微通道板自动清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及微通道技术领域，具体而言涉及一种微通道板自动清洗装置。


背景技术：

2.微通道板是一种特殊光学纤维器件，是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器，具有体积小、重量轻、分辨率好、增益高、噪声低、使用电压低等优点，它利用其二次电子发射特性，可使高速碰撞在内壁(通道)上的电子成倍增加，使之达到万倍以上的电子增流。利用这种特性，微通道板广泛用于光电倍增管、像增强器，微光电视、x光像增强器、高速示波管，以及光子计数、x-射线、紫外光子、电子、离子、带电粒子、亚原子粒子等的探测技术。
3.微通道板的外观形状一般为圆形玻璃薄片，直径为20～100mm、厚度为0.2～0.5mm。mcp中间工作区中的每一个空心管通道内壁表面均具有二次电子发射性能，实现连续的电子倍增功能。
4.mcp的生产工艺流程包括拉丝、排棒、拉复丝、排屏、压屏、切片磨抛、腐蚀、氢还原以及镀膜工艺。其中镀膜工艺中包含沉积镀膜工艺，是使mcp具有高二次电子放大功能的关键过程。
5.在生产过程中，通过双面抛光以同时去除其两个表面由前工序所残留下的微缺陷及表面损伤层，以求获得表面平整度高、粗糙度低的光亮“镜面”。抛光是决定微通道表面质量的重要环节，抛光结束后的微通道板其表面附着有大量的氧化铈抛光粉，因此抛光后对微通道板表面的清洁至关重要，清洁不足容易对镀膜和测试造成影响。目前主要采用人工手搓清洁的方式，但由于人员操作手法的不同，其表面质量差异性较大，且效率低下。


技术实现要素：

6.本实用新型目的在于提供一种微通道板抛光后的自动清洗装置，降低操作人员抛光后清洗操作的差异性，提高微通道板的表面质量，以解决目前微通道板下盘效率低、表面清洗质量差异性大的技术问题。
7.根据本实用新型目的的第一方面提出一种微通道板自动清洗装置，包括：
8.真空转移机构，用于吸住至少一个抛光后的微通道板；
9.装板圆盘，用于与所述真空转移机构对接，并接住从真空转移机构下落的微通道板；
10.电机；
11.传动组件，所述传动组件的一端啮合到所述电机的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到所述装板圆盘，以使得电机、传动组件与装板圆盘形成整体连接并通过电机驱动装板圆盘转动；
12.超声波清洗机，所述超声波清洗机具有多个清洗槽；
13.其中，所述电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以
将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。
14.进一步的实施例中，所述真空转移机构具有真空泵、空心转移盘以及设置在空心转移盘的下方的多个吸力阀，吸力阀与空心转移盘的内部连通，通过真空泵在空心转移盘与吸力阀内形成真空吸力，以吸住抛光后的微通道板。
15.进一步的实施例中，所述真空转移机构还具有一可供手持的空心管，其一端通过空心软管连通至真空泵，另一端与空心转移盘的内部连通。
16.进一步的实施例中，所述多个吸力阀在空心转移盘下方均匀地排布。
17.进一步的实施例中，空心转移盘与所述装板圆盘的外径相同。
18.进一步的实施例中，所述装板圆盘上设置有与吸力阀一一对应的圆形卡槽，所述微通道板下落在圆形卡槽内。
19.进一步的实施例中，所述圆形卡槽内设置有多个间隔并且均匀分布的台阶，台阶上贴有陶瓷片，所述台阶被设置成只能接触到微通道板的实体边而避开空心部分。
20.进一步的实施例中，所述超声波清洗机依次设置有第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽，第一清洗槽用于装注清洗剂，第二清洗槽和第三清洗槽分别用于装注去离子水。
21.由以上技术方案可见，与现有技术相比，本实用新型的微通道板抛光后的自动清洗装置的显著的有益效果在于：
22.传统抛光清洗采用人工逐片手搓方式，效率较低，且操作者之间差异性大导致了表面质量差异性，本实用新型的微通道板抛光后自动清洗装置，在提高抛光清洗效率的同时，消除了人员操作差异带来的表面质量差异，微通道板抛光后自动清洗装置通过超声波清洗机使清洗剂溶液产生空化气泡清洗微通道板表面的抛光粉，利用旋转电机使微通道板表面产生离心力，剥离表面的抛光粉，改善微通道板表面的光亮度，提高了微通道板的表面质量。
23.结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本实用新型教导的前述和其他方面、实施例和特征。本实用新型的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本实用新型教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
24.附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本实用新型的各个方面的实施例，其中：
25.图1是本实用新型的真空转移机构的结构示意图。
26.图2是本实用新型的真空转移机构的空心转移盘的结构示意图。
27.图3是本实用新型的装板圆盘的示意图。
28.图4是本实用新型的超声波清洗过程的示意图。
具体实施方式
29.为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
30.在本公开中参照附图来描述本实用新型的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本实用新型的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构
思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本实用新型所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本实用新型公开的一些方面可以单独使用，或者与本实用新型公开的其他方面的任何适当组合来使用。
31.结合图1-4所示的示例性实施例的微通道板自动清洗装置，包括真空转移机构10、装板圆盘20、电机30、传动组件40以及超声波清洗机50。
32.其中，真空转移机构10用于对抛光盘面上抛光夹具孔内的微通道板进行吸取，转移到装板圆盘20上对应的卡槽位置后通过真空状态解除来释放微通道板到卡槽内。装板圆盘20通过传动组件与电机相连，用于微通道板清洗时对微通道板与清洗剂溶液产生相对位移，例如旋转清洗，并可在不同的清洗槽内进行转移。相比于现有的抛光后下盘和清洗方式来说，利用本实用新型的微通道板自动清洗装置可提高工作效率的同时，降低了人员操作差异带来的表面质量的差异性，提高了微通道板的表面质量。
33.结合图示，真空转移机构10，用于吸住至少一个抛光后的微通道板。
34.在图1、2所示的示例中，真空转移机构10具有真空泵11、空心转移盘12以及设置在空心转移盘的下方的多个吸力阀13，吸力阀13与空心转移盘12的内部连通，通过真空泵11在空心转移盘与吸力阀内形成真空吸力，以吸住抛光后的微通道板。
35.结合图1所示，真空转移机构10还具有一可供手持的空心管15，尤其是硬质的空心管，表面可设置防滑护套，以利于握持。空心管15的一端通过空心软管16连通至真空泵11，另一端与空心转移盘12的内部连通。由此，工艺人员可手持空心管15进行操作，将吸力阀13轻放于位于抛光夹具孔内的微通道板上，开启真空泵11使微通道板吸附于吸力阀13上。
36.优选地，多个吸力阀13在空心转移盘下方，沿着其圆周方向均匀地排布。空心转移盘12的圆心位置形成一中空圆形。
37.在可选的实施例中，可根据不同微通道板外径而调节吸力阀13的位置及尺寸。
38.装板圆盘5，用于与真空转移机构10对接，并接住从真空转移机构10下落的微通道板。空心转移盘12与装板圆盘20的外径相同，以利于二者进行对接。
39.结合图1-4所示，工艺人员手持真空转移机构10的空心管15，吸住微通道板的空心转移盘转移至装板圆盘上方，释放真空压力，使得微通道板下落到装板圆盘20。可选的实施例中，装板圆盘20上设置有与吸力阀一一对应的圆形卡槽21，所述微通道板下落在圆形卡槽21内。
40.进一步的实施例中，圆形卡槽21内设置有多个间隔并且均匀分布的台阶，台阶上贴有陶瓷片，所述台阶被设置成只能接触到微通道板的实体边而避开空心部分，最大程度降低微通道板的表面损伤(玻璃材质)。
41.如图4所示，电机30可采用交流或者直流电机，可调速设计。在一些实施例中，可根据不同的微通道板型号，匹配不同的电动机转速，例如，其中φ33mm以内微通道板，电机的转速调节为120r/分钟,大于φ33mm的微通道板，电机的转速调节为160r/分钟。
42.传动组件40，用于实现电机30的扭矩输出并传递至装板圆盘20，可采用现有技术中的传动组件，例如涡轮蜗杆结构或者齿轮结构。传动组件的一端啮合到电机30的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到所述装板圆盘20，以使得电机30、传动组件40与装板圆盘20形成整体连接并通过电机驱动装板圆盘转动。
43.在可选的实施例中，上述电机30、传动组件40与装板圆盘20形成的整体结构可通过机械手进行控制位移。
44.结合图4所示，装板圆盘20的上方设置有一方形柱22，与装板圆盘20形成固定连接。方形柱22的顶部与传动机构采用可拆卸式的卡扣连接。
45.如图4所示，超声波清洗机50，有多个清洗槽，即依次设置有第一清洗槽51、第二清洗槽52和第三清洗槽53，第一清洗槽51用于装注清洗剂，第二清洗槽52和第三清洗槽分53别用于装注去离子水。例如，每个清洗槽尺寸规格为200mm
×
200mm
×
200mm。
46.如图4所示，电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以将装载有微通道板的装板圆盘20在不同的清洗槽内清洗。
47.在清洗过程中，装有微通道板的装板圆盘20需完全浸没于超声波清洗机的清洗剂溶液中或者去离子水中。根据不同微通道板的型号调节电机转速，电机转动带动微通道板相对转动，利用离心力使微通道板表面的抛光粉脱离。同时，通过超声波发生器用于对微通道板清洗过程，利用超声波清洗机产生的空化气泡，对抛光后微通道板产生清洁作用，最大程度上保证微通道板的洁净度。
48.结合图4所示，在接下来的实施例中，以φ25mm型号微通道板为例，对前述实施例的微通道板自动清洗装置的使用过程进行说明。
49.步骤1、向超声波清洗机的第一清洗槽51注入5l清洗剂溶液，向第二清洗槽52、第三清洗槽53分别注入20l水；
50.步骤2、手持空心管，将吸力阀轻触抛光完成后位于抛光夹具孔内的微通道板表面，打开真空泵，使微通道板吸附于吸力阀上；
51.步骤3、将微通道板对准放置于装板圆盘的圆形卡槽内，关闭真空泵，使微通道板放置于圆形卡槽内，整个过程保证圆形卡槽浸没于第一清洗槽中的溶液中；
52.步骤4、通过传动组件将装板圆盘与电机相连；
53.步骤5、启动功率40khz，声压40-60的超声波清洗机；
54.步骤6、启动电机，将电机转速设置为120r/min；
55.步骤7、超声并旋转清洗5min。
56.步骤8、停止超声波清洗机和电机；
57.步骤9、将装板圆盘切换至第二清洗槽上方，重复步骤5-8；
58.步骤10、将装板圆盘切换至第三清洗槽上方，重复步骤5-8。
59.至此，完成双面抛光后的微通道板表面的超声波旋转清洗，提高清洗效率并提升微通道板的表面质量。
60.虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。