一种自循环超纯水设备的制作方法

1.本实用新型涉及一种自循环超纯水设备，属于半导体生产技术领域。


背景技术：

2.超纯水又称up水，这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，超纯水是为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，其电阻率大于18 mω*cm，或接近18.3 mω*cm极限值（25℃），简单得说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
3.在生产半导体材料时，越来越多的使用自循环超纯水设备生产超纯水，但是，厂房中的超纯水生产设备生产环境较差，十分容易堆积灰尘，并且厂房中的温度、湿度往往随着天气不断变化，影响超纯水设备的使用寿命，在超纯水设备由于结构与零件较多，在检修维护时工作人员往往需要拆卸较多零件才可进入超纯水设备内部维修，维修时费时费力，因此，需要一种自循环超纯水设备。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种自循环超纯水设备，通过设置箱体，箱体可以将设备本体密封，从而减少设备本体与尾部环境的接触，减少外部环境的因素使设备本体发生生锈或撞击等现象，并且箱体可以通过液压缸与顶板带动向上移动，当工作人员对设备本体进行检修时，可以打开出风口进入设备本体中心，方便对设备本体进行检修和维护，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种自循环超纯水设备,包括底板，所述底板上方一侧设有立柱，所述立柱一侧设有控制箱，所述控制箱上方位于所述立柱表面设有液压缸，所述液压缸输出端连接有顶板，所述顶板一侧固定连接有滑块，所述滑块内部贯穿连接有导向杆，所述导向杆两端嵌入于定位块内部，所述滑块下方一侧设有压力弹簧，所述压力弹簧套接于所述导向杆外部，所述压力弹簧底部与垫板连接，所述滑块一侧固定连接有箱体，所述箱体内部设有设备本体，所述设备本体上方一侧设有进风口，所述进风口内部设有鼓风机，所述箱体底部设有出风口，所述出风口下方连接有手柄，所述箱体内部上方一侧设有温度传感器。
7.进一步的，所述滑块数量为八个并分别设于所述箱体的八个角上，所述顶板数量为四组并分别设于所述箱体上方的四个所述滑块上，所述顶板一端延伸至所述立柱外侧，所述滑块在所述导向杆上滑动连接。
8.进一步的，所述垫板下方一侧设有支座，且相邻的所述垫板之间的距离大于所述出风口的直径。
9.进一步的，所述箱体上方位于所述箱体内壁上设有通风口，所述进风口、所述出风口与所述通风口上均设有防尘滤网。
10.进一步的，所述手柄数量为两个并对称设于所述出风口下方，所述出风口通过外部设有螺纹，所述出风口通过螺纹与所述箱体连接。
11.进一步的，所述控制箱内部设有plc控制器，所述温度传感器输出端与所述控制箱输入端通过导线电性连接，所述控制箱输出端与所述鼓风机输入端通过导线电性连接。
12.本实用新型的有益效果是：
13.1、通过在设置箱体，箱体可以将设备本体密封，从而减少设备本体与尾部环境的接触，减少外部环境的因素使设备本体发生生锈或撞击等现象，箱体外部设有滑块，滑块下方设有压力弹簧，当厂房中因机械生产而发生震动时，压力弹簧变形收缩，从而可以降低震动向箱体的传动，箱体上设有鼓风机与温度传感器，温度传感器可以实时监测箱体内设备运行的温度，在箱体内部温度过高时运行将箱体内的热量排出，从而使设备本体可以在合适的温度下工作，延长设备的使用寿命。
14.2、通过在箱体下方设置可以拆卸的出风口，并且箱体可以通过液压缸推动顶板进行上下移动，当设备本体需要进行检修时，可以使用液压缸将箱体向上升起，然后转动手柄，转动手柄时可以带动出风口转动，从而可以将出风口拆卸下来，使工作人员可以通过垫板之间的空间通过并从出风口进入设备本体内部，方便工作人员从设备底部与设备内部进行检修，减少零件的拆卸数量，降低工作人员的检修难度。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
16.图1是本实用新型一种自循环超纯水设备的剖视图；
17.图2是本实用新型一种自循环超纯水设备的俯视图；
18.图3是本实用新型一种自循环超纯水设备的a处区域放大图；
19.图中标号：1、底板；2、立柱；3、控制箱；4、液压缸；5、顶板；6、滑块；7、导向杆；8、定位块；9、压力弹簧；10、垫板；11、箱体；12、设备本体；13、进风口；14、鼓风机；15、出风口；16、手柄；17、温度传感器；18、通风口。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：
22.一种自循环超纯水设备，包括底板1，所述底板1上方一侧设有立柱2，所述立柱2一侧设有控制箱3，所述控制箱3上方位于所述立柱2表面设有液压缸4，所述液压缸4输出端连接有顶板5，所述顶板5一侧固定连接有滑块6，所述滑块6内部贯穿连接有导向杆7，所述导向杆7两端嵌入于定位块8内部，所述滑块6下方一侧设有压力弹簧9，所述压力弹簧9套接于所述导向杆7外部，所述压力弹簧9底部与垫板10连接，所述滑块6一侧固定连接有箱体11，所述箱体11内部设有设备本体12，所述设备本体12上方一侧设有进风口13，所述进风口13
内部设有鼓风机14，所述箱体11底部设有出风口15，所述出风口15下方连接有手柄16，所述箱体11内部上方一侧设有温度传感器17。
23.具体的，如图1、图2所示，所述滑块6数量为八个并分别设于所述箱体11的八个角上，所述顶板5数量为四组并分别设于所述箱体11上方的四个所述滑块6上，所述顶板5一端延伸至所述立柱2外侧，所述滑块6在所述导向杆7上滑动连接，滑块6可以在导向杆7上上下移动，从而方便带动箱体11上下升起。
24.具体的，如图1、图3所示，所述垫板10下方一侧设有支座，且相邻的所述垫板10之间的距离大于所述出风口15的直径，所述手柄16数量为两个并对称设于所述出风口15下方，所述出风口15通过外部设有螺纹，所述出风口15通过螺纹与所述箱体11连接，垫板10之间的空间方便工作人员进入箱体11下方，从而方便通过出风口15进入设备本体12内部。
25.具体的，如图1、图2所示，所述箱体11上方位于所述箱体11内壁上设有通风口18，所述进风口13、所述出风口15与所述通风口18上均设有防尘滤网，进风口13、出风口15与通风口18方便箱体11内部空气循环。
26.具体的，如图1所示，所述控制箱3内部设有plc控制器，所述温度传感器17输出端与所述控制箱3输入端通过导线电性连接，所述控制箱3输出端与所述鼓风机14输入端通过导线电性连接，温度传感器17可以检测箱体11内的温度，使鼓风机14可以在箱体11内温度过高时启动将箱体11内的热量排出。
27.本实用新型工作原理：使用时，当需要对设备本体12进行检修时，可以启动液压缸4，液压缸4运行时可以带动顶板5向上移动，从而可以带动滑块6沿着导向杆7向上移动，滑块6向上移动时可以带动箱体11向上移动，当箱体11向上移动至合适的位置后，关闭液压缸4，然后工作人员进入箱体11下方，然后用手转动手柄16，转动手柄16时可以带动出风口15转动，从而可以将出风口15从箱体11上取下，接着工作人员通过出风口15进入设备本体12内部进行检修维护，在设备运行时箱体11内的温度过高时，控制箱3检测到温度传感器17的异常温度，发送指令启动鼓风机14，鼓风机14运行将箱体11内的热空气通过出风口15与通风口18排出，从而降低设备本体12的温度，使设备本体12可以正常运行，提高设备本体12的使用寿命。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。