腔体等离子清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及等离子清洗机技术领域，特别涉及一种腔体等离子清洗机。


背景技术：

2.现有的腔体等离子清洗机，进气管设于箱盖上，进气管上设有多个朝向箱体内部的进气孔，由于进气管跟随箱盖转动，需要通过在箱盖上安装有与进气管连通的软管，软管一端与进气装置连接，这样的腔体等离子清洗机，开关箱盖不方便，且软管容易损坏而漏气，影响清洗效果；或者是在箱体上设置连接管，连接管与进气装置连接，箱盖上设置有与进气管连接的接头，在箱盖关闭时，接头与连接管接通，而如此设计，接头与连接管的密封结构复杂，且由于箱盖需要频繁的开关，难以保证接头与连接管的密封效果。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的是提供一种腔体等离子清洗机，旨在简化进气管路的结构，同时保证密封的可靠性，提升清洗效果。
4.为实现上述目的，本实用新型提出的腔体等离子清洗机，包括：
5.清洗箱，包括箱体和与所述箱体密封连接的箱盖，所述箱体具有进料口，所述箱盖盖设于所述进料口并与所述箱体配合形成有清洗腔，所述清洗腔内设有框架用于承载物料，所述箱体内连接有进气管，所述进气管设有与所述清洗腔连通的出气孔；
6.进气装置，设于所述清洗箱外并与所述进气管连通，用以对所述清洗腔内输送制程气体；
7.抽真空装置，设于所述清洗箱外并与所述清洗腔连通；以及
8.射频电源，设于所述清洗箱外，并通过电极与所述清洗腔内的框架电性连接。
9.可选地，所述箱体的内侧壁设有至少一个进气孔，所述进气管通过接头与所述进气孔连通。
10.可选地，所述进气管环绕所述箱体的内侧壁设置。
11.可选地，所述箱体还设有台阶槽，所述台阶槽环绕所述进料口设置并与所述清洗腔连通，所述进气管通过紧固件安装固定于所述台阶槽内。
12.可选地，所述进气孔设于所述台阶槽的槽壁。
13.可选地，所述框架具有供所述物料承载的多个容置腔，所述多个容置腔呈矩阵排布设置。
14.可选地，所述框架包括相对设置的多个承载板，以及连接于所述承载板之间的多个隔板，所述多个隔板和所述多个承载板围合形成所述多个容置腔，所述承载板与所述隔板设有供所述制程气体通过的过孔。
15.可选地，所述抽真空装置包括一级泵和与所述一级泵连通的二级泵，所述二级泵与所述清洗腔连通。
16.可选地，所述箱体背离所述进料口的一面设有抽气孔，所述抽气孔通过管道与所
述二级泵连通，所述箱体内还连接有导流板，所述导流板与所述抽气孔相对设置。
17.可选地，所述箱体背离所述进料口的一侧设有连接孔，所述射频电源的电极穿过所述连接孔与所述框架电性连接。
18.本实用新型的技术方案的腔体等离子清洗机，通过将进气管连接于箱体内，并通过进气管上的出气孔将制程气体输送至清洗腔内，相比于现有的腔体等离子清洗机将进气管设于箱盖，由于进气管固定于箱体内，省去了设置软管与进气装置连接，可以方便箱盖的开关，同时避免软管损坏而导致漏气；而且，相比于现有的等离子清洗机通过在箱盖上设置与进气管连接的接头，无需考虑进接头与箱体之间的密封结构，简化了密封结构设计，保证了密封的可靠性，进而保证了腔体等离子清洗机的清洗效果。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
20.图1为本实用新型腔体等离子清洗机一实施例的结构示意图；
21.图2为图1中等离子清洗机的主视图；
22.图3为图1中等离子清洗机的清洗箱的结构示意图；
23.图4为图3中清洗箱另一角度的结构示意图；
24.图5为图3中清洗箱的箱体的结构示意图；
25.图6为图5中清洗箱的主视图；
26.图7为图6中清洗箱沿截面a-a的剖视图。
27.附图标号说明：
28.29.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
33.本实用新型提出一种腔体等离子清洗机。
34.具体而言，所述等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，参照图1至图7，在本实用新型实施例中，该腔体等离子清洗机10包括清洗箱100、进气装置、抽真空装置200以及射频电源；其中，所述清洗箱100包括箱体110和与所述箱体110密封连接的箱盖120，所述箱体110具有进料口111，所述箱盖120盖设于所述进料口111并与所述箱体110配合形成有清洗腔112，所述清洗腔112内设有框架130用于承载物料，所述箱体110内连接有进气管140，所述进气管140设有与所述清洗腔112连通的出气孔141；所述进气装置设于所述清洗箱100外并与所述进气管140连通，用以对所述清洗腔112内输送制程气体；所述抽真空装置200设于所述清洗箱100外并与所述清洗腔112连通；所述射频电源设于所述清洗箱100外，并通过电极与所述清洗腔112内的框架130电性连接。
35.具体而言，腔体等离子清洗机10的清洗过程如下所述：抽真空装置200对清洗腔112进行抽气，使清洗腔112内形成适合产生等离子的真空度，进气装置通过进气管140对清洗腔112内输送制程气体，射频电源通过电极对清洗腔112内的框架130供电，从而使清洗腔112内的制程气体产生等离子体，等离子体对清洗腔112内的物料进行离子轰击，使得物料上的污染物脱离物料表面。
36.其中，进气管140连接于箱体110内，相比于现有技术将进气管140设于箱盖120，并在箱盖120上连接有与进气装置连接的软管，本技术方案可以方便箱盖120的打开和关闭，避免软管因箱盖120频繁的打开和关闭而损坏，防止漏气，保证腔体等离子清洗机10的清洗效果；相比于现有技术中将进气管140设于箱盖120，并在箱盖120上设置接头150，本技术方案可以避免接头150与连接管的复杂密封结构设计，保证密封的可靠性，进而保证清洗效果。
37.可以理解地，由于箱盖120需要打开以对物料进行取放，箱盖120与箱体110之间为活动连接。其中，箱盖120可以与箱体110转动连接，箱盖120在打开状态与关闭状态之间转动切换，例如箱盖120通过铰链与箱体110铰接；箱盖120也可以是相对于箱体110可前后移动，箱盖120在打开状态与关闭状态之间移动切换，例如箱体110中设有供箱盖120滑动的滑槽；当然，箱盖120与箱体110之间还可以通过螺钉连接。参照图3，在本实施例中，为方便打开箱盖120将物料从清洗腔112中取出，箱盖120与箱体110铰接，箱盖120绕铰接轴相对于箱体110可转动。
38.为实现密封，箱盖120与箱体110之间设有密封圈，密封圈环绕进料口111的外围设置，箱盖120上安装有锁紧件，当箱盖120处于关闭状态时，在锁紧件的压紧下，使密封圈与箱盖120和箱体110紧密贴合，保证清洗腔112的密封性。其中，密封圈可以是设于箱体110上，也可以设于箱盖120上，箱盖120或箱体110设有供密封圈安装的安装槽。其中，进料口111形状可以是圆形、方形等。
39.进气装置包括储气罐和与储气罐连通的充气泵，充气泵通过管道与进气管140连通，用以将储气罐内的制程气体输送至清洗腔112内。在本实施例中，制程气体为氩气。
40.本实用新型的技术方案的腔体等离子清洗机10，通过将进气管140连接于箱体110内，并通过进气管140上的出气孔141将制程气体输送至清洗腔112内，相比于现有的腔体等离子清洗机10将进气管140设于箱盖120，由于进气管140固定于箱体110内，省去了设置软管与进气装置连接，可以方便箱盖120的开关，同时避免软管损坏而导致漏气；而且，相比于现有的等离子清洗机通过在箱盖120上设置与进气管140连接的接头150，无需考虑进接头150与箱体110之间的密封结构，简化了密封结构设计，保证了密封的可靠性，进而保证了腔体等离子清洗机10的清洗效果。
41.进一步地，在一实施例中，所述箱体110的侧壁设有至少一个进气孔113，所述进气管140通过接头150与所述进气孔113连通。其中，进气孔113贯穿箱体110的侧壁设置，进气孔113连通箱体110内壁的一侧通过接头150与进气管140连通，进气孔113连通箱体110外壁的一侧通过管道与进气装置连通。
42.进一步地，参照图5和图6，在一实施例中，所述进气管140环绕所述箱体110的内侧壁设置。通过使进气管140环绕箱体110的内侧壁设置，从进气管140的出气孔141溢出的制程气体可以均匀扩散至清洗腔112的各个位置。进一步地，在一实施例中，进气管140的数量可以为多组，多组进气管140沿清洗腔112的深度方向间隔排布。
43.进一步地，参照图5，在一实施例中，所述箱体110还设有台阶槽114，所述台阶槽114环绕所述进料口111设置并与所述清洗腔112连通，所述进气管140通过紧固件安装固定于所述台阶槽114内。
44.如图5所示，通过在进料口111处设置有供进气管140安装固定的台阶槽114，避免进气管140占用清洗腔112的空间，从而可以在清洗腔112体积不变的情况下增大框架130的体积，进而可以承载更多的物料。如此，在相同的体积的清洗腔112中，本实施例可以清洗更多的物料，提高清洗效率和清洗量。
45.可以理解地，由于进气管140安装于台阶槽114，为了进一步减小对清洗腔112空间的占用，在一实施例中，所述进气孔113设于所述台阶槽114的槽壁。如此，进气管140可以在安装槽中直接与进气孔113连接，而不需要另外设置连接管伸入清洗腔112内，避免占用清
洗腔112的空间。
46.具体而言，在本实施例中，参照图3和图5，箱体110具有进料口111的一端设有安装板115，箱盖120通过铰链转动安装于安装板115上，台阶槽114形成于安装板115与箱体110的连接处。
47.参照图5和图6，在一实施例中，所述框架130具有供所述物料承载的多个容置腔133，所述多个容置腔133呈矩阵排布设置。可以理解地，将框架130分设为多个容置腔133，可以方便物料堆叠放置，方便操作人员的取放。
48.所述框架130包括相对设置的多个承载板131，以及连接于所述承载板131之间的多个隔板132，所述多个隔板132和所述多个承载板131围合形成所述多个容置腔133，所述承载板131与所述隔板132设有供所述制程气体通过的透气孔。
49.进一步地，在一实施例中，所述抽真空装置200包括一级泵210和与所述一级泵210连通的二级泵220，所述二级泵220与所述清洗腔112连通。具体而言，在本实施例中，一级泵210为罗茨泵，二级泵220为双旋片泵。通过一级泵210与二级泵220的组合，可以实现清洗腔112内的压力恒定，保证清洗腔112内具有产生等离子体的条件，保证清洗效果。
50.进一步地，参照图7，在一实施例中，所述箱体110背离所述进料口111的一面设有抽气孔116，所述抽气孔116通过管道与所述二级泵220连通，所述箱体110内还连接有导流板160，所述导流板160与所述抽气孔116相对设置。
51.如图7所示，通过在箱体110内连接有与抽气孔116相对设置的导流板160，可以避免从物料表面脱离的污染物被吸入一级泵210和二级泵220中，防止对一级泵210和二级泵220造成损坏。其中，导流板160的面积大于或等于抽气孔116的面积。导流板160的形状有多种，例如可以是方形、多边形、圆形等，导流板160的形状在此不做限定。
52.可以理解地，所述箱体110背离所述进料口111的一侧设有连接孔，所述射频电源的电极穿过所述连接孔与所述框架130电性连接。
53.以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。