一种外延片清洗装置的制作方法

本发明涉及外延片生产设备领域，特别是涉及一种外延片清洗装置。

背景技术：

外延片是由加工完成的单晶硅棒切割而成，切割完成的外延片表面易残留污染物，这些污染物会影响外延片的质量，从而影响芯片的性能，因此需要对外延片进行清洗，现有的清洗方式主要有两种，一种是人工清洗，另一种是清洗机清洗，人工清洗效率较低，且有些清洗液会对人工的健康产生危害，而机器清洗虽然效率有所提高，但是会存在清洗不彻底的情况发生，为此需要一种可彻底清洗外延片的设备，来保证清洗质量。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种外延片清洗装置，该清洗装置可在保证外延片清洗效率的前提下提高清洗质量。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种外延片清洗装置，包括清洗池、滑架、清洗机构、旋转机构和烘干机构，所述清洗池呈矩形，清洗池沿其长度方向的中部设有隔板将清洗池分隔成初洗区和精洗区，所述清洗池沿其长度方向两侧的侧壁顶部设有水平且可转动的丝杆，所述丝杆上设有可在清洗池上滑动的滑架，所述滑架包括u型架、连接杆、橡胶套管、分隔条和滑块，所述u型架有两组，两组u型架底部加工有向上凸起的避让槽，两组u型架两侧通过多根连接杆连接，所述连接杆上间隔安装有多根分隔条，相邻分隔条之间的连接杆上套装有橡胶套管，所述u型架两端设有放置在丝杆上的滑块，所述滑块底面上加工有与丝杆对齐的半圆形通槽，通槽内加工有与丝杆靠接的螺纹，滑架上方设有与清洗池侧壁连接清洗机构，所述滑架下方的清洗池上设有沿清洗池长度方向设置的旋转机构，且旋转机构位于u型架的避让槽内，所述精洗区远离初洗区一端设有烘干机构。

所述清洗机构包括支架、冲洗管、冲刷管、液泵和高压泵，所述支架呈倒u型，支架两侧固定在清洗池外侧的侧壁上，所述初洗区上方的支架上悬挂安装有冲洗管，冲洗管的进水端与液泵连接，所述液泵安装在精洗区内，安装在支架上的冲洗管底部加工有多个出水口，所述精洗区上方的支架上安装有呈s型设置的冲刷管，所述冲刷管的进水端连接有高压泵，所述高压泵置于清洗液内，安装在支架上的冲刷管底部安装有多个呈v型分布的喷淋头。

所述精洗区内安装有供液管。

所述初洗区底部连接有排液管。

所述旋转机构包括升降架、转轴、硅胶套和电机，所述升降架分别安装在清洗池两端的内壁上，两个升降架上安装有水平设置的转轴，所述转轴位于u型架的避让槽内，转轴的外壁上套装有硅胶套，所述转轴的一端穿过清洗槽后与电机的输出轴连接。

所述烘干机构包括热风机、热风管道、空气压缩机和喷吹管，所述热风机通过热风管道与空气压缩机连接，所述空气压缩机的出口连接有喷吹管，所述喷吹管呈s型绕置在支架的底面上，喷吹管底部安装有多个呈v型分布的空气喷头。

本发明提供的外延片清洗装置具有的有益效果是：

(1)通过在清洗池上设置丝杆，并在丝杆上放置滑架，利用转动的丝杆带动滑架移动，同时通过安装在清洗池上的清洗装置对滑架上放置的外延片进行清洗，同时配合旋转机构带动外延片在滑架上转动，从而减少清洁死角，保证清洗质量，同时配合烘干装置可及时地将残留在外延片上的水渍清除，以防止再次污染；

(2)通过设置冲洗管和冲刷管，冲洗管利用冲刷管喷出的清洁液先对外延片表面上的污染物进行冲刷，完成初步清洁，然后再利用冲刷管对外延片进行冲洗，可提高外延片的清洁效率，保证情洗效果；

(3)通过设置旋转机构带动外延片在滑架上转动，可将外延片的侧边暴露在清洗机构的工作范围内，可防止外延片存在清洁死角，保证清洗质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的结构示意图。

图2为本发明实施例提供的右视结构示意图。

图3为本发明实施例提供的滑架的结构示意图。

附图标记：1、清洗池；11、隔板；12、初洗区；13、排液管；14、精洗区；15、供液管；16、丝杆；2、滑架；21、u型架；22、避让槽；23、连接杆；24、橡胶套管；25、分隔条；26、滑块；27、通槽；3、清洗机构；31、支架；32、冲洗管；33、出水口；34、冲刷管；35、喷淋头；36、液泵；37、高压泵；4、旋转机构；41、升降架；42、转轴；43、硅胶套；44、电机；5、烘干机构；51、热风机；52、热风管道；53、空气压缩机；54、喷吹管；55、空气喷头。

具体实施方式

实施例

如图1～图3所示，本实施例提供的外延片清洗装置包括清洗池1、滑架2、清洗机构3、旋转机构4和烘干机构5，所述清洗池1呈矩形，清洗池1沿其长度方向的中部设有隔板11将清洗池1分隔成初洗区12和精洗区14，所述初洗区12底部连接有排液管13，所述精洗区14内安装有供液管15，所述清洗池1沿其长度方向两侧的侧壁顶部设有水平且可转动的丝杆16，所述丝杆16上设有可在清洗池1上滑动的滑架2，所述滑架2包括u型架21、连接杆23、橡胶套管24、分隔条25和滑块26，所述u型架21有两组，两组u型架21底部加工有向上凸起的避让槽22，两组u型架21两侧通过多根连接杆23连接，所述连接杆23上间隔安装有多根分隔条25，相邻分隔条25之间的连接杆23上套装有橡胶套管24，外延片竖直放置在相邻分隔条25之间的橡胶套管24上，利用橡胶套管24，可防止外延片的边不会因摩擦造成损坏，保证了外延片的安全，所述u型架21两端设有放置在丝杆16上的滑块26，所述滑块26底面上加工有与丝杆16对齐的半圆形通槽27，通槽27内加工有与丝杆16靠接的螺纹，使用时u型架21通过滑块26放置在丝杆16上，丝杆16旋转时与滑块26上的螺纹相互螺合推动滑架2在清洗池1上从初洗区12向精洗区14移动，滑架2上方设有与清洗池1侧壁连接清洗机构3，所述清洗机构3包括支架31、冲洗管32、冲刷管34、液泵36和高压泵37，所述支架31呈倒u型，支架31两侧固定在清洗池1外侧的侧壁上，所述初洗区12上方的支架31上悬挂安装有冲洗管32，冲洗管32的进水端与液泵36连接，所述液泵36安装在精洗区14内，用于将精洗区14内的清洗液传送至冲洗管32，安装在支架31上的冲洗管32底部加工有多个出水口33，所述精洗区14上方的支架31上安装有呈s型设置的冲刷管34，所述冲刷管34的进水端连接有高压泵37，所述高压泵37置于清洗液内，安装在支架31上的冲刷管34底部安装有多个呈v型分布的喷淋头35，通过喷淋头35喷出的清洗液与家用花洒的冲力相等，不会产生较大的冲力，可防止外延片受损，所述滑架2下方的清洗池1上设有沿清洗池1长度方向设置的旋转机构4，且旋转机构4位于u型架21的避让槽22内，所述旋转机构4包括升降架41、转轴42、硅胶套43和电机44，所述升降架41分别安装在清洗池1两端的内壁上，两个升降架41上安装有水平设置的转轴42，所述转轴42位于u型架21的避让槽22内，转轴42的外壁上套装有硅胶套43，所述转轴42的一端穿过清洗槽后与电机44的输出轴连接，使用时电机44带动转轴42旋转，利用转轴42上的硅胶套43将外延片从滑架2上略微顶起，并利用硅胶套43的摩擦力带动外延片在滑架2上转动，使外延片全方位的暴露在清洗机构3的覆盖范围内，以达到彻底清理的目的，所述精洗区14远离初洗区12一端设有烘干机构5，所述烘干机构5包括热风机51、热风管道52、空气压缩机53和喷吹管54，所述热风机51通过热风管道52与空气压缩机53连接，所述空气压缩机53的出口连接有喷吹管54，所述喷吹管54呈s型绕置在支架31的底面上，喷吹管54底部安装有多个呈v型分布的空气喷头55，利用空气喷头55吹出热风机51加热的热空气对清洗后的外延片进行干燥，将外延片上残留的水渍吹干，以防止水渍干后留下水印，保证了外延片的效果。

本发明的使用方法是：

使用时，将待清洗的外延片竖直放置在相邻分隔条25之间的橡胶套管24上，然后将滑架2放置在清洗池1上，使滑架2两侧的滑块26与与清洗池1上的丝杆16对齐，在滑架2防止在丝杆16上，滑架2上的外延片底部与转轴42上的硅胶套43接触，接着控制丝杆16和转轴42转动，使滑架2从清洗池1的初洗区12向精洗区14移动，移动过程中，转轴42通过硅胶套43带动外延片在滑架2上转动，接着液泵36将精洗区14内的清洗液抽送至冲洗管32，利用冲洗管32底部的出水口33对外延片表面进行冲刷，冲刷完成后滑架2移动至精洗区14，此时高压泵37将清洗液通过冲刷管34上的喷淋头35喷出，利用喷淋的清洗液对外延片进行进一步的清洗，清洗完成后外延片被传送至烘干机构5下方，此时热风机51产生热风，并通过热风管道52传送至空气压缩机53，利用空气压缩机53将热空气架压后通过喷吹管54从空气喷头55喷出，将外延片上残留的清洗液吹干，完成外延片的清洗。

以上所述仅是本发明优选的实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何基于本发明所提供的技术方案和发明构思进行的改造和替换都应涵盖在本发明的保护范围内。应当注意，在附图中所图示的结构或部件不一定按比例绘制，同时本发明省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述，以避免不必要地限制本发明。