一种硅处理碱洗液浸泡装置的制作方法

1.本实用新型属于浸泡装置技术领域，具体涉及一种硅处理碱洗液浸泡装置。


背景技术：

2.由于具有优良的半导体性质，硅可以用来制作高纯半导体、光导纤维通信材料等，被广泛应用于航空航天、能源、电子电气等行业。
3.为了节能降耗，硅处理再利用势在必行。硅处理再利用通常是将使用后的硅材料进行破碎形成片材，再对硅片进行表面处理除杂，进一步后处理再利用。除杂过程通常是将硅片浸泡到碱洗液中进行清洗，该浸泡过程一般为静止状态，浸泡不均匀，除杂效果不佳；同时除杂后的硅片不能从碱洗液中方便地取出。


技术实现要素：

4.针对现有浸泡装置除杂效果差、收取不便的问题，本实用新型提供一种硅处理碱洗液浸泡装置，浸泡效果好、除杂效果佳、硅片收取方便。
5.本实用新型的技术方案为：
6.一种硅处理碱洗液浸泡装置，包括碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构；碱洗槽顶部设有左、右两个支撑架，支撑架内壁均设有旋转升降机构，旋转升降机构连接浸泡篮，浸泡篮位于碱洗槽正上方，使用状态下，浸泡篮位于碱洗槽内；
7.所述浸泡篮设有若干条形镂空；
8.所述旋转升降机构包括第一安装座，第一安装座内设有升降电机，升降电机输出端连接丝杆，丝杆上活动设有丝母座，丝母座连接第二安装座，第二安装座内设有旋转电机，旋转电机输出端连接转轴，转轴另一端连接浸泡篮；所述转轴为z型结构。
9.进一步地，浸泡篮顶部设有进料口，进料口处转动连接活动门，且浸泡篮上设有与活动门相匹配的门栓。通过开启活动门，实现待处理硅片的进料和收取，关闭活动门，开启浸泡工序。
10.进一步地，左、右两个支撑架之间还设有接料槽，使用时，接料槽设置于碱洗槽和浸泡篮之间。当需要卸料时，放置接料槽，翻转浸泡篮，开启活动门，经碱洗液清洗后的硅片落入接料槽中放置，便于收取。
11.进一步地，接料槽两侧设有突起，且支撑架上设有凹槽，突起和凹槽配合连接。接料槽方便置于支撑架上，当接料槽内的硅片需转移进行后处理时，可直接取下接料槽。
12.进一步地，接料槽的底部设有过滤网。浸泡篮浸泡完成后会夹带少量的碱洗液，卸料时此部分碱洗液由过滤网漏入碱洗槽中，可回收利用。
13.进一步地，碱洗槽底部设有出液口，出液口上设有阀门。当需要更换碱洗槽中的碱洗液时，打开阀门，碱洗槽中的废液由出液口流入排污管道中。
14.进一步地，浸泡篮的长度与碱洗槽的长度比为0.5-0.7，浸泡篮的宽度与碱洗槽的宽度比为0.5-0.7。确保浸泡清洗效果。
15.本实用新型的工作原理为：
16.碱洗槽中注满碱洗液，将待处理硅片放入浸泡篮中，关闭活动门，升降电机驱动丝杆进实现丝母座下降，浸泡篮随之下降，最终浸泡篮位于碱洗槽中进行浸泡，可持续或间隔控制旋转电机带动浸泡篮旋转，使得待处理硅片与碱洗液充分接触，有利于待处理硅片浸泡完全，提高浸泡效果；清洗完成后，升降电机实现浸泡篮上升，此时浸泡篮移出碱洗槽并位于碱洗槽上方，将接料槽安装于支撑架上的凹槽内，开启旋转电机翻转，当浸泡篮的活动门朝下时，开启活动门，浸泡篮中的硅片落入接料槽中，取下浸泡篮将除杂后的硅片转移至下一步工序，碱洗槽中的碱洗液可以重复利用多次，当碱洗槽中的杂质过多时，打开阀门，废液将由出液口流入排污管道。
17.本实用新型的有益效果在于，
18.(1)通过设置碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构，有利于待处理硅片浸泡完全，提高浸泡效果，升降机构和丝杆可带动浸泡篮上下升降，灵活调节位置，旋转电机可带动浸泡篮进行旋转角度，既能实现接触充分，又能方便取料；通过配合设置接料槽，经碱洗液清洗后的硅片落入接料槽中放置，便于收取；
19.(2)本实用新型提供的硅处理碱洗液浸泡装置，浸泡效果好、除杂效果佳、硅片收取方便。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1是实施例1提供的硅处理碱洗液浸泡装置的结构示意图；
22.图2是实施例1提供的旋转升降机构的结构示意图；
23.图3是实施例1提供的碱洗槽的结构示意图；
24.图4是实施例2提供的硅处理碱洗液浸泡装置的结构示意图；
25.图中，1、碱洗槽；2、支撑架；3、旋转升降机构；4、浸泡篮；5、条形镂空；6、活动门；7、门栓；8、第一安装座；9、升降电机；10、丝杆；11、丝母座；12、第二安装座；13、旋转电机；14、转轴；15、出液口；16、阀门；17、接料槽；18、突起；19、凹槽；20、过滤网。
具体实施方式
26.下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步描述，但本实用新型的保护范围并不仅限于此。
27.实施例1
28.一种硅处理碱洗液浸泡装置，包括碱洗槽1、浸泡篮4和旋转升降机构3；
29.碱洗槽1可为顶部开口的箱体结构，碱洗槽1底部设有出液口15，出液口上设有阀门16；当需要更换碱洗槽中的碱洗液时，打开阀门，碱洗槽中的废液由出液口流入排污管道中；
30.浸泡篮4可为半圆柱形结构，也可为其他形状，既可以满足浸泡需要，又可以满足旋转卸料要求即可；浸泡篮设有若干条形镂空5，条形镂空5避免硅片从浸泡篮4中掉落，同
时实现碱洗液能够与浸泡篮4中的待处理硅片充分接触，提高浸泡效果；浸泡篮4顶部设有进料口，进料口处转动连接活动门6，且浸泡篮4上设有与活动门6相匹配的门栓7；通过开启活动门6，实现待处理硅片的进料和收取，关闭活动门6，开启浸泡工序；
31.旋转升降机构3包括第一安装座8，第一安装座8内设有升降电机9，升降电机9输出端连接丝杆10，丝杆10上活动设有丝母座11，丝母座11连接第二安装座12，第二安装座12内设有旋转电机13，旋转电机13输出端连接转轴14，转轴14另一端连接浸泡篮4；所述转轴14为z型结构；
32.碱洗槽1顶部设有左、右两个支撑架2，每个支撑架2内壁同一位置均设有旋转升降机构3，旋转升降机构3连接浸泡篮4，浸泡篮4位于碱洗槽1正上方，其中，浸泡篮的长度与碱洗槽长度比为0.7，浸泡篮的宽度与碱洗槽的宽度比为0.7，满足浸泡篮升降和翻转，使用状态下，浸泡篮4位于碱洗槽1内。
33.实施例2
34.在实施例1的基础之上，两个支撑架2之间还设有接料槽17，接料槽17呈箱体状，接料槽17的底部设有过滤网20。浸泡篮4浸泡完成后会夹带少量的碱洗液，卸料时此部分碱洗液由过滤网20漏入碱洗槽1中，可回收利用，接料槽17顶部两侧设有突起18，左、右两个支撑架2内壁同一高度上均设有凹槽19，突起18和凹槽19配合连接，使用状态下，接料槽17设置于碱洗槽1和浸泡篮4之间。当需要卸料时，放置接料槽17，翻转浸泡篮4，开启活动门6，经碱洗液清洗后的硅片落入接料槽17中放置，便于收取。
35.尽管通过优选实施例的方式对本实用新型进行了详细描述，但本实用新型并不限于此。在不脱离本实用新型的精神和实质的前提下，本领域普通技术人员可以对本实用新型的实施例进行各种等效的修改或替换，而这些修改或替换都应在本实用新型的涵盖范围内/任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。