一种晶片清洗夹具的制作方法

1.本实用新型涉及晶片加工技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种晶片清洗夹具。


背景技术：

2.在半导体设备制造行业，存在晶片装夹这个流程，在这个工艺流程中需要一个装夹晶片的工装；以保证晶片在装夹的过程中不发生位移、变形损坏或。在目前小尺寸晶片装夹清洗的处理过程中，对晶片的装夹清洗方式通常采用篮筐清洗的方式。现有技术中，均是采用将晶片放置于一个篮筐内，然后采用高压水枪冲洗的方式，这种方式存在晶片装夹效率低，不能使每片晶片都受到均匀清洗的问题。
3.在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶片清洗夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片清洗夹具，包括下夹板，所述下夹板顶端开设有多个第一置物槽，所述下夹板顶部设有上夹板，所述上夹板底端开设有多个第二置物槽，多个所述第二置物槽分别位于多个第一置物槽顶部，所述上夹板顶部设有两个螺纹杆，所述上夹板上开设有两个第一通槽，两个所述螺纹杆一端分别穿过两个第一通槽，所述上夹板顶部设有两个螺纹套，两个所述螺纹套分别活动套设在两个螺纹杆外周面。
6.在一个优选地实施方式中，所述下夹板顶端开设有多个排水槽，多个所述排水槽分别与多个第一置物槽相连通。
7.在一个优选地实施方式中，所述下夹板上开设有两个螺纹槽，两个所述螺纹杆底端分别延伸入两个螺纹槽内部。
8.在一个优选地实施方式中，所述上夹板顶端开设有多个进水槽，多个所述进水槽分别与多个第二置物槽相连通。
9.在一个优选地实施方式中，两个所述螺纹杆两侧均设有滑杆，所述上夹板上开设有四个第二通槽，四个所述滑杆一端分别穿过四个第二通槽内部，且四个所述滑杆底端均与下夹板顶端固定连接。
10.在一个优选地实施方式中，所述下夹板与上夹板之间设有四个弹簧，四个所述弹簧分别活动套设在四个滑杆外周面。
11.本实用新型的技术效果和优点：
12.本实用新型通过转动螺纹杆使得螺纹杆与下夹板相固定，然后将晶片放入下夹板顶部开设的第一置物槽内，将四个弹簧分别套设在四个滑杆外周面，然后再将上夹板放在
下夹板顶部，且两个螺纹杆一端分别穿过两个第一通槽，四个滑杆一端分别穿过四个第二通槽，从而对上夹板进行限位，防止上夹板偏转，使得第二置物槽位于第一置物槽的正上方，然后扶住螺纹杆并转动螺纹套，螺纹套在螺纹杆上向下移动，从而带动上夹板向下移动，使得晶片顶部位于第二置物槽内部，从而对晶片进行限位固定，使得晶片在被清洗的过程中不会发生移动或滑落，结构简单，便于操作，晶片装夹效率高，通过设置多个进水槽，高压水枪可以通过多个进水槽对晶片顶部进行清洗，使得每片晶片都能受到均匀清洗。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
14.本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
15.图1为本实用新型整体结构立体图；
16.图2为本实用新型下夹板立体图；
17.图3为本实用新型上夹板立体仰视图；
18.图中：1、下夹板；2、上夹板；3、滑杆；4、螺纹套；5、进水槽；6、弹簧；7、排水槽；8、第一置物槽；9、螺纹杆；10、第二置物槽；11、螺纹槽；12、第一通槽；13、第二通槽。
具体实施方式
19.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
20.此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
21.参照说明书附图1-3，该实施例的一种晶片清洗夹具，包括下夹板1，下夹板1顶端开设有多个第一置物槽8，方便放置晶片，下夹板1顶部设有上夹板2，上夹板2底端开设有多个第二置物槽10，方便对晶片进行限位固定，多个第二置物槽10分别位于多个第一置物槽8顶部，上夹板2顶部设有两个螺纹杆9，上夹板2上开设有两个第一通槽12，两个螺纹杆9一端分别穿过两个第一通槽12，上夹板2顶部设有两个螺纹套4，螺纹套4在螺纹杆9上向下移动，
从而带动上夹板2向下移动，两个螺纹套4分别活动套设在两个螺纹杆9外周面。
22.参照说明书附图1-2，下夹板1顶端开设有多个排水槽7，第一置物槽8内的水可以通过排水槽7排出，方便排出污水，多个排水槽7分别与多个第一置物槽8相连通，参照说明书附图2，下夹板1上开设有两个螺纹槽11，反转螺纹杆9使得螺纹杆9移出螺纹槽11内，方便更换螺纹杆9，两个螺纹杆9底端分别延伸入两个螺纹槽11内部，参照说明书附图1与3，上夹板2顶端开设有多个进水槽5，高压水枪可以通过多个进水槽5对晶片顶部进行清洗，使得每片晶片都能受到均匀清洗，多个进水槽5分别与多个第二置物槽10相连通。
23.参照说明书附图1，两个螺纹杆9两侧均设有滑杆3，对上夹板2进行限位，防止上夹板2偏转，上夹板2上开设有四个第二通槽13，四个滑杆3一端分别穿过四个第二通槽13内部，且四个滑杆3底端均与下夹板1顶端固定连接，参照说明书附图1，下夹板1与上夹板2之间设有四个弹簧6，四个弹簧6对上夹板2进行简单的支撑，防止上夹板2在自身重力的作用下迅速下跌，从而对晶片造成损坏，四个弹簧6分别活动套设在四个滑杆3外周面。
24.本实施例的使用方法为：工作人员将两个螺纹杆9分别插入两个螺纹槽11内部，并转动螺纹杆9使得螺纹杆9与下夹板1相固定，同理反转螺纹杆9使得螺纹杆9移出螺纹槽11内，方便更换螺纹杆9，然后将晶片放入下夹板1顶部开设的第一置物槽8内，将四个弹簧6分别套设在四个滑杆3外周面，然后再将上夹板2放在下夹板1顶部，且两个螺纹杆9一端分别穿过两个第一通槽12，四个滑杆3一端分别穿过四个第二通槽13，从而对上夹板2进行限位，防止上夹板2偏转，使得第二置物槽10位于第一置物槽8的正上方，然后扶住螺纹杆9并转动螺纹套4，由于螺纹套4活动套设在螺纹杆9固定连接，故螺纹套4在螺纹杆9上向下移动，从而带动上夹板2向下移动，使得晶片顶部位于第二置物槽10内部，从而对晶片进行限位固定，使得晶片在被清洗的过程中不会发生移动或滑落，结构简单，便于操作，晶片装夹效率高，通过设置多个进水槽5，多个进水槽5分别与多个第二置物槽10相连通，高压水枪可以通过多个进水槽5对晶片顶部进行清洗，使得每片晶片都能受到均匀清洗，同时通过设置多个排水槽7，多个排水槽7分别与多个第一置物槽8相连通，第一置物槽8内的水可以通过排水槽7排出，方便排出污水，通过设置四个弹簧6，四个弹簧6分别活动套设在四个滑杆3外周面，当上夹板2向下移动时，上夹板2带动弹簧6压缩，四个弹簧6对上夹板2进行简单的支撑，防止上夹板2在自身重力的作用下迅速下跌，从而对晶片造成损坏。
25.以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。
26.最后应说明的几点是：首先，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
27.其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；
28.最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡
在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。