一种硅片制造用清洗机的制作方法

1.本发明涉及硅材料加工技术领域，具体为一种硅片制造用清洗机。


背景技术：

2.由硅片制作的集成电路芯片是常规的半导体产品，而清洗为硅片生产制作的工序之一，其清洗的干净与否对硅片的使用性能有着很大的影响，硅片清洗的主要目的为清洗切割等过程中产生的沙砾、残留的切削磨料等，使硅片表面达到无腐蚀、无氧化、无残留等技术指标，现有的硅片清洗机的具体清洗方式为：将硅片安置在承载硅片的料框内，并将料框浸泡到药液槽内，然后提起料框，沥水后再将料框放入纯水槽浸泡清洗。
3.但现有的硅片清洗机在使用过程中还存在一些缺陷：在料框中硅片一般堆叠放置在其中，此种方式使得硅片与药液或纯水之间接触不充分，导致其清洗不均匀、冲洗不干净等质量问题，同时也易使得料框在放入清洗机和取出清洗机的过程中硅片与硅片或硅片与框壁发生移动和碰撞，出现碎片、隐裂等情况，造成硅片资源浪费；同时，从硅片本身出发，由于在蚀刻等操作后硅片表面会存在图形，使得硅片凹凸不平，卡在硅片沟槽内的表面颗粒难以去除，从而引起硅片产品失效。


技术实现要素：

4.针对背景技术中提出的现有硅片清洗机在使用过程中存在的不足，本发明提供了一种硅片制造用清洗机，具备优化硅片的放置方式，有效提高硅片表面的清洁效率，增强在料框放取过程中硅片的稳定性的优点，解决了上述背景技术中提出的技术问题。
5.本发明提供如下技术方案：一种硅片制造用清洗机，包括机体，所述机体的内部放置有料框，所述料框的内部顶端开设有圆槽，且料框通过圆槽与摇摆柱活动连接，所述摇摆柱的顶端与摇摆件的底端固定连接，所述摇摆件的顶端中部开设有槽，且摇摆件通过槽与防磨垫固定套接，所述摇摆件的顶端四角固定连接有固定件，位于四个所述固定件之间的防磨垫顶端放置有硅片，位于所述摇摆件两侧的料框开设有向摇摆件倾斜的通水孔，位于所述料框下方的机体壁面活动套接有旋转装置，所述旋转装置的外表面设有螺纹，且旋转装置与封堵板活动套接，所述封堵板的顶端与料框的底端接触。
6.优选的，所述固定件的内部活动套接有移动板，且固定件与移动板之间通过弹簧连接，所述移动板的顶端开设有长孔，且移动板通过长孔与入水管固定套接，靠近所述摇摆件中部的入水管侧与固定膜的一端固定连接，且固定膜的另一端穿过固定件与硅片接触，靠近所述摇摆件中部的固定件顶端开设有入水孔，且入水孔与入水管位置对应，所述入水孔的一侧内壁上方固定连接有上块，且另一侧内壁下方固定连接有下块，位于上块和下块之间的所述入水孔与封堵块活动连接。
7.优选的，所述移动板横向开设有螺纹孔，且移动板通过螺纹孔与螺纹杆活动套接，所述螺纹杆的一端与固定件的内壁活动连接，所述螺纹杆的另一端穿过固定件且固定套接有转动件，所述转动件的边缘与硅片的边缘接触。
8.优选的，一个所述摇摆件对应一个封堵板。
9.优选的，所述摇摆件的剖面形状为t型，所述摇摆柱为圆柱体，所述防磨垫的侧面形状为弧形。
10.优选的，一个所述摇摆件对应四个固定件，且固定件位于摇摆件一角，一个所述固定件带有三个固定膜，且三个固定膜为竖直排列，位于所述固定件外部的入水管表面开设有小孔。
11.优选的，一个所述固定件带有一个螺纹杆，一个所述摇摆件上的四个螺纹杆的螺纹方向相同。
12.优选的，位于所述固定件内部的入水管较螺纹杆靠近硅片的中部。
13.优选的，所述封堵块的形状为三角形，且直角边与靠近摇摆件中部的入水孔侧贴合。
14.本发明具备以下有益效果：
15.1、本发明通过在料框的顶端设置摇摆件和固定件，使得硅片采用竖直或倾斜的方式放置在摇摆件上，改变了硅片在料框内的放置方式，避免了多个硅片堆叠造成硅片与溶液或纯水的接触面积少，有效提高了硅片的清洗效率，增强了硅片的清洁效果，同时摇摆件和固定件的使用有效增强了硅片在料框放取时的稳定性，减少了硅片与硅片或硅片与料框之间的碰撞，有效保护了硅片并防止了硅片的性能失效。
16.2、本发明通过在硅片两侧的料框上设置通水孔，利用旋转装置旋转带动封堵板封堵通水孔，改变了水流进入料框内的方向，使得硅片能够在水流冲击下摆动，从而水流对硅片表面产生多角度清洗，有效提高了对硅片沟槽内颗粒的清洗力度，减少了硅片清洗死角的产生，防止了硅片的性能降低。
17.3、本发明通过在移动板上设置螺纹孔，并设置螺纹杆与之适配，使得在摇摆件摇摆时移动板的移动带动螺纹杆自旋转，从而转动件推动硅片旋转，有效改变了硅片的放置方向，进一步提高了硅片与水流接触程度，避免了与固定件接触的硅片部分清洗不充分，增强了硅片的清洁效果。
18.4、本发明通过在移动板上设置入水管和固定膜，并在固定件的顶端设置入水孔和封堵块，使得在固定件摇摆时向硅片方向移动的移动板打开了入水孔，并使得溶液利用入水管和固定膜冲洗硅片的下方部分，进一步提高了溶液与硅片的接触面积，防止了硅片清洁不充分造成硅片的性能降低。
附图说明
19.图1为本发明硅片竖直状态位于入水管处的整体结构示意图；
20.图2为本发明图1中a处结构局部放大示意图；
21.图3为本发明硅片倾斜状态位于入水管处的整体结构示意图；
22.图4为本发明图3中b处结构局部放大示意图；
23.图5为本发明图4中c处结构局部放大示意图；
24.图6为本发明硅片竖直状态位于螺纹杆处的整体结构示意图；
25.图7为本发明图6中d处结构局部放大示意图；
26.图8为本发明硅片倾斜状态位于螺纹杆处的整体结构示意图；
27.图9为本发明图8中e处结构局部放大示意图；
28.图10为本发明中位于固定件处的料框侧视局部结构示意图；
29.图11为本发明中位于硅片处的料框侧视局部结构示意图；
30.图12为本发明中料框俯视局部结构示意图。
31.图中：1、机体；11、进水管；12、出水管；2、料框；21、通水孔；3、旋转装置；31、封堵板；4、摇摆件；41、摇摆柱；42、防磨垫；5、固定件；51、入水孔；52、封堵块；6、移动板；7、入水管；71、固定膜；8、螺纹杆；81、转动件；9、硅片。
具体实施方式
32.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.请参阅图1、图3、图6、图8，一种硅片制造用清洗机，包括机体1，机体1的底端中部开设有孔，且机体1通过孔与进水管11固定套接，机体1的上方两侧开设有孔，且机体1通过孔与出水管12固定套接，机体1的内部放置有料框2，且料框2的侧壁开设有过水孔，料框2的最高端过水孔与出水管12齐平，料框2的内部顶端开设有圆槽，且料框2通过圆槽与形状为圆柱体的摇摆柱41活动连接，摇摆柱41的顶端与摇摆件4的底端固定连接，摇摆件4的剖面形状为t型，能够使得在摇摆件4两侧受力不同时摇摆件4和摇摆柱41旋转摇摆，实现硅片9的往复摆动，摇摆件4的顶端中部开设有槽，且摇摆件4通过槽与防磨垫42固定套接，防磨垫42的侧面形状为弧形，能够有效的与硅片9的底端接触，减小了硅片9旋转时与摇摆件4之间的摩擦作用，提高了对硅片9的保护作用。
34.请参阅图1、图3、图6、图8，进一步的，位于摇摆件4两侧的料框2开设有向摇摆件4倾斜的通水孔21，位于料框2下方的机体1壁面活动套接有旋转装置3，一个摇摆件4对应一个封堵板31，能够使得旋转装置3正向旋转促使封堵板31移动并封堵摇摆件4左侧的通水孔21，旋转装置3反向旋转促使封堵板31移动并封堵摇摆件4右侧的通水孔21，由此进入料框2内的水流改变了进入方向，从而促使摇摆件4摇摆，提高硅片9的清洗效率，旋转装置3的外表面设有螺纹，且旋转装置3与封堵板31活动套接，封堵板31的顶端与料框2的底端接触。
35.请参阅图10、图12，进一步的，摇摆件4的顶端四角固定连接有固定件5，即一个摇摆件4对应四个固定件5，且固定件5位于摇摆件4一角，能够使得摇摆件4有效对硅片9进行固定，从而保持硅片9的稳定性，位于四个固定件5之间的防磨垫42顶端放置有硅片9，同时位于固定件5内部的入水管7较螺纹杆8靠近硅片9的中部，能够有效的促使固定膜71对硅片9进行固定，转动件81对硅片9进行旋转，使得硅片9在清洗效果更好的同时稳定性增强。
36.请参阅图2、图4，进一步的，固定件5的内部活动套接有移动板6，且固定件5与移动板6之间通过弹簧连接，移动板6的顶端开设有长孔，且移动板6通过长孔与入水管7固定套接，靠近摇摆件4中部的入水管7侧与固定膜71的一端固定连接，且固定膜71的另一端穿过固定件5与硅片9接触，一个固定件5带有三个固定膜71，且三个固定膜71为竖直排列，位于固定件5外部的入水管7表面开设有小孔，能够使得由入水孔51进入的水能够从固定膜71小孔流出，从而对此位置的硅片9表面进行有效清理，提高硅片9的清洁效果。
37.请参阅图5，进一步的，靠近摇摆件4中部的固定件5顶端开设有入水孔51，且入水孔51与入水管7位置对应，入水孔51的一侧内壁上方固定连接有上块，且另一侧内壁下方固定连接有下块，位于上块和下块之间的入水孔51与封堵块52活动连接，封堵块52的形状为三角形，且直角边与靠近摇摆件4中部的入水孔51侧贴合，能够有效的促使移动板6在移动过程中推动封堵块52上下移动，从而实现入水孔51的打开与闭合。
38.请参阅图7、图9、图11-图12，进一步的，移动板6横向开设有螺纹孔，且移动板6通过螺纹孔与螺纹杆8活动套接，一个固定件5带有一个螺纹杆8，一个摇摆件4上的四个螺纹杆8的螺纹方向相同，由于摇摆件4摇摆时四个移动板6都向同一方向移动，因此四个螺纹杆8螺纹相同的设置有效的使得四个螺纹杆8同向旋转，从而带动硅片9旋转改变方向，扩大清洗面积，进一步提高清洗效果，螺纹杆8的一端与固定件5的内壁活动连接，螺纹杆8的另一端穿过固定件5且固定套接有转动件81，转动件81的边缘与硅片9的边缘接触。
39.图1和图3为不同状态时入水管7剖面的结构关系，由图1到图2，封堵板31由摇摆件4下方移到左侧通水孔21下方，硅片9向左旋转，四个移动板6均向左移动，位于左侧的移动板6远离硅片9，位于右侧的移动板6靠近硅片9，且位于右侧的移动板6推动封堵块52上移，由此实现了溶液由入水管7、固定膜71输入硅片9下方而有效清洁硅片9的效果；图6和图8为不同状态时硅片9剖面的结构关系，由图6到图8，移动板6移动带动四个螺纹杆8同向旋转，由此实现四个转动件81带动硅片9旋转而改变硅片9方向，提高硅片9的清洁效果。
40.本发明的使用方法工作原理如下：
41.将硅片9放置在四个固定件5之间，并使固定膜71与硅片9接触，此时硅片9在料框2内部呈竖直状态，有效避免了多个硅片9叠加放置造成的清洁效率低下，然后将料框2竖直放入机体1内，并由进水管11向机体1内通入溶液，液体逐渐浸没硅片9并清理硅片9的表面，使用后的溶液再由出水管12排出，在此过程中，启动旋转装置3，使旋转装置3正向旋转并推动封堵板31移动到摇摆件4左侧的通水孔21下方，从而封堵板31封堵通水孔21，使溶液只能由摇摆件4右侧的通水孔21进入料框2内，促使硅片9受到右侧水流的冲击而带动摇摆件4向左摆动，此时固定件5内部的移动板6受重力影响而向左侧移动，使得位于摇摆件4左侧的移动板6远离硅片9，位于摇摆件4右侧的移动板6靠近硅片9，当右侧的移动板6顶端与封堵块52接触时，推动封堵块52向上运动从而打开入水孔51，使得溶液由入水孔51、入水管7流向固定膜71，并由固定膜71的小孔流出，有效清洁了硅片9的下方，防止了硅片9下方被固定件5固定而无法清洁彻底，与此同时四个移动板6的移动带动了螺纹方向相同的四个螺纹杆8旋转，使得与硅片9边缘接触的四个转动件81顺时针旋转，从而带动硅片9逆时针转动，由此改变了硅片9的放置方向，进一步扩大了溶液与硅片9不同位置的接触面积，增强了溶液的清洁效果，提高了其清洁效率，当硅片9表面保持左摇摆清洁一定时间后，再次启动旋转装置3使之反向旋转，使得封堵板31封堵右侧的通水孔21，从而水流冲击硅片9向右摆动，同时固定膜71清洗硅片9的下方、转动件81带动硅片9旋转，综上，改变水流的流动轨迹，使得硅片9左右摆动，多方位对硅片9表面进行清洁，有效提高了硅片9的清洁效果，避免了硅片9表面沟槽灰尘颗粒残留。
42.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
43.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。