用于清洗机的防护装置以及清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种用于清洗机的防护装置以及清洗机。


背景技术：

2.在集成电路组件的工艺中，最频繁的工序便是晶圆清洗。晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的有机化合物、金属杂质或微粒等污染物。而这些污染物对于产品后续工艺步骤的影响非常大。例如金属杂质的污染会造成漏电，微粒的附着会影响微影工艺图案转移的真实性，甚至造成电路结构短路。因此，在晶圆清洗工艺中，必须有效去除附着于晶圆表面的污染物。
3.目前业界大多采用专用的清洗机清洗晶圆。现有技术中的清洗机在晶圆传送路径下方，如水槽和酸洗槽之间设置接液盘，接液盘用于接收滴落下来的化学药液，其中接液盘的底部上开设有用于排出接液盘上的液体的排液口。
4.目前半导体行业对晶圆制造清洗工艺的要求越来越高，晶圆在从酸洗槽转移到水槽的过程中会有化学药液滴落在酸洗槽和水槽之间的接液盘上，当接液盘的排液口因某些原因导致排放不畅时会从排液口返水，因排液口处无任何的遮挡，返水时容易存在液体飞溅现象。液体飞溅会导致机台报警，甚至于会飞溅到晶圆的表面，造成晶圆缺陷。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题中的至少一个技术问题，本实用新型的目的在于提供一种用于清洗机的防护装置以及清洗机，通过在排液口处设置遮挡，排液口返水时可避免液体飞溅导致设备报警的问题，而且还可避免液体飞溅到产品上而造成产品报废的问题。
6.为实现上述目的，根据本实用新型的第一个方面，提供了一种用于清洗机的防护装置，所述清洗机包括接液盘，所述接液盘上设置有排液口，所述防护装置包括外管，所述外管的一端开口，另一端封闭；所述外管用于固定设置于所述排液口的外部并罩设住所述排液口，所述外管的内腔用于与所述排液口连通；所述外管的侧面设置有至少一个第一出口。
7.优选地，所述防护装置还包括至少一端开口的内管，所述内管上形成开口的一端用于插入所述排液口，另一端与所述外管固定连接，且所述内管与所述外管之间具有间隙，所述内管上设置有至少一个第二出口，所述第二出口至少部分设置在所述外管外，且所述第二出口与所述第一出口错位布置。
8.优选地，所述内管与所述外管同轴设置。
9.优选地，所述第二出口的数量为两个，两个所述第二出口对称设置。
10.优选地，所述外管与所述内管为一体成型结构或分体成型结构。
11.优选地，所述外管的材料为透明树脂材料，和/或，所述内管的材料为透明树脂材料。
12.优选地，所述第二出口的一部分设置在所述外管外，另一部分设置在所述外管内。
13.优选地，所述第一出口的数量为两个，两个所述第一出口对称设置。
14.优选地，所述第一出口设置于所述外管的开口端的端面处，所述第一出口的底部与所述排液口平齐。
15.为实现上述目的，根据本实用新型的第二个方面，提供了一种清洗机，包括酸洗槽、接液盘和任一项所述的用于清洗机的防护装置，所述接液盘设置于所述酸洗槽的外部，所述接液盘上设置有排液口，所述防护装置设置于所述排液口处。
16.上述清洗机通过在接液盘的排液口处设置防护装置，当排液口出现返水问题时，因排液口处有防护装置遮挡，返水时不会存在液体飞溅现象，避免液体飞溅导致设备报警的问题，而且还可避免液体飞溅到待清洗产品上而造成产品缺陷的问题。当然防护装置既可排出返水的液体，也可将接液盘内的液体排入排液口。上述防护装置可以只包括一个外管，结构简单，使用方便，成本低。
17.上述防护装置优选还包括内管，所述内管的第二出口与外管上的第一出口错位布置，从而通过内管固定外管，并通过内管进一步缓冲液体，防飞溅效果更好。此外，内管和外管优选由透明树脂材料制成，便于肉眼观察返水或排水情况。
附图说明
18.附图用于更好地理解本实用新型，不构成对本实用新型的不当限定。
19.其中：
20.图1为本实用新型优选实施例中的防护装置的立体结构示意图；
21.图2为本实用新型优选实施例中的防护装置的主视图；
22.图3为沿图2所示的a
‑
a连线剖切得到的防护装置的轴向剖面；
23.图4为本实用新型优选实施例中的防护装置安装于接液盘处进行防护的结构示意图；
24.图5为图4所示的b处位置的局部放大图。
具体实施方式
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.请参考图1至图3，本实施例提供了一种防护装置10，用于清洗机，以对清洗机上的接液盘处的排液口进行防护，避免排液口处液体飞溅导致机台宕机的问题，还可避免液体
飞溅导致的产品报废风险。进一步的，该防护装置10用于清洗晶圆用的清洗机。
28.参考图4，本实施例还提供一种清洗机，包括酸洗槽3和设置在酸洗槽3外部的接液盘1，接液盘1的底部设置有排液口4。所述清洗机还可包括水槽2，接液盘1设置在水槽2和酸洗槽3之间，接液盘1用于接收滴落下来的化学药液，排液口4用于排出接液盘1内的液体。所述清洗机还可包括传送机构5，用于传送待清洗的产品，如晶圆6。
29.以下描述中，以清洗晶圆用的清洗机作为示意，对本实用新型的防护装置10的结构做进一步的说明，但本领域技术人员应当知晓还可将该防护装置10应用于非清洗晶圆用的清洗机台。
30.返回参考图1至图3，防护装置10具体包括外管11，外管11的一端开口以形成开口端，另一端封闭以形成封闭端。
31.请参考图4和图5，本实施例中，防护装置10设置于接液盘1的排液口4处，其中外管11固定设置于排液口4的外部并罩设住排液口4，且外管11的内腔与排液口4连通。此外，外管11的侧面设置有第一出口111。当排液口4出现返水问题时，因排液口4处有外管11遮挡，返水时不会存在液体飞溅现象，避免液体飞溅导致设备报警的问题，而且还可避免液体飞溅到晶圆6上而造成晶圆6报废的问题。当然第一出口111既可排出返水的液体，也可将接液盘1内的液体排入排液口4。
32.本技术对第一出口111的数量不作特别要求，第一出口111的数量可以是一个或多个，多个是指至少两个。本实施例中，第一出口111的数量为两个，优选对称设置。第一出口111的位置一般较低为宜，可以较顺利地排出接液盘1内的液体，也可较顺利地排出返水的液体。
33.本实施例中，外管11的开口端的端面处设置第一出口111，第一出口111的底部直接与排液口4的顶端平齐。第一出口111的形状不作限制，包括但不限于长方形，而将第一出口111制作为长方形，加工较为方便。
34.本技术对外管11的材质不作限制，通常选用较为轻便的材料，如采用塑料制备外管11，成本低。外管11的材质最好为耐高温和耐腐蚀的材料，以较好地在耐高温和耐腐蚀的环境中使用。可选的，外管11的材料为透明树脂材料，如pfa等。pfa塑料，耐磨性好，且pfa塑料所制作的外管11的颜色通常为白色透明，易被观察。
35.防护装置10优选还包括内管12，内管12用于插入排液口4，且内管12与外管11连接，从而通过内管12可以将外管11固定在接液盘1上，且通过内管12还可缓冲返水的液体，降低从第一出口111排出的液体飞溅的风险。内管12的至少一端开口，内管12上开口的一端插入排液口4，另一端插入外管11并与外管11固定连接。此外，内管12与外管11之间具有间隙，优选内管12与外管11同轴设置。另外，内管12的侧面设置有第二出口121，使进入内管12的液体从第二出口121进入外管11，再从外管11的第一出口111排出，或者从第一出口111进入外管11的液体，最终从内管12的第二出口121进入内管12。其中，第一出口111和第二出口121错位布置。“错位布置”是指在垂直于轴线的同一投影平面上，第一出口111和第二出口121完全不重合。
36.本技术对第二出口121的数量亦没有要求。第二出口121的数量可以是一个或多个，本实施例中，第二出口121的数量为两个，优选对称设置。第二出口121可以是一部分在排液口4内，另一部分在排液口4外，也即，所述第二出口121的一部分设置在外管11外，另一
部分设置在外管11内，或者第二出口121还可以是全部都在排液口4外，即第二出口121的全部在外管11内。本实施例中，第二出口121的一部分设置在排液口4内，另一部分在排液口4外，防飞溅效果更好。第二出口121的形状不作限制，包括但不限于长方形，而将第二出口121制作为长方形，加工较为方便。
37.本技术对内管12的材质不作限制。进一步的，内管12的材料与外管11的材料相同。内管12插入排液口4的长度不加限制，外管11的高度也不限定，外管11的高度不会影响晶圆6的正常传送即可。外管11和内管12可分体成型后组装在一起，或两者一体注塑成型。
38.在一非限制性的实施例中，防护装置10的轴向总长度l为85mm，外管11的轴向长度l1为43mm。可选的，第一出口111为长方形，长度l2可为7mm，宽度w2可为5mm。可选的，第二出口121为长方形，长度l3为15mm，宽度w3为6mm。可选的，外管11的外径为19mm，内径为16mm。可选的，内管12的外径为10mm，内径为8mm。可选的，第二出口121距离内管12插入排液口4的一端的最小距离d为35mm。应理解，本技术对外管11和内管12的尺寸不作特别的限制，只需根据实际情况进行相应设置即可。
39.所应理解，上述实施例具体公开了本实用新型优选实施例的特征，使得本领域技术人员可以更好地理解本实用新型。本领域技术人员应当理解，在本技术文件公开内容的基础上，容易将本实用新型做适当修改，以实现与本实用新型所公开的实施例相同的目的和/或实现相同的优点。本领域技术人员还应该认识到，这样的相似构造不脱离本实用新型公开的范围，并且在不脱离本实用新型公开范围的情况下，它们可以进行各种改变、替换和变更。