一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置的制作方法

1.本发明涉及传输外接装置技术领域，特别是涉及一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在加工的过程中需要使用到传输外接装置，传输外接装置在使用时会对晶圆进行氮气吹扫，来保证晶圆的质量及可靠性。
3.如授权公告号为cn112845298a的发明所公开的一种纳米晶圆产品氮气保护清洗方法，其虽然采用氮气吹送，在雾状水的表面形成气体保护膜，保持液体的表面能，阻挡液滴分子团聚，保证了纳米晶圆的清洗效果，但是氮气清洗时，对晶圆的覆盖不够全面，清洗的效果不够彻底，为此我们提出一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本发明提供一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，通过设计了气缸、气缸活塞、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
5.为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，包括装置主体、晶圆、夹具与连接件，所述连接件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有气缸活塞，所述气缸活塞底端设置有固定块，所述固定块底端外侧设置有伺服电机，所述伺服电机顶端设置有第二转动杆，所述第二转动杆处于固定块内壁外侧开设有限位槽，所述第二转动杆中部表面套设有第二轴承，且所述第二转动杆表面顶端套设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮顶端一侧设置有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮内侧设置有第一转动杆，所述第一转动杆中部表面套设有第一轴承，且所述第一转动杆一端设置有转动环，所述转动环一侧表面设置有环形管，所述环形管一侧设置有喷气管，且所述环形管顶端设置有氮气进气管。
6.作为本发明的一种优选技术方案，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮为啮合连接，且所述第一锥齿轮与第二锥齿轮的规格相同。
7.作为本发明的一种优选技术方案，所述第一轴承内圈固定连接第一转动杆表面，且所述第一轴承外圈固定连接限位槽内侧表面。
8.作为本发明的一种优选技术方案，所述第二轴承内圈固定连接第二转动杆表面，且所述第二轴承外圈固定连接限位槽内侧表面。
9.作为本发明的一种优选技术方案，所述环形管与氮气进气管相连通，且所述环形
管同时与喷气管相连通。
10.作为本发明的一种优选技术方案，所述喷气管的数量共设置有三个，且三个所述喷气管呈四十五度角向内侧倾斜。
11.与现有技术相比，本发明能达到的有益效果是：
12.通过设计了气缸、气缸活塞、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
附图说明
13.图1为本发明的整体正视结构示意图；
14.图2为本发明图1中a处放大结构示意图；
15.图3为本发明的转动环侧视结构示意图；
16.其中：1、装置主体；2、晶圆；3、夹具；4、连接件；5、连接杆；6、气缸；7、气缸活塞；8、氮气进气管；9、固定块；10、伺服电机；11、转动环；12、环形管；13、喷气管；14、第一转动杆；15、限位槽；16、第一轴承；17、第一锥齿轮；18、第二锥齿轮；19、第二转动杆；20、第二轴承。
具体实施方式
17.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本发明，但下述实施例仅仅为本发明的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本发明的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
18.实施例:
19.如图1、图2、图3所示，一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，包括装置主体1、晶圆2、夹具3与连接件4，连接件4一侧设置有连接杆5，连接杆5底端设置有气缸6，气缸6底端设置有气缸活塞7，气缸活塞7底端设置有固定块9，固定块9底端外侧设置有伺服电机10，伺服电机10顶端设置有第二转动杆19，第二转动杆19处于固定块9内壁外侧开设有限位槽15，第二转动杆19中部表面套设有第二轴承20，且第二转动杆19表面顶端套设有第二锥齿轮18，第二锥齿轮18顶端一侧设置有第一锥齿轮17，第一锥齿轮17内侧设置有第一转动杆14，第一转动杆14中部表面套设有第一轴承16，且第一转动杆14一端设置有转动环11，转动环11一侧表面设置有环形管12，环形管12一侧设置有喷气管13，且环形管12顶端设置有氮气进气管8；
20.当需要使用氮气对晶圆2表面进行吹扫时，首先将气缸6与伺服电机10打开，气缸6开启后，通过气缸活塞7的作用，使得固定块9上下运动，伺服电机10开启后，伺服电机10带动第二转动杆19转动，第二转动杆19通过第二轴承20的作用在原地进行旋转，第二转动杆19同时通过第二锥齿轮18带动第一锥齿轮17转动，第一锥齿轮17通过第一轴承16的作用，使得第一转动杆14在原地转动，第一转动杆14在转动的过程中，带动转动环11同时运动，转动环11在运动时，氮气进气管8内部的氮气会通过环形管12与喷气管13的作用下，对晶圆2
表面进行吹扫，完成操作；通过设计了气缸6、气缸活塞7、氮气进气管8、伺服电机10、转动环11、环形管12、喷气管13，当晶圆2从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆2表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆2加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
21.在其他实施例中，本实施例公开了第一锥齿轮17与第二锥齿轮18，请如图2所示，第一锥齿轮17与第二锥齿轮18为啮合连接，且第一锥齿轮17与第二锥齿轮18的规格相同；使得第二锥齿轮18在转动时，可以更好的带动第一锥齿轮17进行转动。
22.在其他实施例中，本实施例公开了第一轴承16，请如图2所示，第一轴承16内圈固定连接第一转动杆14表面，且第一轴承16外圈固定连接限位槽15内侧表面；使得第一转动杆14在受到力的作用时，可以保持在原地进行转动。
23.在其他实施例中，本实施例公开了第二轴承20，请如图2所示，第二轴承20内圈固定连接第二转动杆19表面，且第二轴承20外圈固定连接限位槽15内侧表面；使得伺服电机10在开启后，第二转动杆19可以在原地进行旋转，起到了限位的作用。
24.在其他实施例中，本实施例公开了环形管12，请如图2所示，环形管12与氮气进气管8相连通，且环形管12同时与喷气管13相连通；使得氮气可以从氮气进气管8内部进入到喷气管13内部，并对晶圆2表面进行吹扫。
25.在其他实施例中，本实施例公开了喷气管13，请如图2所示，喷气管13的数量共设置有三个，且三个喷气管13呈四十五度角向内侧倾斜；使得氮气可以更好的接触晶圆2的表面，有效的增加了氮气对晶圆2的覆盖面积。
26.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
27.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。