一种钟罩清洗机的制作方法

1.本发明涉及一种清洗机械，具体与一种钟罩清洗机有关，它用于多晶硅还原炉的钟罩内表面清洗。


背景技术：

2.生产多晶硅的还原炉钟罩，在生产的过程中粘附在内壁一些物料和污物，不仅增加了反应生成过程中的能耗，增加了生产成本，更加影响多晶硅的质量，影响了多晶硅的纯度。为了保证多晶硅还原炉内表面的洁净度，需要对还原炉清洗和烘干等工作。
3.据了解，现有的清洗机械大都比较简陋，机械化自动化程度不高，且清洗效率和效果不尽理想。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术和产品的不足，本发明提供一种钟罩清洗机，它结构科学、机械化自动化程度高，且清洗高质高效。
5.为了达到上述目的，本发明的技术方案是，一种钟罩清洗机，包括：支座支柱组件、驱动系统、执行机构；所述的驱动系统之上连接执行机构，所述的支座支柱组件支撑和固定驱动系统、执行机构以及钟罩；
6.所述的支座支柱组件是圆盘座下连接两根垂直并立的工字钢，工字钢下设有底座板，所述的圆盘座与钟罩配设且可密封其口、其内设有出水口；
7.所述的驱动系统包括升降驱动组件、旋转驱动和开合驱动组合体；所述的升降驱动组件设在支座支柱组件之下，它在伺服电机a前顺次连接减速机a、链轮链条组合a，链轮链条有两套、间开设置，两套链轮分置于支柱上头和下头，两套链条其中的一边连接于旋转驱动和开合驱动组合体的上方和下方；所述的旋转驱动和开合驱动组合体设在两支柱之间、并与工字钢棱配合设有导轮，所述的旋转驱动是在伺服电机b前连接减速机b，减速机前连接圆柱齿轮配合，其从动圆柱齿轮中间固连中心轴、轴为空心，轴的上端进入圆盘座；所述的开合驱动组合是在伺服电机c前连接减速机c，减速机输出端连接链轮链条组合b，从动链轮中间设有螺母，螺母中间设有螺杆，螺杆下装有止转开关块，螺杆上段为光杆、装入中心轴中，此螺杆和光杆构成开合芯杆；所述的旋转驱动和开合驱动组合体下设有限位板；
8.所述的执行机构有一个座板固定在中心轴上，座板上设有伸缩防护罩，防护罩顶面与光杆顶端固连，防护罩之上设有盖头，盖头下设有一进三出水旋转接头，进水口连接进水管，进水管设在光杆中心，进水管下端从螺杆下伸出，接入高压水发生器；所述座板上360度均布设有三条喷枪，喷枪设在支点座上，喷枪上设有调节耳，盖头与喷枪的调节耳间设有拉伸杆，喷枪与旋转水接头间接有高压水管；所述的开合芯杆顶端与伸缩防护罩顶板固连；
9.所述的喷枪是在支撑拉杆上设有调节块，调节块上装有喷杆，喷杆末端装有喷头；
10.所述的伺服电机和减速机均防爆；
11.本发明的有益效果是，它结构科学、机械化自动化程度高，通过三条喷枪的向上合
拢和向水平逐渐展开并下降，使钟罩内壁从弧顶到下圆周面不留死角实现全面彻洗，达到高质高效。
附图说明
12.图1是本发明立体图。
13.图2是本发明驱动系统立体图。
14.图3是本发明升降驱动组件位置图。
15.图4是本发明旋转驱动和开合驱动组合体立体图。
16.图5是本发明旋转驱动和开合驱动组合体主视图。
17.图6是本发明执行机构等剖视图。
18.图7是本发明工作现场示意图。
19.图中：
20.100一种钟罩清洗机；
21.1支座支柱组件、1.1圆盘座、1.2工字钢、1.3座板、1.4出水口；
22.2驱动系统、2.1升降驱动组件、2.11伺服电机a、2.12减速机a、2.13链轮链条组合a，2.14链条上接头、2.15链条下接头、2.16导轮；2.2旋转驱动、2.21伺服电机b、2.22减速机b、2.23圆柱齿轮配合，2.24从动圆柱齿轮、2.25中心轴；2.3开合驱动组合、2.31伺服电机c、2.32减速机c，2.33链轮链条组合b、2.34从动链轮、2.35螺母，2.36螺杆、2.37止转开关块、2.38开合芯杆；2.4限位板；
23.3执行机构、3.1座板、3.2伸缩防护罩、3.3盖头，3.4一进三出水旋转接头、3.5进水口、3.6进水管、3.7进水管下端、3.8喷枪、3.81支撑拉杆、3.82调节块、3.83喷杆、3.84喷头、3.9支点座，3.10调节耳、3.11拉伸杆，3.12高压水管；
24.4钟罩。
具体实施方式
25.以下结合附图对本发明的实施例进一步说明，应当理解，此处所描述的实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
26.如图1至图6所示，一种钟罩清洗机，包括：1支座支柱组件、2驱动系统、3执行机构；所述的驱动系统之上连接执行机构，所述的支座支柱组件支撑和固定驱动系统、执行机构以及4钟罩；
27.所述的支座支柱组件1是圆盘座1.1下连接两根垂直并立的工字钢1.2，工字钢下设有底座板1.3，便于与工作基础固定，保证工作过程稳固；所述的圆盘座与钟罩配设且可密封其口、使工作残液不致外溅，其内设有出水口1.4，便于排放收集残液；
28.所述的驱动系统2包括升降驱动组件2.1、旋转驱动2.2和开合驱动2.3组合体；所述的升降驱动组件2.1设在支座支柱组件之下，它在伺服电机a2.11前顺次连接减速机a2.12、链轮链条组合a2.13，链轮链条有两套、间开设置，两套链轮分置于支柱上头和下头，两套链条其中的一边连接于旋转驱动和开合驱动组合体的上方和下方，链条上接头为2.14、链条下接头为2.15；所述的旋转驱动2.2和开合驱动组合体设在两支柱之间、并与工字钢棱配合设有导轮2.21，所述导轮设有四个以上，成对设置，保证旋转驱动2.2和开合驱
动2.3组合体升降顺利；所述的旋转驱动2.2是在伺服电机b2.22前连接减速机b2.23，减速机前连接圆柱齿轮配合2.24，其从动圆柱齿轮2.25中间固连中心轴2.26、轴为空心，轴的上端进入圆盘座；所述的开合驱动组合2.3是在伺服电机c2.31前连接减速机c2.32，减速机输出端连接链轮链条组合b2.33，从动链轮2.34中间设有螺母2.35，螺母中间设有螺杆2.36，螺杆上段为光杆、装入中心轴中，此螺杆和光杆此螺杆和光杆构成开合芯杆2.38；所述的旋转驱动和开合驱动组合体下设有限位板2.4，用于装行程开关和行程限位；
29.所述的执行机构3有一个座板3.1固定在中心轴上，座板上设有3.2伸缩防护罩，防护罩顶面与光杆顶端固连，防护罩之上设有3.3盖头，盖头下设有一进三出水旋转接头3.4，进水口3.5连接进水管3.6，进水管设在光杆中心，进水管下端3.7从螺杆下伸出，接入高压水发生器；所述座板上360度均布设有三条喷枪3.8，喷枪设在支点座3.9上，喷枪上设有调节耳3.10，盖头与喷枪的调节耳间设有拉伸杆3.11，通过调节耳可以调节拉伸杆在支撑拉杆上的位置，使喷枪更好能放平；喷枪与旋转水接头间接有高压水管3.12；所述的开合芯杆顶端与伸缩防护罩顶板固连，当开合驱动推动开合芯杆升降时，连动拉伸杆而带动喷枪开合；
30.所述的喷枪是在支撑拉杆3.81上设有调节块3.82，调节块上装有喷杆3.83，喷杆末端装有喷头3.84；通过调节块可以调节喷枪的长短，使之与钟罩内径相匹配；
31.所述的伺服电机和减速机均防爆；
32.本发明升降驱动组件驱动连接于旋转驱动和开合驱动组合体中的中心轴升降，使连接于中心之上的执行机构在钟罩中上下工作；旋转驱动齿轮组旋转驱动中心轴旋转，使执行机构在钟罩中旋转复盖清洗；开合驱动驱动螺杆螺母运动，带动开合芯杆的升降，从而实现喷枪的上合和逐渐向下平伸，做到从顶到下全方位清洗。
33.1)钟罩内壁清洗：
34.以高压大流量水射流为动力，自驱动旋转动力喷头，通过喷头升降及合拢、展开动作等完成钟罩内部表面的全方位水力扫射，高压水全部覆盖还原炉内表面；
35.用脱盐水预清洗，用加热的脱盐水清洗，用纯水(漂)洗，完成清洗过程；
36.用经过三级净化(万级)的纯净空气，加热后(50
‑
80℃)烘干加热钟罩，再逐步降温到常温，通过连续干燥，完成干燥过程；
37.2)整套工艺在一个工作平台上，一次吊装，依次实现自动清洗烘干全部功能。也可以实现手动和自动功能；
38.3)圆盘座：接水盘、进排风口，环形结构台、等按承载最大重量和尺寸的钟罩设计；
39.4)圆盘座和钟罩口部采用三元乙丙垫密封(耐腐蚀耐高温)；
40.5)为了避免腐蚀和高温，将清洗钟罩的所有动力机构、传感器等均设置在清洗设备外。
41.本发明执行机构全部选用高等级防腐材料。
42.本发明凡机电及运动部件均设有防护罩进行保护，以防暴露作业损坏。
43.本发明专配有控制系统人机操作界面、配用超高压水发生器。
44.以上所述仅为本发明的实施例之一而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精
神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。