针测机用除尘装置的制作方法

1.本实用新型属于自动化除尘领域，具体涉及一种针测机用除尘装置。


背景技术：

2.随着晶圆的接点间距逐渐减小，晶圆表面的颗粒可能会导致接点产生桥接、形变等异常，影响产品良率，甚至可能会导致探针卡烧针或者测试机电路板损坏，另外，铝屑等颗粒的残留，会影响晶圆的外观检测良率。因而，急需一种去除晶圆表面颗粒的除尘装置。
3.因此，针对上述技术问题，有必要提供一种针测机(prober)用除尘装置。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种针测机用除尘装置，以实现晶圆表面的除尘。
5.为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：
6.一种针测机用除尘装置，所述除尘装置包括进气管道及抽气罩，所述进气管道上开设有与针测机内部连通的出气口，所述进气管道外接的进气装置所产生的气流经所述进气管道和所述出气口吹至所述针测机内晶圆的表面，以吹起所述晶圆表面的颗粒，所述抽气罩与所述针测机的接口环配合安装，所述抽气罩外接的抽气装置通过所述抽气罩抽出被吹起的所述颗粒。
7.一实施例中，所述抽气罩的底部具有承靠部，所述承靠部与所述针测机部分的所述接口环配合安装。
8.一实施例中，所述进气管道跨接设置于所述针测机的所述接口环上并且所述进气管道水平安装于所述抽气罩的侧壁上。
9.一实施例中，所述抽气罩包括腔室和连接管，所述腔室呈中空半圆形，所述腔室安装于所述针测机台面上并与所述针测机内部连通，所述连接管一端与所述腔室内部连通、另一端与所述抽气装置连接。
10.一实施例中，所述进气管道上均匀开设有多个进气口，所述进气口通过气管组件与所述进气装置连接。
11.一实施例中，所述进气口在所述进气管道上沿水平方向依次排列，所述气管组件包括多个与所述进气口相对应的第一导气管以及与所述第一导气管连接的第二导气管，所述第一导气管一端与进气口连接、另一端相互连接且同时与所述第二导气管连接。
12.一实施例中，所述气管组件还包括第三导气管，所述第二导气管设有两根且分别与最外侧的所述第一导气管连接，所述第三导气管一端同时与两根所述第二导气管连接、另一端与所述进气装置连接。
13.一实施例中，所述第一导气管之间、所述第一导气管与所述第二导气管之间以及所述第二导气管与所述第三导气管之间均通过三通接头连接。
14.一实施例中，所述第三导气管上安装有压力流量控制阀及空气滤芯。
15.与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
16.本实用新型中的针测机用除尘装置通过对晶圆进行除尘，从而减少了由于晶圆表面的颗粒而对后期的晶圆测试产生影响，以及提升晶圆的外观检测良率，实用性强。
附图说明
17.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型一实施例中针测机用除尘装置的正面结构示意图；
19.图2为本实用新型一实施例中针测机用除尘装置的俯视图；
20.图3为本实用新型一实施例中针测机用除尘装置的立体图。
具体实施方式
21.以下将结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细描述。但该等实施方式并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据该等实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。
22.以下结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
23.请参图1及图2所示，一种针测机用除尘装置，包括进气管道10及抽气罩20，进气管道10与针测机100内部连通。其中抽气罩20的底部具有一承靠部20a，承靠部20a与针测机100部分的呈中空的接口环102配合安装，致使抽气罩20内部连通针测机100。进气管道10呈直线跨接设置于针测机100的接口环102的上方并且进气管道10水平安装于抽气罩20呈平面的侧壁2011上。
24.在本实施例中，进气管道10外接进气装置，进气装置一般采用厂房内现有的气体压缩机，提供进气管道10的压缩气体。另一方面，抽气管道10也可外接抽气装置，抽气装置一般采用厂房内现有的真空排气装置。针测机100内设置有可移动的载台110，晶圆200放置于载台110上，进气管道10的气流吹至针测机100内的晶圆200的表面，以吹起晶圆200表面的颗粒，抽气装置通过抽气罩20抽出被吹起的颗粒，通过载台110带动晶圆200来回移动，能提高对晶圆200表面的清洁效果。
25.在本实施例中，进气管道10水平设置，进气管道10上开设有与针测机100内部连通的出气口11，出气口11均匀开设有多个且在进气管道10上沿水平方向依次排列，出气口11竖直向下开设。
26.参图2与图3所示，进气管道10上均匀开设有多个进气口12，进气口12在进气管道10上沿水平方向依次排列，进气口12通过气管组件1a与进气装置连接。
27.具体的，气管组件1a包括多个与进气口12相对应的第一导气管21以及与第一导气管21连接的第二导气管22，第一导气管21一端与进气口12连接、另一端相互连接且同时与第二导气管22连接，通过开设多个进气口12并对应连接多根第一导气管21从而能够均匀的分散气流，防止由于吹向晶圆200表面的气流不均而损坏晶圆200，同时也提高清洁效果。
28.同时，气管组件1a还包括第三导气管23，第二导气管22设有两根且分别与最外侧
的第一导气管21连接，第三导气管23一端同时与两根第二导气管22连接、另一端与进气装置连接，第三导气管23两端分别连接第二导气管22，从各第二导气管22同时供气从而进一步的均匀化分散吹向晶圆200表面的气流。
29.本实施例中，第三导气管23上安装有压力流量控制阀31及空气滤芯32，通过空气滤芯32过滤吹往晶圆200表面的空气，同时通过压力流量控制阀31监测吹往晶圆200表面的空气的流量，该流量控制在25～40psi。
30.在本实施例中，第一导气管21之间、第一导气管21与第二导气管22之间以及第二导气管22与第三导气管23之间均通过三通接头3连接。
31.参图2并结合图1所示，抽气罩20包括腔室201和连接管202，腔室201呈中空半圆形，腔室201安装于针测机100台面上并与针测机100内部连通，连接管202一端与腔室201内部连通、另一端与抽气装置连接。
32.进一步的，腔室201具有一竖直设置的侧壁2011，进气管道10水平安装于侧壁2011上，进气管道10镶嵌安装于侧壁2011上，进气管道10也可以水平安装于针测机100的台面上。
33.本实施例中，进气装置产生的气流通过第三导气管21、第二导气管22后分散至各第一导气管21内，最后通过进气管道10的出气口11吹向晶圆200表面将晶圆200表面的颗粒吹起，抽气装置通过抽气罩20将被吹起的颗粒吸取而排出、收集。
34.由以上技术方案可以看出，本实用新型具有以下有益效果：
35.本实用新型中的针测机用除尘装置通过对晶圆进行除尘，从而减少了由于晶圆表面的颗粒而对后期的晶圆测试产生影响，以及提升晶圆的外观检测良率，实用性强。
36.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
37.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施例加以描述，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。