是本实用新型具体实施例中一种硅料泡料机清洗槽的后视图;
20.附图中:100通风橱,110排风装置,111排风口,200浸酸槽,210溢流板,220浸泡部,230溢流部,300清洗槽,310隔板,320溢流孔,330出液孔,340溢流管,350出水口,400料篮,410料篮抓手。
具体实施方式
21.为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面结合本实用新型的附图,对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例,都应当属于本技术保护的范围。此外,以下实施例中提到的方向用词,例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向,因此,使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。
22.如图1、图2所示为本实用新型提供一种硅料泡料机,其包括通风橱100、设置在通风橱100内用于硅料浸泡的浸酸槽200、设置在通风橱100外用于浸酸后硅料清洗的清洗槽300、及用于存储硅料并完成硅料转运的料篮400,所述清洗槽300设置为两组,两组清洗槽300并列设置,每组清洗槽300设置有多个水槽,多个水槽间通过隔板310进行分隔,由于硅料的浸酸时间要远远小于清洗时间,因此设置多个水槽可以实现对浸酸后的硅料进行及时清洗,避免由于清洗槽300中水槽不足,造成浸酸后硅料需要等待清洗,造成生产效率下降。
23.优选实施例中,所述浸酸槽200设置为2个,每组清洗槽300内设置有3个水槽,通过两组清洗槽300对硅料实现二次清洗,避免酸性溶液的残留。
24.具体的,所述通风橱100包括橱体、设置在通风橱100橱体后侧上部的排风装置110、及设置在排风装置110前用于放置浸酸槽200的放置空间。
25.具体的,所述通风橱100橱体设置为长方体半包围结构,橱体的左右两侧、顶部及后侧均设置有挡板,定测挡板上设置有用于排风装置110进行排风的排风口111,通过排风装置110使通风橱100内形成负压状态,避免酸性溶液挥发后由通风橱100中飘散到工作车间中,从而通过排风口111将挥发的酸性气体排出。
26.优选实施例中,所述排风口111外套接有排风管道,通过排风管道将带有酸性气体的空气引入到相关处理设备中。
27.具体的,所述浸酸槽200包括浸酸槽200本体及溢流板210,通过溢流板210将浸酸槽200间隔为硅料浸泡部220及酸液溢流部230,所述溢流板210高度小于浸酸槽200深度,通过设置溢流板210及溢流部230,避免了当盛有硅料的料篮400放入到浸泡部220进行浸泡时,酸液溢出浸酸槽200,引起酸液对设备的腐蚀,及增加工作人员的清理工作。
28.具体的,所述料篮400包括硅料储存部及料篮抓手410,所述料篮抓手410设置在料
篮400两侧,突出于硅料储存部,所述硅料储存部的四周及下端设置为镂空结构,设置为镂空结构,能使硅料储存部储存中的硅料与酸性溶液进行充分接触,所述料篮抓手410由于突出于硅料储存部,因此能够实现料篮抓手410不会浸泡到酸性溶液中,确保在对料篮400进行转移时不会直接接触到酸性溶液。
29.具体的,所述料篮400硅料储存部储存硅料最大高度小于溢流板210高度。
30.具体的,所述清洗槽300还包括设置在清洗槽300侧壁上的溢流孔320、设置在清洗槽300底部的出液孔330,及设置在清洗槽300外与出液孔330及溢流孔320连通的溢流管340,确保清洗槽300内的的液体不会因为溢流而减少,可以减少对清洗槽300内液体的补充,减少工作量,提高工作效率。
31.具体的,所述溢流管340末端设置有用于排出清洗槽300内液体的出水口350,所述出水口350上设置有用于控制出水口350开闭的水阀。
32.具体的,所述隔板310顶部设置为u型,u型隔板310最低处高度低于溢流孔320高度。
33.本实用新型提供的一种硅料泡料机其具体工作流程如下:将通风橱100中的排风装置110打开,然后将盛有硅料的料篮400放入到浸酸槽200中,充分进行浸泡,浸泡后将料篮400提出,转运到通风橱100外的清洗槽300中进行一次清洗,一次清洗后将料篮400转运到另一组清洗槽300中进行二次清洗,确保将硅料上的酸性溶液完全清洗干净。
34.以上已将本实用新型做一详细说明,以上所述,仅为本实用新型之较佳实施例而已,当不能限定本实用新型实施范围,即凡依本技术范围所作均等变化与修饰,皆应仍属本实用新型涵盖范围内。
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