一种掩膜版固定夹具的制作方法

文档序号:28350236发布日期:2022-01-05 11:39阅读:269来源:国知局
一种掩膜版固定夹具的制作方法

1.本实用新型属于掩膜版清洗设备技术领域,具体涉及一种掩膜版固定夹具。


背景技术:

2.显示面板制造按玻璃基板尺寸不同可分为6代线(g6)、8.5代线(g8.5)、10.5代线(g10.5)等,此外还有中试线(g4.5)。目前,amoled面板制造多采用主流的蒸镀封装工艺,该工序需通过掩膜版(mask)来使有机材料精准沉积到玻璃基板。为确保产品品质,掩膜版需进行周期性精密再生(清洗)。
3.现有的清洗设备多只有一种规格,即只能适应某种世代线所使用的掩膜版清洗,如6代线,但不能满足中试线或更高世代线面板厂商清洗需求。


技术实现要素:

4.为了解决现有技术存在的上述问题,本实用新型的目的在于提供一种可用于对不同尺寸的掩膜版清洗的掩膜版固定夹具。
5.本实用新型所采用的技术方案为:
6.一种掩膜版固定夹具,包括外框架,外框架内设置有若干sensor感应部,外框架内还固定有若干结构支撑架,结构支撑架的中部安装有用于放置掩膜版的承载底板,结构支撑架上设置有若干移动架,移动架上连接有若干固定挡块,移动架与结构支撑架之间连接有用于锁紧移动架的锁紧件。
7.将整个固定夹具放置于辅助工装上,调整至合适高度。将掩膜版放置于承载底板上,移动移动架使固定挡块将掩膜版夹紧,再投入清洗产线。根据掩膜版的尺寸大小,可将移动架移动到合适位置,保证若干固定挡板能将不同尺寸的掩膜版固定。移动架移动到位后,通过锁紧件将移动架与结构支撑架锁紧,保证掩膜版被可靠固定。
8.作为本实用新型的优选方案,所述锁紧件为锁紧螺钉,移动架上设置有长槽,锁紧螺钉通过长槽将移动架锁紧在结构支撑架上。移动架的位置调整后,长槽相对于锁紧螺钉移动,再旋拧锁紧螺钉,则锁紧螺钉能将移动架压紧在结构支撑架上。
9.作为本实用新型的优选方案,所述移动架包括连接杆,若干固定挡块固定于连接杆上,连接杆的两端均设置有移动杆,长槽设置于移动杆上。移动架的两端均通过锁紧件锁紧,从而提高移动架的稳定性。
10.作为本实用新型的优选方案,所述移动架的数量为两个,两个移动架分设于承载底板的两侧。两侧的移动架分别从两侧夹紧掩膜版,保证掩膜版得到可靠固定。
11.作为本实用新型的优选方案,所述移动架上连接的固定挡块的数量为四个,四个固定挡块在移动架上沿直线均布。移动架上的四个固定挡块能将掩膜版不同位置进行夹紧,进一步提高掩膜版装夹后的稳定性。
12.作为本实用新型的优选方案,所述sensor感应部的数量为四个,四个sensor感应部分设于外框架的四个角内侧。
13.作为本实用新型的优选方案,所述固定挡块包括挡块主体,挡块主体固定于移动架上,挡块主体朝向承载底板的一侧设置有用于容纳承载底板边缘和掩膜版边缘的挡槽。移动架移动时,掩膜版和承载底板的边缘进入挡槽内,从而挡槽从侧面和顶部对掩膜版进行限位,避免掩膜版松动。
14.作为本实用新型的优选方案,所述外框架包括四个定位块,相邻定位块之间固定有框架杆。
15.本实用新型的有益效果为:
16.本实用新型的移动架移动时,固定挡块能将掩膜版夹紧。将装夹好掩膜版的固定夹具投入清洗产线进行清洗,以实现掩膜版再生。根据掩膜版的尺寸大小,可将移动架移动到合适位置,保证若干固定挡板能将不同尺寸的掩膜版固定。移动架移动到位后,通过锁紧件将移动架与结构支撑架锁紧,保证掩膜版被可靠固定。
附图说明
17.图1是本实用新型的结构示意图;
18.图2是图1中a处的局部放大图;
19.图3是本实用新型的左视图。
20.图中,1

外框架;2

sensor感应部;3

结构支撑架;4

承载底板;5

移动架;6

固定挡块;7

锁紧件;8

掩膜版;11

定位块;12

框架杆;51

长槽;52

连接杆;53

移动杆;61

挡块主体;62

挡槽。
具体实施方式
21.下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
22.如图1和图2所示,本实施例的掩膜版固定夹具,包括外框架1,外框架1内设置有若干sensor感应部2,外框架1内还固定有若干结构支撑架3,结构支撑架3内安装有用于放置掩膜版8的承载底板4,结构支撑架3上设置有若干移动架5,移动架5上连接有若干固定挡块6,移动架5与结构支撑架3之间连接有用于锁紧移动架5的锁紧螺钉。所述外框架1包括四个定位块11,相邻定位块11之间固定有框架杆12。
23.使用时,将整个固定夹具放置于辅助工装上,调整至合适高度。先将移动架5移开,再将掩膜版8放置于承载底板4上。再移动移动架5使固定挡块6将掩膜版8夹紧,再投入清洗产线。根据掩膜版8的尺寸大小,可将移动架5移动到合适位置,保证若干固定挡板能将不同尺寸的掩膜版8固定。移动架5移动到位后,通过锁紧螺钉将移动架5与结构支撑架3锁紧,保证掩膜版8被可靠固定。
24.承载底板4为两块长条形的底板,两块承载底板4分设于容纳掩膜版8的空间的两侧。
25.其中,移动架5包括连接杆52,若干固定挡块6固定于连接杆52上,连接杆52的两端均设置有移动杆53,移动杆53上设置长槽51,锁紧螺钉通过长槽51将移动架5锁紧在结构支
撑架3上。移动架5的两端均通过锁紧件7锁紧,从而提高移动架5的稳定性。移动架5的位置调整后,长槽51相对于锁紧螺钉移动,再旋拧锁紧螺钉,则锁紧螺钉能将移动架5压紧在结构支撑架3上。
26.所述移动架5的数量为两个,两个移动架5分设于承载底板4的两侧。两侧的移动架5分别从两侧夹紧掩膜版8,保证掩膜版8得到可靠固定。所述移动架5上连接的固定挡块6的数量为四个,四个固定挡块6在移动架5上沿直线均布。移动架5上的四个固定挡块6能将掩膜版8不同位置进行夹紧,进一步提高掩膜版8装夹后的稳定性。
27.所述sensor感应部2的数量为四个,四个sensor感应部2分设于外框架1的四个角内侧。
28.更进一步,如图3所示,所述固定挡块6包括挡块主体61,挡块主体61固定于移动架5上,挡块主体61朝向承载底板4的一侧设置有用于容纳承载底板4边缘和掩膜版8的边缘的挡槽62。移动架5移动时,掩膜版8和承载底板4的边缘进入挡槽62内,从而挡槽62从侧面和顶部对掩膜版8进行限位,避免掩膜版8松动。
29.本实用新型不局限于上述可选实施方式,任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是落入本实用新型权利要求界定范围内的技术方案,均落在本实用新型的保护范围之内。
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